在进行模型校准时要依次确定用于校准的参数和关键图案，并建立校准过程的评估标准。校准参数和校准图案的选择结果直接影响校准后光刻胶模型的准确性和校准的运行时间，如图4所示 [4]。准参数包括曝光、烘烤、显影等工艺参数和光酸扩散长度等光刻胶物理化学参数，如图5所示 [5]。关键图案的选择方式主要包含基于经验的选择方式、随机选择方式、根据图案密度等特性选择的方式、主成分分析选择方式、高维空间映射的选择方式、基于复杂数学模型的自动选择方式、频谱聚类选择方式、基于频谱覆盖率的选择方式等 [2]。校准过程的评估标准通常使用模型预测值与晶圆测量值之间的偏差的均方根（RMS）。根据任务的不同，选择合适的性能指标进行评估。松江区优良验证模型要求
极大似然估计法（ML）是结构方程分析**常用的方法，ML方法的前提条件是变量是多元正态分布的。数据的非正态性可以通过偏度（skew）和峰度（kurtosis）来表示。偏度表示数据的对称性，峰度表示数据平坦性的。LISREL中包含的估计方法有：ML（极大似然）、GLS（广义**小二乘法）、WLS（一般加权**小二乘法）等，WLS并不要求数据是正态的。 [2]极大似然估计法（ML）是结构方程分析**常用的方法，ML方法的前提条件是变量是多元正态分布的。数据的非正态性可以通过偏度（skew）和峰度（kurtosis）来表示。偏度表示数据的对称性，峰度表示数据平坦性的。LISREL中包含的估计方法有：ML（极大似然）、GLS（广义**小二乘法）、WLS（一般加权**小二乘法）等，WLS并不要求数据是正态的。 [2]杨浦区正规验证模型价目模型在训练集上进行训练，然后在测试集上进行评估。
模型验证是测定标定后的模型对未来数据的预测能力（即可信程度）的过程，它在机器学习、系统建模与仿真等多个领域都扮演着至关重要的角色。以下是对模型验证的详细解析：一、模型验证的目的模型验证的主要目的是评估模型的预测能力，确保模型在实际应用中能够稳定、准确地输出预测结果。通过验证，可以发现模型可能存在的问题，如过拟合、欠拟合等，从而采取相应的措施进行改进。二、模型验证的方法模型验证的方法多种多样，根据具体的应用场景和需求，可以选择适合的验证方法。以下是一些常用的模型验证方法：
在产生模型分析（即 MG 类模型）中，模型应用者先提出一个或多个基本模型，然后检查这些模型是否拟合样本数据，基于理论或样本数据，分析找出模型拟合不好的部分，据此修改模型，并通过同一的样本数据或同类的其他样本数据，去检查修正模型的拟合程度。这样一个整个的分析过程的目的就是要产生一个比较好的模型。因此，结构方程除可用作验证模型和比较不同的模型外，也可以用作评估模型及修正模型。一些结构方程模型的应用人员都是先从一个预设的模型开始，然后将此模型与所掌握的样本数据相互印证。如果发现预设的模型与样本数据拟合的并不是很好，那么就将预设的模型进行修改，然后再检验，不断重复这么一个过程，直至**终获得一个模型应用人员认为与数据拟合度达到他的满意度，而同时各个参数估计值也有合理解释的模型。 [3]对有穷状态系统，这个问题是可判定的，即可以用计算机程序在有限时间内自动确定。
在给定的建模样本中，拿出大部分样本进行建模型，留小部分样本用刚建立的模型进行预报，并求这小部分样本的预报误差，记录它们的平方加和。这个过程一直进行，直到所有的样本都被预报了一次而且*被预报一次。把每个样本的预报误差平方加和，称为PRESS(predicted Error Sum of Squares)。交叉验证的基本思想是把在某种意义下将原始数据(dataset)进行分组,一部分做为训练集(train set),另一部分做为验证集(validation set or test set),首先用训练集对分类器进行训练,再利用验证集来测试训练得到的模型(model),以此来做为评价分类器的性能指标。这个过程重复K次，每次选择不同的子集作为测试集，取平均性能指标。杨浦区正规验证模型价目
通过网格搜索、随机搜索等方法调整模型的超参数，找到在验证集上表现参数组合。松江区优良验证模型要求
模型解释：使用特征重要性、SHAP值、LIME等方法解释模型的决策过程，提高模型的可解释性。模型优化：根据验证和测试结果，对模型进行进一步的优化，如改进模型结构、增加数据多样性等。部署与监控：将验证和优化后的模型部署到实际应用中。监控模型在实际运行中的性能，及时收集反馈并进行必要的调整。文档记录：记录模型验证过程中的所有步骤、参数设置、性能指标等，以便后续复现和审计。在验证模型时，需要注意以下几点：避免过拟合：确保模型在验证集和测试集上的性能稳定，避免模型在训练集上表现过好而在未见数据上表现不佳。松江区优良验证模型要求
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