检测规范性强

4、悬浮粒子-微粒计数农度A、室内测试人员必须穿洁净服，不得超过2人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。B、设备要在校准期内使用。C、检测前和检测后设备“清零”D、在单向流区域，所选择的采样探头应接近等动力采样，进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点，将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样点，采样口应竖直向上。E、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。采样点一般离地面0.8-1.2m左右，要均匀科学布点，而且要避开回风口。对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目都不得少于2个，总采样数可根据面积开2次根求得。合格的第三方洁净室检测机构普遍要求要有洁净相关检测能力。检测规范性强

B.2.1.3粒径限制器为获得测量或验证U描述符所需的计数效率特性，可在计数效率曲线落在图B.1阴影区之外左侧的离散粒子计数器（DPC)或凝聚核计数器的采样管上，安装一个粒径限制器。改动后，计数器、采样口与粒径限制器的综合计数效率曲线落在图B.1的阴影区内。粒径限制器***小于规定粒径的粒子，以准确且可再现的方式降低透过率。粒径限制器多种多样，其大小和配置各异，只要它们具有所要求的透过率即可接受。合适的粒径限制器包括扩散元件和虚拟撞击器。透过率随粒子的物理特性、限制器构造和体积流量而变化。因此，使用粒径限制器时要小心，它们只能用于规定的流量，安装时要防静电累积。为了减少电荷累积，粒径限制器应有良好的接地。湖北实验室检测技术好根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型。

6.2.1洁净室（区)与周围的空间必须维持一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。6.2.2不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa，洁净区与室外的压差不应小于10Pa。6.2.3洁净室维持不同的压差值所需的压差风量，根据洁净室特点，宜采用缝隙法或换气次数法确定。6.2.4送风、回风和排风系统的启闭宜联锁。正压洁净室联锁程序应先启动送风机，再启动回风机和排风机；关闭时联锁程序应相反。负压洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反。6.2.5非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化空调处理。

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响洁净室的设计布局应便于检测和维护工作的开展。

15.1.1洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行，应包括设计、施工和投产等各阶段的微振动测试、厂房建筑结构微振控制设计、动力设备隔振设计和精密仪器设备隔振设计等。15.1.2设计有微振控制要求的洁净厂房时，应符合下列规定：1总平面布置时，应核实相邻厂房、建筑物或构筑物对精密设备、仪器的振动影响；2设有精密设备、仪器的洁净厂房，其建筑基础构造、结构选型、隔振缝的设置、洁净室装修等应按微振控制要求设计；3对设有精密设备、仪器的洁净室（区）有振动影响的动力设备及其管道，应采取主动隔振措施；4洁净室(区)内精密设备、仪器，经测试确认受到周围振动影响时，应采取被动隔振措施。洁净室(区)温度应为18~26℃，相对湿度应为45%~65%。上海生物安全柜检测诚信推荐

使用激光尘埃粒子计数器可以精确测量空气中的微粒浓度。检测规范性强

人们认为这种单向、平行的气流应该充满整个洁净室，但这在技术和经济上都是不利的。随着知识的发展，人们指出这种单向流动只是“意味着所有的空气在有限的区域内沿着平行的流线匀速流动”，相信涡流的发生可以被尽可能的抑制。尽可能。以通过整个空间的洁净空气的单向流动特性为主的房间也称为单向流动洁净室。也就是说，不需要在整个房间内有单向平行流线、匀速、无涡流，而只需要单向平行流特性来支配房间，例如整个工作区水平空间保证单向流动，本房间为单向流动洁净室。前面介绍的国内外相关标准和措施中单向流洁净室所达到的高洁净度是指工作区域所达到的洁净度。因此，密集布置的流线型扩压器顶部进料和全孔板顶部进料也被用作实现垂直单向流动的手段。检测规范性强