企业商机

广州光刻胶耗材

技术趋势与挑战半导体先进制程： ◦ EUV光刻胶需降低缺陷率（目前每平方...

光刻胶基本参数

品牌
吉田半导体
型号
型号齐全

光刻胶企业商机

技术趋势与挑战

半导体先进制程：

◦ EUV光刻胶需降低缺陷率（目前每平方厘米缺陷数＜10个），开发低粗糙度（≤5nm）材料；

◦ 极紫外吸收问题：胶膜对13.5nm光吸收率高，需厚度控制在50-100nm，挑战化学增幅体系的灵敏度。

环保与低成本：

◦ 水性负性胶替代溶剂型胶（如PCB阻焊胶），减少VOC排放；

◦ 单层胶工艺替代多层胶，简化流程（如MEMS厚胶的一次性涂布）。

新兴领域拓展：

◦ 柔性电子：开发耐弯曲（曲率半径＜5mm）、低模量感光胶，用于可穿戴设备电路；

◦ 光子芯片：高折射率胶（n＞1.8）制作光波导，需低传输损耗（＜0.1dB/cm）。

典型产品与厂商

• 半导体正性胶：

◦ 日本信越（Shin-Etsu）的ArF胶（分辨率22nm，用于12nm制程）；

◦ 美国陶氏（Dow）的EUV胶（灵敏度10mJ/cm²，缺陷密度＜5个/cm²）。

• PCB负性胶：

◦ 中国容大感光（LP系列）：耐碱性蚀刻，厚度20-50μm，国产化率超60%；

◦ 日本东京应化（TOK）的THMR-V：全球PCB胶市占率30%，适用于高可靠性汽车板。

• MEMS厚胶：

◦ 美国陶氏的SU-8：实验室常用，厚度5-200μm，分辨率1μm（需优化交联均匀性）；

◦ 德国Microresist的MR胶：耐深硅蚀刻，线宽精度±2%，用于工业级MEMS制造。

吉田半导体助力区域经济发展，推动产业链协同创新。广州光刻胶耗材

不同光刻胶类型的适用场景对比

类型波长范围分辨率典型应用产品

G线/i线光刻胶 436/365nm ≥1μm PCB、LCD黑色矩阵吉田半导体JT-100系列

KrF光刻胶 248nm 0.25-1μm 28nm以上芯片、Mini LED制备吉田半导体YK-300系列

ArF光刻胶 193nm 45nm-0.25μm 14nm及以上芯片、OLED电极图案化国际主流：JSR ARF系列

EUV光刻胶 13.5nm ≤7nm 7nm以下先进制程、3D NAND堆叠研发中（吉田半导体合作攻关）

水性光刻胶全波长适配 5-50μm 柔性显示、环保PCB阻焊层吉田半导体WT-200系列

总结：多领域渗透的“工业维生素”

光刻胶的应用深度绑定电子信息产业，从半导体芯片的“纳米级雕刻”到PCB的“毫米级线路”，再到显示面板的“色彩精细控制”，其技术参数（分辨率、耐蚀刻性、灵敏度）需根据场景设计。随着**新能源（车规芯片、光伏）、新型显示（Micro LED）、先进制造（纳米压印）**等领域的发展，光刻胶的应用边界将持续扩展，成为支撑制造的关键材料。

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吉田半导体 SU-3 负性光刻胶：国产技术赋能 5G 芯片封装

自主研发 SU-3 负性光刻胶支持 3 微米厚膜加工，成为 5G 芯片高密度封装材料。
针对 5G 芯片封装需求，吉田半导体自主研发 SU-3 负性光刻胶，分辨率达 1.5μm，抗深蚀刻速率 > 500nm/min。其超高感光度与耐化学性确保复杂图形的完整性，已应用于高通 5G 基带芯片量产。产品采用国产原材料与工艺，不采用国外材料，成本较进口产品降低 40%，帮助客户提升封装良率至 98.5%，为国产 5G 芯片制造提供关键材料支撑。

技术验证周期长

半导体光刻胶的客户验证周期通常为2-3年，需经历PRS（性能测试）、STR（小试）、MSTR（批量验证）等阶段。南大光电的ArF光刻胶自2021年启动验证，预计2025年才能进入稳定供货阶段。

原材料依赖仍存

树脂和光酸仍依赖进口，如KrF光刻胶树脂的单体国产化率不足10%。国内企业需在“吸附—重结晶—过滤—干燥”耦合工艺等关键技术上持续突破。

未来技术路线

◦ 金属氧化物基光刻胶：氧化锌、氧化锡等材料在EUV光刻中展现出更高分辨率和稳定性，清华大学团队已实现5nm线宽的原型验证。

◦ 电子束光刻胶：中科院微电子所开发的聚酰亚胺基电子束光刻胶，分辨率达1nm，适用于量子芯片制造。

◦ AI驱动材料设计：华为与中科院合作，利用机器学习优化光刻胶配方，研发周期缩短50%。

严苛光刻胶标准品质，吉田半导体绿色制造创新趋势。

光刻胶（Photoresist）是一种对光敏感的高分子材料，主要用于光刻工艺中，通过光化学反应实现图案的转移，是半导体、集成电路（IC）、印刷电路板（PCB）、液晶显示（LCD）等制造领域的材料之一。

光刻胶特性与组成

• 光敏性：在特定波长（如紫外光、极紫外光EUV等）照射下，会发生化学结构变化（如交联或分解），从而改变在显影液中的溶解性。

• 主要成分：

◦ 树脂（成膜剂）：形成基础膜层，决定光刻胶的机械和化学性能。

◦ 光敏剂：吸收光能并引发化学反应（如光分解、光交联）。

◦ 溶剂：调节粘度，便于涂覆成膜。

◦ 添加剂：改善性能（如感光度、分辨率、对比度等）。

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发展战略与行业地位。广州光刻胶耗材

凭借绿色产品与可持续生产模式，吉田半导体的材料远销全球，并与多家跨国企业建立长期合作。其环保焊片与靶材被广泛应用于光伏、储能等清洁能源领域，助力客户实现产品全生命周期的环境友好。公司通过导入国际标准认证（如 ISO14001 环境管理体系），进一步强化了在环保领域的竞争力。

未来，广东吉田半导体材料有限公司将继续以技术创新为驱动，深化绿色制造战略，为半导体产业的低碳化、可持续发展贡献力量。以品质为依托，深化全球化布局，为半导体产业发展注入持续动力。

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技术挑战： ◦ 技术壁垒：EUV光刻胶、3nm以下制程材料仍处研发阶段，光刻胶分辨率、灵敏度与国际水平存在差距（如东京应化ArF胶分辨率达14nm）。 ◦ 供应链风险：树脂、光引发剂等原材料自给率不足8%，部分依赖进口（如日本信越化学）；美国对华技术封锁可能影响设备采购。 ◦ 客户验证：光刻胶需通过晶圆厂全流程测试，验证周期长（1-2年），国内企业在头部客户渗透率较低。未来展望： ◦ 短期（2025-2027年）：KrF/A...