本篇介绍专业全自动HMDS真空烤箱,首先简单介绍一下HMDS预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性...
中温气氛箱式炉主要用于磷酸铁锂正极材料等类似产品的高温烧结、热处理,下面为大家介绍一下中温气氛箱式炉的系统配置。 一、热工系统 1.额定温度 800℃ 2.较高温度 850℃ 3.加热元件 陶瓷外丝加热管 4.加热功率 18kw 5.空炉保温功率 约 9kw 6.温区个数 1 个 7.控温点数 2 点 8.热偶 K 分度 9.控温稳定度 ±1℃(恒温平台) 10.炉膛温度均匀度 ±6℃(恒温 800℃,1h) 二、气氛系统 1.炉膛气氛 2 路氮气,流量计量程为 2~20L/min;每路流量可调节 2.排气系统 在炉膛顶部设置一个排气囱,用于废气排放,废气 3.经过水封清洗后进入大气中,减少对环境污染 4.氧含量 配氧含量分析仪分析氧含量: 5.高温状态氧含量≤10ppm+气源氧含量 6.低温状态氧含量≤50ppm+气源氧含量使用网带炉能给人们带来便利吗?宁波生产网带炉
光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。宁波生产网带炉网带炉使用时要考虑什么问题?
恒温恒湿试验箱是航空、汽车、家电、科研等领域必备的检测设备,主要用于测试电子、电工及其它产品及材料进行高温、低温、交变湿热度或恒定试验的温度环境变化参数及性能。该系列产品适用于航空航天产品、信息电子仪器仪表、材料、电工、电子产品、各种电子元气件在高低温或湿热环境下、检验其各项性能指标。下面为大家介绍一下真萍科技的恒温恒湿试验箱的构造特点。 在箱体构造方面,恒温恒湿箱是采用数控机床加工成型,造型美观大方、新颖,并采用无反作用把手,操作简便。工作室采用进口镜面板不锈钢制作而成,箱体外胆采用A3钢板喷塑。箱体外与内胆之间填充超细保温棉,隔温效果很好,有效的降低试验箱内的温度波动率,再配合抗老化硅橡胶密封条的严实密封,使箱体无雾气泄漏现象产生。由于试验箱内的环境恶劣,为观察清晰试验箱内的情况,合肥真萍在观察窗方面是选用多层钢化玻璃制作,并且在观察窗设置单独的照明灯和雾刷,保持良好的观察视野,随时监控试验情况。当然,为采集试验数据,箱体专门配置了直径50mm的测试孔,可连接记录仪,打印机和电脑
下面为大家介绍一下全自动HMDS真空烤箱的整机尺寸、真空腔体尺寸。1.内胆尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.载物托架:2块3.室温+10℃-250℃控温范围:温度分辨率:0.1℃温度波动度:±0.5℃4.真空泵:油泵或无油真空泵。真空度:133pa,5.加热方式:腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板(防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态)6.可放2寸晶圆片或4寸晶圆片;6寸晶圆片;8寸晶圆片等。7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间(正常工艺在50分钟-120分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间(因降温时间为常规降温)。网带炉怎样使用?合肥真萍告诉您。
恒温恒湿箱试验箱是航空、汽车、家电、科研等领域必备的检测设备,用于测试电子、电工及其它产品及材料进行高温、低温、交变湿热度或恒定试验的温度环境变化参数及性能。该系列产品适用于航空航天产品、信息电子仪器仪表、材料、电工、电子产品、各种电子元气件在高低温或湿热环境下、检验其各项性能指标。下面为大家介绍一下真萍科技的恒温恒湿试验箱的控制特点。 加湿是恒温恒湿试验箱不同于高低温试验箱的相当主要一部分,恒温恒湿试验箱采用外置隔离式,全不锈钢锅炉式浅表面蒸发式加湿器。祛湿方式采用机械制冷祛湿,将空气冷却到温度以下,使大于饱和含湿量的水汽凝结析出,这样就降低了湿度。 送风循环系统:空气循环系统由耐温低噪音空调型电机,多叶式离心风轮构成。它提供了试验机内空气的循环。 控制系统是综合试验箱的**,它决定了试验机的升温速率,精度等重要指标。试验机的控制器大都采用PID控制,也有少部分采用PID与模糊控制相组合的控制方式。由于控制系统基本上属于软件的范畴,而且此部分在使用过程中,一般不会出现问题。合肥真萍向您介绍网带炉的好处。宁波生产网带炉
网带炉的作用是什么?合肥真萍告诉您。宁波生产网带炉
一、热工系统1.额定温度800℃2.较高温度850℃3.加热元件陶瓷外丝加热管4.加热功率18kw5.空炉保温功率约9kw6.温区个数1个7.控温点数2点8.热偶K分度9.控温稳定度±1℃(恒温平台)10.炉膛温度均匀度±6℃(恒温800℃,1h)二、冷却系统1.冷却结构无2.产品降温随炉降温3.安全保护4.报警指示超温、断偶、停水、停气等声光报警保护5.设备安全升温速率≤5℃/min,在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。宁波生产网带炉
合肥真萍电子科技有限公司办公设施齐全,办公环境优越,为员工打造良好的办公环境。在真萍电子近多年发展历史,公司旗下现有品牌真萍烤箱,真萍烘箱等。公司坚持以客户为中心、电子产品,电子设备及配件,半导体设备及配件,半导体耗材,办公设备研发及销售。真萍科技(真萍微电子装备)是专业从事烘烤制程设备,半导体黄光区**设备,环境与可靠性试验设备,电镀清洗设备,防潮防氧化专业设备等产品的生产和销售供应厂商,是以一批多年从事环境试验设备、防潮防氧化设备,半导体黄光区**设备,电镀清洗设备等行业的专业工程技术人员,具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。市场为导向,重信誉,保质量,想客户之所想,急用户之所急,全力以赴满足客户的一切需要。诚实、守信是对企业的经营要求,也是我们做人的基本准则。公司致力于打造***的洁净箱,干燥箱,高温无氧烤箱,隧道炉。
本篇介绍专业全自动HMDS真空烤箱,首先简单介绍一下HMDS预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性...
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