等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态3种状态存在，但在一些特殊的情况下可以以第四中状态存在，如太阳表面的物质和地球大气中电离层中的物质。这类物质所处的状态称为等离子体状态，又称为物质的第四态。等离子体中存在下列物质：处于高速运动状态的电子;处于jihuo状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子；分子解离反应过程中生成的紫外线;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子体可以实现清洁、改性、刻蚀等目的。贵州在线式等离子清洗机技术参数
光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。贵州在线式等离子清洗机技术参数大气等离子清洗机：大气压环境下进行表面处理，解决产品表面污染物，使用方便，还能搭配流水线进行工作。
等离子清洗是一种环保工艺，由于采用电能催化反应，同时利用低温等离子体的特性，可以提供一个低温环境，排除了湿式化学清洗所产生的危险和废液，安全、可靠、环保。与传统的溶剂清洗不同，等离子清洗无需水及溶剂添加，依靠等离子体的“活化作用”达到清洗材料表面的目的，清洗效果彻底并保证材料的表面及本体特性不受影响。等离子清洗技术容易实现智能化控制，可装配高精度的控制装置，控制时间，及等离子强度。更重要的是，等离子清洗技术不分处理对象的材料类型，对半导体、金属和大多数高分子材料均有很好的处理效果，可实现整体和局部以及复杂结构的精密清洗。
低温等离子清洗机处理温度低，全程无污染，处理效率高，可实现全自动在线生产。样品表面经过短时间处理可以显著提高材料表面能,亲水性,处理效果均匀稳定。等离子活化是一种利用等离子体处理技术对材料表面进行活化处理的方法。等离子体具有对材料表面活化的作用，因为等离子体包含离子、原子、电子、分子、自由基和紫外光等多种具有高度活性的粒子。在这些高能粒子轰击下，材料表面可能发生化学断裂、重组，从而达到材料表面性能改变的目的。等离子处理通过在介质中产生等离子体，利用等离子体的高能离子轰击表面，从而改变表面性质。
等离子清洗机在处理样品表面时，不会对样品造成损伤，而且不会产生有害的废液或废气，是一种环保、安全的表面处理方法。同时，等离子清洗机还具有高效、快速、均匀等特点，可以有效地提高表面的附着力和亲水性，从而使得涂层更加均匀、牢固。等离子清洗机在各个领域都有广泛的应用，如电子行业中的半导体制造、光学行业中的光学薄膜处理、机械行业中的表面改性、医学行业中的医疗器械消毒等。通过使用等离子清洗机，可以实现表面清洁、去污、活化、蚀刻、涂覆等多种处理，从而提高了产品的质量和性能。真空等离子清洗机的特点就是在设备中有进行等离子处理的反应腔。贵州在线式等离子清洗机技术参数
常温等离子表面处理机能够用于材料的表面清洗、活化、改性等工艺中，处理金属、陶瓷、塑料等类型的材料。贵州在线式等离子清洗机技术参数
半导体芯片作为现代电子设备的组成部分，其质量和可靠性对整个电子行业至关重要。Die Bonding是将芯片装配到基板或者框架上去，基板或框架表面是否存在有机物污染和氧化膜，芯片背面硅晶体的浸润性等均会对粘接效果产生影响，传统的清洗方法已经无法满足对芯片质量的要求。使用微波plasma等离子清洗机处理芯片表面能有效地清洁并改善表面的浸润性，从而提升芯片粘接的效果。微波是指频率在300MHz-300GHz之间的电磁波，波长约1mm-1m，具有机动性高、工作频宽大的特性，使用微波发生器配1.25KW电源产生微波将微波能量馈入等离子腔室内，使微波能量在低压环境下形成等离子体。贵州在线式等离子清洗机技术参数
