4.5.1有微振控制要求的洁净厂房设计应符合下列规定:1在结构选型、隔振缝设置、壁板与地面、壁板与顶棚连接处,应按微振控制要求设计。2洁净室与周围辅助性站房内有强烈振动的设备及连接管道应采取主动隔振措施。3应测定洁净厂房内、外各类振源对洁净厂房精密设备、精密仪器仪表位置处的综合振动影响,以决定是否采取被动隔振措施。4.5.2精密设备、精密仪器仪表的容许振动值应由生产工艺和设备制造部门提供。当生产工艺和设备制造部门难以提供容许振动值时,可按现行国家标准《隔振设计规范》GB50463的有关规定执行。洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行的密闭性较好的空间。福建电子厂房环境检测技术好
3.压差检测:洁净室与外界环境的压差是保持洁净室内洁净度的重要因素。压差检测通过对洁净室各区域的压差进行测量,确保洁净室内部与外部环境的压差符合规定要求,从而防止外部污染物进入洁净室。4.气流速度检测:洁净室内的气流速度对于维持洁净度至关重要。气流速度过快可能导致尘埃粒子飞扬,而气流速度过慢则可能导致尘埃粒子沉积。因此,气流速度检测是评估洁净室气流组织情况的重要手段。5.表面洁净度检测:洁净室内的各种表面,如墙壁、地面、设备外壳等,也是尘埃粒子容易沉积的地方。表面洁净度检测通过对这些表面的尘埃粒子数量进行检测,评估洁净室内部表面的洁净情况。江西电子厂房环境检测方便客户洁净室检测后,需形成详细的检测报告,记录各项指标数据。
洁净室在现代工业中早已被广泛应用于半导体生产、液晶萤幕生产、生化技术、生物技术、精密器械、制药、医院等行业之中,尤其以半导体晶圆制程对无尘等级的要求比较高,因为现今的晶圆已经发展到奈米级的水准,随便一粒灰尘掉落在晶圆上都可能造成整个晶圆线路的毁损,甚至导致这个晶圆必须报废。无尘室除了管控空气中的微尘粒子之外,还分成正压无尘室与负压无尘室。一般正压无尘室比较常见,就是让室内的空气压力大于室外的压力,这样才可以控制室内空气往外吹以杜绝外部的污染源。
4.3.2人员净化用室和生活用室的设置应符合下列规定:1应设置存放雨具、换鞋、存外衣、更换洁净工作服等人员净化用室。2厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空气吹淋室、气闸室、工作服洗涤间和干燥间等可根据需要设置。4.3.3人员净化用室和生活用室的设计应符合下列规定:1人员净化用室的入口处应设净鞋措施。2存外衣、更换洁净工作服的房间应分别设置。3外衣存衣柜应按设计人数每人设一柜,洁净工作服宜集中挂人带有空气吹淋的洁净柜内。4盥洗室应设洗手和烘干设施。5空气吹淋室应设在洁净区人员入口处,并与洁净工作服更衣室相邻。单人空气吹淋室按比较大班人数每30人设一台。洁净区工作人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设旁通门。6严于5级的垂直单向流洁净室宜设气闸室。7洁净区内不得设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来,使污染物在扩散之前便流向回风口。
②沉降菌的测试对单向流如5级净化房间内及层流工作台测试应在净化空调系统正常运行不少于10分钟后开始;对非单向流如7级、8级以上的净化房间测试应在净化空调系统正常运行不少于30分钟开始。a.采样方法:将已制备好的培养皿放置在预先确定的取样点,打开培养皿盖使培养基表面暴露0.5小时再将培养皿盖上盖后倒置。b.培养全部采样结束,将培养皿倒置于恒温培养箱中培养。在30-35℃培养时间不少于48小时。每批培养基应有对照试验检查培养基本身是否污染可每批选定3只培养皿作对照培养。c.菌落计数用肉眼直接计数然后用5-10倍放大镜检查有否遗漏。若培养皿上有2个或2个以上菌落重叠可分辨时仍以2个或2个以上的菌落计数。验证生物洁净室的步骤主要分为三个部分:1、验证安装;2、验证操作;3、验证性能。河北洁净室检测优化价格
洁净室(区)温度应为18~26℃,相对湿度应为45%~65%。福建电子厂房环境检测技术好
4.1.1洁净厂房位置选择应符合下列规定,并经技术经济方案比较后确定:1应在大气含尘和有害气体浓度较低、自然环境较好的区域。2应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。当不能远离严重空气污染源时,应位于比较大频率风向上风侧,或全年极小频率风向下风侧。3应布置在厂区内环境清洁,人流、物流不穿越或少穿越的地段。4.1.2对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择,应实际测定周围现有振源的振动影响,并应与精密设备、精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定。4.1.3洁净厂房新风口与交通干道边沿的极近距离宜大于50m。4.1.4洁净厂房周围宜设置环形消防车道,也可沿厂房的两个长边设置消防车道。4.1、5洁净厂房周围的道路面层应选用整体性能好、发尘少的材料。4.1.6洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪,不应种植对生产有害的植物,并不得妨碍消防作业。福建电子厂房环境检测技术好
洁净室**主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。洁净室(区)的日常运行和维护管理是保障其受控状态持续的重要条件。湖北实验室检测优化价格人们认为这种单向、平行的...