在半导体芯片的研发与制造过程中，无尘实验室是不可或缺的重要基础设施。芯片制程精度已达到纳米级别，空气中的微尘颗粒若附着在晶圆表面，可能导致电路短路、元件失效等致命问题。以 7 纳米制程芯片为例，其晶体管结构高度只相当于人类头发丝的万分之一，一粒直径 1 微米的尘埃即可破坏数十个晶体管单元。无尘实验室通过三级过滤系统 —— 初效过滤去除大颗粒尘埃，中效过滤拦截 5 微米以下颗粒，高效过滤器（HEPA）捕捉 0.3 微米以上微尘，将空气中的尘埃粒子浓度控制在每立方米 3520 个以下（ISO 5 级标准）。同时，实验室采用垂直层流送风技术，使气流以 0.3-0.5 米 / 秒的速度向下均匀流动，形成 “空气幕” 效应，确保晶圆在沉积、蚀刻、掺杂等关键工艺中不受污染。这种良好洁净的环境，保障了芯片的良率（可提升至 95% 以上），更推动了 5G 芯片、人工智能芯片等前沿技术的突破。检验报告经多级审核，确保数据准确、结论科学。光明区无菌实验室
给排水系统在洁净实验室的规划中不容忽视，其合理设计直接关系到实验的顺利进行和实验室环境的维护。在给水方面，要确保水质符合实验要求。对于一些对水质要求极高的实验，如生物实验中的细胞培养、化学分析实验等，需要配备专门的纯水制备系统，生产符合实验标准的纯水。同时，要根据实验室不同区域的用水需求，合理设置给水点，保证水流充足、稳定。例如，在实验台区域，要设置足够数量的水龙头，方便实验人员取水。在排水方面，洁净实验室的排水分为一般排水和特殊排水。一般排水主要来自洗手池、清洗间等，可直接排入市政污水管网，但要注意排水管道的坡度和管径，防止堵塞。特殊排水则包括含有化学试剂、生物污染物等的废水，这类废水需要经过专门的处理设施进行处理，达标后才能排放。例如，化学实验室产生的含酸、含碱废水，需要先进行中和处理；生物实验室产生的含有病原体的废水，要经过消毒处理。此外，排水系统的管道材质应选用耐腐蚀、不易结垢的材料，如 PPR 管、不锈钢管等，确保排水系统的长期稳定运行。光明区化妆品实验室设计防静电台垫铺设于无尘实验室操作台，释放静电电荷，保护精密电子元件安全。
洁净实验室的选址至关重要，周边环境对其洁净度的维持有着深远影响。理想的选址应远离交通主干道、工厂、垃圾处理场等污染源。交通主干道上车辆行驶产生的大量尾气、扬尘以及噪声，可能通过空气流通进入实验室，干扰实验环境。工厂排放的废气、废水以及生产过程中产生的振动，也会对实验室造成不同程度的污染和干扰。例如，电子芯片制造洁净实验室若靠近化工工厂，化工废气中的有害化学物质可能吸附在芯片表面，影响芯片的电学性能。同时，实验室周边的环境湿度、温度变化以及电磁辐射等因素也需考虑。若实验室位于湿度较大的区域，可能需要加强除湿设备的配置；若周边存在强电磁辐射源，如变电站，可能会干扰实验室中精密仪器的正常运行。因此，在选址阶段，需对周边环境进行全方面、细致的评估，确保为洁净实验室营造一个良好的外部环境基础。
消防与安全是无尘实验室建设和运营的关键环节。消防设计上，要依据实验室火灾危险性类别，合理配置消防设施。利用防火分隔划分不同功能区域，防火墙和防火门的耐火极限需符合相关规范。配备自动喷水灭火系统、火灾自动报警系统和灭火器等设备。鉴于无尘实验室空间相对封闭，通风系统在火灾时要能迅速切换为排烟模式，排出烟雾和有害气体。安全方面，设置紧急疏散通道和安全出口，确保人员在紧急情况下能快速撤离。针对实验可能产生的有毒有害气体、化学试剂泄漏等风险，配备相应监测和防护设备，如气体泄漏报警器、通风柜等，保障人员安全和实验室环境安全。专业检验员严格依照标准流程，对样品进行细致检测。
洁净实验室的日常清洁与维护是保持其洁净度和正常运行的关键环节。每天实验结束后，要对实验台面、仪器设备表面进行清洁，使用无尘抹布蘸取适量的清洁剂进行擦拭，去除实验过程中产生的污渍和尘埃粒子。地面采用吸尘器吸尘后，再用清洁拖把进行拖地，清洁过程中要注意避免扬尘。定期对空气过滤器进行检查和更换，初效过滤器一般 1 - 2 个月更换一次，中效过滤器 3 - 6 个月更换一次，高效过滤器根据使用情况和检测结果，一般 1 - 2 年更换一次。对实验室的门窗、墙壁等进行定期清洁，检查密封性能，发现问题及时修复。同时，定期对实验室的温湿度、压差、洁净度等环境参数进行监测和记录，根据数据变化及时调整维护措施。激光粒度仪在无尘实验室中准确检测颗粒尺寸，避免环境粉尘干扰测量结果。北京整体实验室规划
通过自净时间测试，了解实验室恢复洁净环境的能力强弱。光明区无菌实验室
洁净实验室的电气系统规划需满足实验设备和照明等多方面的需求。在电力供应方面，要确保稳定性和可靠性，一般采用双回路供电，配备不间断电源（UPS），以防止突然停电对实验设备和正在进行的实验造成损害。对于一些对电源质量要求极高的精密实验仪器，还需设置稳压电源和滤波装置。照明系统要选择无眩光、无频闪、易清洁的灯具，避免产生过多热量和尘埃粒子。例如，采用 LED 平板灯，其具有发光效率高、寿命长、产生热量少等优点。同时，合理规划照明布局，保证实验区域有足够的照度，一般要求工作区域照度在 300 - 500lux 之间。此外，电气线路要采用防火、防潮、耐腐蚀的材料，并做好接地保护，确保用电安全。光明区无菌实验室
