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MEMS传感器是MEMS器件的一个重要分支，作为微机电系统的重要组成部分，MEMS传感器是实现微机电系统感知和信号处理的功能器件。这种传感器采用MEMS制造技术，即微电子制造技术和微机械加工制造技术，其材料、工作原理、制作工艺等方面与传统传感器有相当大的区别。 [4]MEMS传感器是基于其敏感材料的特殊效应工作的，它的制作工艺结合当今先进的IC微电子加工工艺和MEMS微机械加工制造工艺来实现，通过对材料的微机械加工，制造出可感受压力、温度、磁场、加速度等各种参数的稳定的结构器件(如梁、膜、叉指等单一或复合的结构)，从而实现对各种相关参数的感知、测试和转换因此可以说，传感器是人类五官的延长，又称之为电五官。宝山区如何传感器销售

1、信息存储和传输——随着全智能集散控制系统（SmartDistributedSystem）的飞速发展，对智能单元要求具备通信功能，用通信网络以数字形式进行双向通信，这也是智能传感器关键标志之一。智能传感器通过测试数据传输或接收指令来实现各项功能。如增益的设置、补偿参数的设置、内检参数设置、测试数据输出等。2、自补偿和计算功能——多年来从事传感器研制的工程技术人员一直为传感器的温度漂移和输出非线性作大量的补偿工作，但都没有从根本上解决问题。而智能传感器的自补偿和计算功能为传感器的温度漂移和非线性补偿开辟了新的道路。上海质量传感器厂家现货该类传感器为负温度系数传感器，即传感器阻值随温度的升高而减小。

图1 传感器的组成敏感元件直接感受被测量，并输出与被测量有确定关系的物理量信号；转换元件将敏感元件输出的物理量信号转换为电信号；变换电路负责对转换元件输出的电信号进行放大调制；转换元件和变换电路一般还需要辅助电源供电。常将传感器的功能与人类5大感觉***相比拟：光敏传感器——视觉声敏传感器——听觉气敏传感器——嗅觉化学传感器——味觉传感器（图1）压敏、温敏、流体传感器——触觉敏感元件的分类：物理类，基于力、热、光、电、磁和声等物理效应。化学类，基于化学反应的原理。生物类，基于酶、抗体、和***等分子识别功能。

2.应用在汽车电子应用在汽车中的MEMS传感器MEMS压力传感器主要应用在测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力。这种传感器用单晶硅作材料，以采用MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片，然后在膜片上扩散杂质形成四只应变电阻，再以惠斯顿电桥方式将应变电阻连接成电路，来获得高灵敏度。车用MEMS压力传感器有电容式、压阻式、差动变压器式、声表面波式等几种常见的形式。而MEMS加速度计的原理是基于牛顿的经典力学定律，通常由悬挂系统和检测质量组成，通过微硅质量块的偏移实现对加速度的检测，主要用于汽车安全气囊系统、防滑系统、汽车导航系统和防盗系统等，除了有电容式、压阻式以外，MEMS加速度计还有压电式、隧道电流型、谐振式和热电偶式等形式。化学类，基于化学反应的原理。

光传感器不只局限于对光的探测，它还可以作为探测元件组成其他传感器，对许多非电量进行检测，只要将这些非电量转换为光信号的变化即可。光传感器是产量**多、应用**广的传感器之一，它在自动控制和非电量电测技术引中占有非常重要的地位。**简单的光敏传感器是光敏电阻，当光子冲击接合处就会产生电流。生物生物传感器的概念传感器（图11）生物传感器是用生物活性材料（酶、蛋白质、DNA、抗体、抗原、生物膜等）与物理化学换能器有机结合的一门交叉学科，是发展生物技术必不可少的一种先进的检测方法与监控方法，也是物质分子水平的快速、微量分析方法。主要有电阻应变式、压阻式、热电阻、热敏、气敏、湿敏等电阻式传感器件。长宁区常见传感器检测

当基片受到外力作用而产生形变时，各电阻值将发生变化，电桥就会产生相应的不平衡输出。宝山区如何传感器销售

在药品包装生产线，检验阿斯匹林药片的泡罩式包装中是否有破损或缺失的药片；在金属冲压公司，以每分钟逾150片的速度检验冲压部件，比人工检验快13倍以上。位移传感器（图13）位移传感器又称为线性传感器，把位移转换为电量的传感器。位移传感器是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量它分为电感式位移传感器，电容式位移传感器，光电式位移传感器，超声波式位移传感器，霍尔式位移传感器。在这种转换过程中有许多物理量（例如压力、流量、加速度等）常常需要先变换为位移，然后再将位移变换成电量。因此位移传感器是一类重要的基本传感器。宝山区如何传感器销售

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