此处所描述的具体实施例用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。参照图1,本实用新型实施例提供的酸性蚀刻液电解后液处理系统包括:电解槽1、射流器2、再生液调配缸3、液体泵4,其中,电解槽1具有一出液口和出气口,且电解槽1中内置有酸性蚀刻液,电解槽1对该酸性蚀刻液进行电解提铜,产生氯气,得到电解后液,并且,产生的氯气通过位于上方的出气口排出,电解后液通过位于下方的出液口排出。射流器2包括混气室21和扩散管22,混气室21和扩散管22之间为喉管,混气室21具有进气口2a、进液口2b、出液口2c,扩散管22连接至出液口2c,进气口2a通过导气管a与电解槽1的出气口连接以接收氯气,扩散管22深入到再生液调配缸3中。再生液调配缸3具有进液口和循环出液口,进液口通过管道b与电解槽1的出液口连接以接收电解后液。液体泵4的一端通过管道b连接再生液调配缸3的循环出液口,另一端通过管道b连接射流器2的进液口2b,用于将再生液调配缸3中的电解后液通过管道b抽取至射流器2的进液口2b。电解槽1电解提铜后,阳极产生的氯气通过导气管a进入到射流装置2的混气室21内,电解后液通过液体泵4打入到射流装置2的混气室21,在混气室21形成真空,在喉管处氯气与电解后液剧烈混合。BOE蚀刻液的溶液配比。上海专业BOE蚀刻液联系方式
除去75重量%的油。在45°C下的简单加热、或者在环境温度(20°C)下的简单搅拌或超声应用可以除去所有的沉积油。此外,没有观察到油的溶解,而是观察到上升到液体表面的油的脱离(卷起机理(rollingupmechanism)).与快速导致溶剂饱和的溶解机理相比,该卷起机理更为有利。油溶解试验的总体过程将硅油(得自CromptonCorporation(Greenwich,USA)的CromptonL9000—1000)引入到100ml待评价组合物中,并测定在环境温度下立即溶解的硅油的量(其以所溶解的油相对于该混合物的百分数表示)。实施例5在使用%的九氟丁基乙基醚和%的甲基四氢呋喃的共沸组合物的情况下,溶解超过17重量%的油。实施例6在使用九氟丁基乙基醚的情况下,多溶解2重量%的油并且观察到反混合(demixing)。权利要求组合物,其包含甲基四氢呋喃和至少一种式C4F9OR的九氟丁基烷基醚,在式C4F9OR中,R具有1~4个碳原子的线型或支化的饱和烷基链。2.权利要求1的组合物,特征在于,所述组合物包含540重量%的甲基四氢呋喃和6095重量%的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。3.权利要求1或2的组合物,特征在于,所述式C4F90R的九氟丁基烷基醚是九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚。4.权利要求13中任一项的组合物,特征在于。山东电子级BOE蚀刻液销售价格BOE蚀刻液的生产厂家。
desecciónmínima16milíóneléctricadelapuestaatierrapodrárealizarseatravésdeuninterruptormanual,congradodeprotecciónadecuadoalaclasificacióásiempredespuésdelaconexióndelapinzaalcamióóñadosparaabastecimientodecarburantesocombustibleslíquidosadepósitosdevehículosamotor,ánserautomáticos,dechorrocontinuo,consistemadebombeopropiooexternoaccionadoeléctricamente,dotadodemedidordevolumenycomputadorelectrónicoomecááncumplirlanormativavigentesobremetrologíánclasificar,enfuncióndesucaudalyenfuncióndesuservicio,delasiguienteforma:Enfuncióndelcaudal:a)áparasuministrodegasolinasygasóleosaturismosyvehí)áfundamentalmenteparasuministrodegasóleosavehí)»óndesuservicio:a)únicoproductoyestáformadoporunconjuntodemanguera,)ásproductosytendrádosomásmanguerasporposiciónderepostamiento;cadamangueradispondrádesumedidor,siendoelcomputadorúnicoporposiciónderepostamientoyporlotanto。
所述的磷酸浓度为82-87%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,醇醚类的含量为%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,表面活性剂的含量为%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,所述的醇醚类为选自二乙二醇单甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇单甲醚、三甘醇单丁醚等中的至少一种;表面活性剂为选自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸钠、月桂酰氨乙基硫酸钠、醇醚羧酸盐等中的至少一种。进一步地,在使用本发明的蚀刻液进行氮化硅层蚀刻时,蚀刻温度为152-165℃,蚀刻时间为5-60min。通过在磷酸中添加醇醚类和表面活性剂,改善了磷酸的浸润性和表面张力,明显提高了蚀刻液对氮化硅层的润湿和蚀刻均匀性。为了便于验证氮化硅薄膜层的蚀刻均匀性,本发明使用淀积了氮化硅薄膜的晶圆样片(初始厚度约为)。蚀刻液配制完成后,先使用表面张力仪检测该蚀刻液的表面张力;然后将氮化硅晶圆片切割成1cm*3cm的小样片,采用超纯水清洗和氮气吹干后,使用接触角测量仪检测蚀刻液对氮化硅层的接触角大小。在蚀刻前,使用椭圆偏振光谱仪对氮化硅样片取不同位置共6个点进行厚度的测量。博洋 BOE 蚀刻液,为微电子行业的发展提供独具特色的个性化解决方案。
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