某材料实验室利用 Polos 光刻机的亚微米级图案化能力,在铝合金表面制备出仿荷叶结构的超疏水涂层。其激光直写技术在 20μm 间距的微柱阵列上叠加 500nm 的纳米脊,使材料表面接触角达 165°,滚动角小于 3°。该涂层在海水环境中浸泡 30 天后,防腐蚀性能较未处理表面提升 10 倍。其灵活的图案编辑功能还支持在同一样品上实现超疏水与超亲水区域的任意组合,被用于微流控芯片的液滴定向输运,液滴驱动电压降低至传统方法的 1/3。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。技术Benchmark:Polos-µPrinter 入选《半导体技术》年度创新产品,推动无掩模光刻技术普及。吉林德国POLOS桌面无掩模光刻机光源波长405微米
植入式神经电极需要兼具生物相容性与导电性能,表面微图案可remarkable影响细胞 - 电极界面。Polos 光刻机在铂铱合金电极表面刻制出 10μm 间距的蜂窝状微孔,某神经工程团队发现该结构使神经元突触密度提升 20%,信号采集噪声降低 35%。其无掩模特性支持根据不同脑区结构定制电极阵列,在大鼠海马区电生理实验中,单神经元信号识别率从 60% 提升至 85%,为脑机接口技术的临床转化奠定了硬件基础。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。吉林德国POLOS桌面无掩模光刻机光源波长405微米跨学科应用:覆盖微机械、光子晶体、仿生传感器与纳米材料合成领域。
柔性电子是未来可穿戴设备的core方向,其电路图案需适应曲面基底。Polos 光刻机的无掩模技术在聚酰亚胺柔性基板上实现了 2μm 线宽的precise曝光,解决了传统掩模对准偏差问题。某柔性电子研究中心利用该设备,开发出可贴合皮肤的健康监测贴片,其传感器阵列的信号噪声比提升 60%。相比光刻胶掩模工艺,Polos 光刻机将打样时间从 72 小时压缩至 8 小时,加速了柔性电路的迭代优化,推动柔性电子从实验室走向产业化落地。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。
德国 Polos 光刻机系列的一大突出优势,便是能够轻松输入任意图案进行曝光。在科研工作中,创新的设计理念往往需要快速验证,而 Polos 光刻机正满足了这一需求。科研人员无需花费大量时间和成本制作掩模,只需将设计图案导入系统,就能迅速开始光刻作业。 在生物医学工程领域,研究人员利用这一特性,快速制作出具有特殊结构的生物芯片,用于疾病诊断和药物筛选。在材料科学研究中,可根据不同材料特性,定制独特的图案结构,探索材料的新性能。这种灵活的图案输入方式,remarkable缩短了科研周期,加速科研成果的产出,让科研人员能够将更多精力投入到创新研究中。纳 / 微机械:亚微米级结构加工,微型齿轮精度达 ±50nm,推动微机电系统创新。
德国 Polos 光刻机系列以其紧凑的设计,在有限的空间内发挥着巨大作用。对于研究实验室,尤其是空间资源紧张的高校和初创科研机构来说,设备的空间占用是重要考量因素。Polos 光刻机占用空间小的特点,使其能够轻松融入各类实验室环境。 尽管体积小巧,但它的性能却毫不逊色。无掩模激光光刻技术保障了高精度的图案制作,低成本的优势降低了科研投入门槛。在小型实验室中,科研人员使用 Polos 光刻机,在微流体、电子学等领域开展研究,成功取得多项成果。从微纳结构制造到新型器件研发,Polos 光刻机证明了小空间也能蕴藏大能量,为科研创新提供有力支持。Polos-BESM XL:加大加工幅面,满足中尺寸器件一次性成型需求。陕西德国桌面无掩模光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米
无掩模激光直写技术:无需物理掩膜,软件直接输入任意图案,降低成本与时间。吉林德国POLOS桌面无掩模光刻机光源波长405微米
在微流控芯片集成领域,某微机电系统实验室利用 Polos 光刻机的多材料同步曝光技术,在同一块 PDMS 芯片上直接制备出金属电极驱动的气动泵阀结构。其微泵通道宽度可控制在 20μm,流量调节精度达 ±1%,响应时间小于 50ms。通过软件输入不同图案,可在 10 分钟内完成从连续流到脉冲流的模式切换。该芯片被用于单细胞代谢分析,实现了单个tumor细胞葡萄糖摄取率的实时监测,检测灵敏度较传统方法提升 3 倍,相关设备已进入临床前验证阶段。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。吉林德国POLOS桌面无掩模光刻机光源波长405微米
Polos-BESM支持GDS文件直接导入和多层曝光叠加,简化射频器件(如IDC电容器)制造流程。研究团队利用类似设备成功制备高频电路元件,验证了其在5G通信和物联网硬件中的潜力。其高重复性(0.1 µm)确保科研成果的可转化性,助力国产芯片产业链突破技术封锁56。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统...