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油性光刻胶国产厂商

光刻胶的主要应用领域光刻胶是微电子制造的主要材料，广泛应用于以下领域： ...

光刻胶基本参数

品牌
吉田半导体
型号
型号齐全

光刻胶企业商机

光刻胶的主要应用领域

光刻胶是微电子制造的主要材料，广泛应用于以下领域：

半导体制造

◦ 功能：在晶圆表面形成微细电路图案，作为蚀刻或离子注入的掩膜。

◦ 分类：

◦ 正性光刻胶：曝光区域溶解于显影液，形成与掩膜版一致的图案（主流，分辨率高）。

◦ 负性光刻胶：未曝光区域溶解，形成反向图案（用于早期工艺，耐蚀刻性强）。

◦ 技术演进：随制程精度提升，需匹配不同曝光波长（紫外UV、深紫外DUV、极紫外EUV），例如EUV光刻胶用于7nm以下制程。

平板显示（LCD/OLED）

◦ 彩色滤光片（CF）：在玻璃基板上制作红/绿/蓝像素单元，光刻胶用于图案化黑矩阵（BM）、彩色层（R/G/B）和保护层。

◦ 电极图案：制作TFT-LCD的电极线路或OLED的阴极/阳极，需高透光率和精细边缘控制。

印刷电路板（PCB）

◦ 线路蚀刻：在覆铜板上涂胶，曝光显影后保留线路区域，蚀刻去除未保护的铜箔，形成导电线路。

◦ 阻焊与字符层：阻焊胶覆盖非线路区域，防止短路；字符胶用于印刷电路板标识。

LED与功率器件

◦ 芯片制造：在蓝宝石/硅基板上制作电极和量子阱结构，需耐高功率环境的耐高温光刻胶。

◦ Micro-LED：微米级芯片转移和阵列化，依赖超高分辨率光刻胶（分辨率≤5μm）。

感光胶的工艺和应用。油性光刻胶国产厂商

技术挑战与发展趋势

更高分辨率需求：

◦ EUV光刻胶需解决“线边缘粗糙度（LER）”问题（目标＜5nm），通过纳米颗粒分散技术或新型聚合物设计改善。

缺陷控制：

◦ 半导体级正性胶要求金属离子含量＜1ppb，颗粒（＞50nm）＜1个/mL，需优化提纯工艺（如多级过滤+真空蒸馏）。

国产化突破：

◦ 国内企业（如上海新阳、南大光电、容大感光）已在KrF/ArF胶实现批量供货，但EUV胶仍被日本JSR、美国陶氏、德国默克垄断，需突破树脂合成、PAG纯度等瓶颈。

环保与节能：

◦ 开发水基显影正性胶（减少有机溶剂使用），或低烘烤温度胶（降低半导体制造能耗）。

典型产品示例

• 传统正性胶：Shipley S1813（G/I线，用于PCB）、Tokyo Ohka TSM-305（LCD黑矩阵）。

• DUV正性胶：信越化学的ArF胶（用于14nm FinFET制程）、中芯国际认证的国产KrF胶（28nm节点）。

• EUV正性胶：JSR的NeXAR系列（7nm以下，全球市占率超70%）。

正性光刻胶是推动半导体微缩的主要材料，其技术进步直接关联芯片制程的突破，未来将持续向更高精度、更低缺陷、更绿色工艺演进。

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吉田半导体柯图泰全系列感光胶：进口品牌品质，本地化服务支持

柯图泰全系列感光胶依托进口技术，提供高性价比的丝网印刷解决方案。
吉田半导体代理的柯图泰全系列感光胶（如 PLUS 6000、Autosol 2000），源自美国先进配方，分辨率达 120 线 / 英寸，适用于玻璃、陶瓷等多种基材。产品通过 SGS 认证，符合电子行业有害物质限制要求，其高感光度与耐摩擦性，确保丝网印刷的清晰度与耐久性。公司提供技术参数匹配、制版工艺指导等本地化服务，帮助客户优化生产流程，降低材料损耗。

定义与特性

正性光刻胶是一种在曝光后，曝光区域会溶解于显影液的光敏材料，形成与掩膜版（Mask）图案一致的图形。与负性光刻胶（未曝光区域溶解）相比，其优势是分辨率高、图案边缘清晰，是半导体制造（尤其是制程）的主流选择。

化学组成与工作原理

主要成分

• 树脂（成膜剂）：

◦ 传统正性胶：采用**酚醛树脂（Novolak）与重氮萘醌（DNQ，光敏剂）**的复合体系（PAC体系），占比约80%-90%。

◦ 化学增幅型（用于DUV/EUV）：含环化烯烃树脂或含氟聚合物，搭配光酸发生器（PAG），通过酸催化反应提高感光度和分辨率。

• 溶剂：溶解树脂和感光剂，常用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）或乳酸乙酯。

• 添加剂：表面活性剂（改善涂布均匀性）、稳定剂（防止暗反应）、碱溶解度调节剂等。

工作原理

• 曝光前：光敏剂（如DNQ）与树脂结合，形成不溶于碱性显影液的复合物。

• 曝光时：

◦ 传统PAC体系：DNQ在紫外光（G线436nm、I线365nm）照射下发生光分解，生成羧酸，使曝光区域树脂在碱性显影液中溶解性增强。

◦ 化学增幅型：PAG在DUV/EUV光下产生活性酸，催化树脂发生脱保护反应，大幅提高显影速率（灵敏度提升10倍以上）。

• 显影后：曝光区域溶解去除，未曝光区域保留，形成正性图案。

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吉田半导体 JT-3001 厚板光刻胶：欧盟 RoHS 认证，PCB 电路板制造

凭借抗深蚀刻性能与环保特性，吉田 JT-3001 厚板光刻胶成为 PCB 行业材料。
吉田半导体推出的 JT-3001 厚板光刻胶，分辨率达 1.5μm，抗深蚀刻速率 > 500nm/min，适用于高密度电路板制造。产品通过欧盟 RoHS 认证，采用无卤无铅配方，符合环保要求。其优异的感光度与留膜率，确保复杂线路图形的成型，已应用于华为 5G 基站主板量产。公司提供从材料选型到工艺优化的全流程支持，助力客户提升生产效率与良率。

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客户需求导向
支持特殊工艺需求定制，例如为客户开发光刻胶配方，提供从材料选择到工艺优化的全流程技术支持，尤其在中小批量订单中灵活性优势。
快速交付与售后支持
作为国内厂商，吉田半导体依托松山湖产业集群资源，交货周期较进口品牌缩短 30%-50%，并提供 7×24 小时技术响应，降低客户供应链风险。
性价比优势
国产光刻胶价格普遍低于进口产品 30%-50%，吉田半导体通过规模化生产和供应链优化进一步压缩成本，同时保持性能对标国际品牌，适合对成本敏感的中低端市场及国产替代需求。
政策与市场机遇
受益于国内半导体产业链自主化趋势，吉田半导体作为 “专精特新” 企业，获得研发补贴及产业基金支持，未来在国产替代进程中具备先发优势。

油性光刻胶国产厂商

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