按照玻璃基板传送方向从当前腔室101开始逐级由各腔室10向玻璃基板供给剥离液以进行剥离制程。剥离液从当前腔室101进入相应的存储箱20，在剥离液的水平面超过预设高度后流入过滤器30，再经过过滤...

高世代面板)表面上，或透入其表面，而把固体物料润湿，剥离液亲水性良好，能快速高效地剥离溶解光刻胶。因此，本申请中的高世代面板铜制程光刻胶剥离液由酰胺、醇醚、环胺与链胺、缓蚀剂、润湿剂组成。其中...

湿电子化学品位于电子信息产业偏中上游的材料领域。湿电子化学品上游是基 础化工产品，下游是电子信息产业（信息通讯、消费电子、家用电器、汽车电子、 LED、平板显示、太阳能电池、**等领域）。湿电子...

若所述过滤器被所述薄膜碎屑阻塞，则关闭连接被阻塞的所述过滤器的管道上的阀门开关；取出被阻塞的所述过滤器。在一些实施例中，所述若所述过滤器被所述薄膜碎屑阻塞，则关闭连接被阻塞的所述过滤器的管道上...