宁波迪格曼莎流量控制器

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MCVS还配有一个下游用的气动截止阀。MCVS-0.5SCCM-DMCVS-1SCCM-DMCVS-2SCCM-DMCVS-5SCCM-DMCVS-10SCCM-DMCVS-20SCCM-DMCVS-50SCCM-DMCVS-100SCCM-DMCVS-200SCCM-DMCVS-500SCCM-DMCVS-1SLPM-DMCVS-2SLPM-DMCVS-5SLPM-DMCVS-10SLPM-DMCVS-20SLPM-D反应溅射气体流量控制以50ms控制响应速度精确控制真空室内反应气体的分压以避免靶件喷涂过度，良好的分辨率保证了适当的原子释放，气动截止阀确保无流量时的正向切断。点击此处查看完整APP说明

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