涂胶显影机(track)是一种用于半导体制造过程中光刻工艺的关键设备。以下是对涂胶显影机的详细介绍:一、工作原理涂胶显影机的工作原理主要涉及到硅片的光刻胶涂覆和显影过程。首先,将硅片放置在涂覆模块下方,通过涂覆模块将光刻胶均匀涂覆在硅片表面。然后,将硅片转移到曝光模块下方,利用光刻技术将图案投射到光...
片传动方式基本分为两类:齿轮传动:胶片在洗片机输片片路中,大都由自由转动的滑轮组支承并在滑轮间螺旋穿行,由滑轮组配备的传递动力的输片齿轮通过影片片孔硬性传动。这种方法结构简单,容易保证张力均匀分布。摩擦传动:用表面有凸起物的弹性塑料圈外套的摩擦轮带动影片,摩擦轮的转速由胶片张力自行调节。摩擦传动不用齿轮,同一台机器可以冲洗窄宽不同的多种规格的胶片,并且不会损伤片孔,因此用途极为***。机器具有速度误差在±2%以内的无级调速装置,供改变显影时间之需要。在紧邻供收片处有储片缓冲装置,因此在运行不间断的状态下,可在机器头尾卡住胶片,收取冲洗完毕的影片和续接尚未冲洗的影片。堆叠式高产能架构:一些先进的涂胶显影机采用堆叠式设计,提高了生产效率,同时占地面积相对较小。梁溪区国产涂胶显影机供应商家
海多吉浓又名几奴尼,它的学名被称作对苯二,它的颜色呈灰白或白色,一般是细针状晶体,在20℃时每100毫升水中可溶解6克,其水溶液很易变黄,这是因为它是易氧化的物质。为了防止氧化,使其具有良好的显影性能,一般的要在水中先溶解亚硫酸钠,而后溶解海多吉浓。海多吉浓显影作用较慢。尤其对曝光特别少的部分,作用甚微,但是一经出现影像后,密度会增高很快,因此底片明暗或黑白差别非常大。具有高反差的显影作用,在使用海多吉浓显影液时,其溶液的PH值和温度变化对显影作用影响很大,所以,使用显影液应在一定温度下显影,以达稳定的目的。它必须在碱性显影液中才能显影,在PH值为9.5~11范围使用较好,PH值越大即碱性越是增强,底片的密度和反差越大。显影液的温度如果低于10℃时,显影作用非常缓慢,温度很低时,几乎不起显影作用,但是如果温度高于20℃时,显影虽然快,但使底片很容易产生蒙翳。因此,使用时温度应在较稳定的范围内,它常与米吐尔合用,取长补短,从而达到了正确的显影目的,在与米吐尔合用时,称它们为M—Q显影液。 [2常州国产涂胶显影机按需定制涂胶显影机通常集成了增粘、旋涂、显影、加热等功能模块,能够处理各种衬底材料和光刻胶。
例如:东芝163数码复合机,感光鼓表面被充上-440V的负电荷,当有图像区域被曝光后,白色背景区未被曝光而保留-440V的负电荷,灰**域虽被曝光但因光照不强,而保留-300V左右的负电荷,黑**域被完全曝光,电荷消失,页只保留很少的负电荷。而加在显影辊上的显影偏压是-340V,这样,白色背景区域的电势高于显影偏压而碳粉未被转移;灰**域低于显影偏压40V而有少量碳粉转移;黑**域的电势与显影偏压之间相差较大,所以有更多的碳粉被转移到感光鼓上。这就完成了显影过程了。 [2]
显影是在正性光刻胶的曝光区和负性光刻胶的非曝光区的光刻胶在显影液中溶解,在光刻胶上形成三维图形的一种光刻技术。技术简介显影是在硅片表面光刻胶中产生图形的关键步骤。光刻胶上的可溶解区域被化学显影剂溶解,将可见的岛或者窗口图形留在硅片表面。最常见的显影方法是旋转、喷雾、浸润,然后显影。硅片用去离子水冲洗后甩干。显影过程如图1 [1]所示,非曝光区的光刻胶由于在曝光时并未发生化学反应,在显影时也就不会存在这样的酸碱中和,因此非曝光区的光刻胶被保留下来。经过曝光的正胶是逐渐溶解的,中和反应只在光刻胶的表面进行,因此正胶受显影液的影响相对比较小。对于负胶来说非曝光区的负胶在显影液中首先形成凝胶体,然后再分解,这就使得整个负胶层都被显影液浸透。在被显影液浸透之后,曝光区的负胶将会膨胀变形。胶辊的硬度适应于印版,在保证上述要求的情况下,压力尽可能小,压力过大,增大显影机负载,并易卡版。
匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备,包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶圆背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶圆表面的去离子水冲洗等。匀胶显影机一般由四部分组成。***部分是晶圆盒工作站(wafer cassette station),晶圆盒在这里装载到机器上。机械手(robot arm)从晶圆盒中把晶圆抽出来,传送到工艺处理部分(process block),即第二部分。工艺处理部分是匀胶显影机的主体,增粘模块(adhesion enhancement)、热盘(hot plate)、冷盘(chill plate)、旋涂、显影等主要工艺单元都安装在这里,一个或两个机械手在各单元之间传递晶圆。第三部分是为浸没式光刻工艺配套的单元,包括晶圆表面水冲洗单元、背清洗单元等。第四部分是和光刻机联机的接口界面(interface),包括暂时储存晶圆的缓冲盒(buffer)、晶圆边缘曝光(wafer edge exposure,WEE)和光刻机交换晶圆的接口等。 [1]定期更换保护胶并清洗保护胶系统(建议每天一次);梁溪区国产涂胶显影机供应商家
首先,将硅片放置在涂覆模块下方,通过涂覆模块将光刻胶均匀涂覆在硅片表面。梁溪区国产涂胶显影机供应商家
显影偏压显影偏压由高压板产生,并施加于显影辊,用以提供图像对比度。例如:显影套筒的偏压由交流电(AC)提供,如京瓷KM-1650机器:显影偏压Vp-p:所施加电压的最大值和最小值之差;固定高压:1.6kV;Vf:频率;一般为2.7kHz,该值根据驱动时间预设值和环境校正的不同而不同;占空比:一个周期内正电压所占的时间比例一般为45%;Vdc:显影偏压290V;Vo:感光鼓表面非图像区域(未曝光区)的电压;VL:感光鼓表面图像区域(曝光区)的电压。 [2]梁溪区国产涂胶显影机供应商家
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涂胶显影机(track)是一种用于半导体制造过程中光刻工艺的关键设备。以下是对涂胶显影机的详细介绍:一、工作原理涂胶显影机的工作原理主要涉及到硅片的光刻胶涂覆和显影过程。首先,将硅片放置在涂覆模块下方,通过涂覆模块将光刻胶均匀涂覆在硅片表面。然后,将硅片转移到曝光模块下方,利用光刻技术将图案投射到光...
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