上海防爆型电镀设备

除油超声波清洗机设备特点：槽体设计为全不锈钢结构，整体美观大方，采用SUS304/316L不锈钢板成型，坚固耐用。功能完善，安装简单方便，易操作，安全可靠。采用质量换能器和独特发生器，超声强劲有力，搭配日本震头，确保清洗力强且经久耐用。配备自动温控加热装置，温控范围为室温～100℃。超声波槽体与发生器分体，功率、时间可调，使用及保养便捷。超声波频率可选：28KHZ、40KHZ、68KHZ、80KHZ、120KHZ、135KHZ等。支持按客户需求定制规格尺寸。适用行业：五金、电镀、钟表、眼镜、玻璃、光电、电子等多行业的除油除蜡污垢场景。过滤循环设备通过精密滤芯净化电解液，去除金属颗粒等杂质，保障镀液清洁与工艺稳定。上海防爆型电镀设备

电镀前处理废气设备有哪些？

集气罩：根据前处理设备形状、废气散发特点定制，如槽边侧向集气罩等，可高效收集废气，常见材质有 PP 等耐腐蚀材料 。

通风管道：多选用耐腐蚀的 PP 材质，用于连接抽风设备各部件，将废气输送至处理设备，其设计需考虑废气流量、阻力等因素 。

引风机：常安装在输送通道出风口处，为废气的抽取和输送提供动力 ，可根据实际需求选择不同规格和性能的引风机。 

此外，一些抽风装置还可能配备过滤处理箱、活性炭吸附网板等，用于对废气进行初步过滤、吸附，减少大颗粒杂质等对风机的损害 。 上海防爆型电镀设备设备维护系统集成故障诊断模块，通过传感器数据预判过滤机堵塞、加热管老化等问题，减少停机时间。

半导体滚镀设备

是一种于半导体制造中金属化工艺的精密设备，主要用于在半导体晶圆、芯片或微型元件表面沉积均匀的金属镀层。其在于通过可控的电化学或化学镀工艺，实现高精度、高一致性的金属覆盖，满足集成电路封装、先进封装及微机电系统等领域的特定需求

与传统滚镀不同，半导体滚镀更注重工艺洁净度、镀层精度及与半导体材料的兼容性。

二、功能

1.金属互连：在晶圆上形成铜导线。

2.凸块制备：沉积锡、铜、金等材料，用于芯片与基板的电气连接。

3.阻挡层/种子层镀覆：镀钛、钽等材料，防止金属扩散并增强附着力。

三、设备组成

1.电镀槽：

材质：耐腐蚀材料，避免污染镀液

镀液循环系统：维持镀液成分均匀，过滤颗粒杂质

2.旋转载具：

晶圆固定装置：真空吸附或机械夹持，确保晶圆平稳旋转

转速控制：通过伺服电机调节转速，优化镀层均匀性

3.阳极系统：

可溶性/不溶性阳极：铜、铂等材料，依镀层需求选择

阳极位置调节：控制电场分布，减少边缘效应

4.供液与喷淋系统：

多点喷淋头：均匀分配镀液至晶圆表面，避免气泡滞留

流量控制：精确调节镀液流速，匹配不同工艺需求

5.控制系统：

PLC/工控机：集成温度、pH值、电流密度等参数监测与反馈。

配方管理：存储不同镀层的工艺参数

全自动磷化线工作流程

1.前处理：晶圆清洗、去氧化层、活化表面。

2.装载：将晶圆固定于旋转载具，浸入镀液。

3.电镀：

施加电流，金属离子在晶圆表面还原沉积。

旋转载具确保镀液流动均匀，消除厚度差异。

4.后处理：镀层退火、清洗、干燥。

技术特点

1.高均匀性：

旋转+喷淋设计减少“边缘增厚”现象，镀层均匀性达±5%以内。

2.精密控制：电流密度精度：±1 mA/cm²；温度波动：±0.5℃。

3.洁净度保障：设备内建HEPA过滤系统，满足Class 1000以下洁净环境。

4.高效生产：支持多片晶圆同时处理（如6片/批次），UPH（每小时产量）可达50~100片。

应用场景

1.先进封装：2.5D/3D IC的TSV镀铜、Fan-Out封装中的RDL金属化。

2.功率器件：IGBT、MOSFET背面金属化（镀银、镀镍）。

3.传感器与MEMS：微结构表面镀金，提升电气性能与可靠性。 悬挂传输设备以链条或龙门架为载体，实现工件在各槽体间自动转移，减少人工干预并提高生产节奏。

双筒过滤机特点：一机具备多功能用途，可依据客户使用条件，更换不同滤材。主滤筒采用耐腐蚀的PP/FRPP/PVDF一体注塑成型，耐酸碱腐蚀、防泄漏，且提供多种滤芯规格，可按精度需求选择，满足多元化应用。整机安装与操作简便，清洗便捷高效，占地面积小。支持根据客户不同需求，选择滤筒材质。适用领域，包括电镀、氧化、表面处理等多种工艺环节。分享不同材质的滤芯在电镀设备中的过滤效果有何差异？双筒过滤机的价格区间是多少？滤芯式过滤机在电镀行业中的市场占比是多少？脉冲电镀电源设备通过周期性通断电流，减少镀层孔隙率，提升结晶细致度，适用于精密零件电镀。上海防爆型电镀设备

连续镀生产线的导电辊镀覆耐磨碳钨涂层，降低钢带传输摩擦，避免划伤与镀层缺陷。上海防爆型电镀设备

酸雾净化塔是高效处理工业酸性废气的设备，广泛应用于电镀、化工等行业，通过中和反应去除硫酸雾、盐酸雾等污染物，确保废气达标排放。

一、原理与结构

废气由抽风设备引入塔底，自下而上流动，塔内喷淋系统喷洒碱性吸收液（如氢氧化钠溶液），与酸性气体发生中和反应，生成无害盐类和水。塔内填料层增大接触面积，强化传质效率；除雾装置去除尾气中夹带的液滴，洁净气体终排放。设备主体采用耐酸碱材料（PP、玻璃钢等），包含喷淋系统、填料层、除雾装置及循环系统，确保长期稳定运行。

二、分类与适用场景

填料塔：适用于中等风量、高净化需求（如电镀酸洗废气）；喷淋塔：结构简单，适合大流量、低浓度酸性废气；旋流板塔：通过湍动增强反应，处理高浓度酸雾更高效。广泛应用于电镀酸洗、化工生产、电子清洗等工序，针对性去除各类酸性污染物。

三、优势与系统配合

净化效率可达90%~95%，耐腐蚀性强，吸收液循环使用降低成本，且可根据废气特性定制塔体参数。常与抽风设备、集气罩等组成完整处理系统，实现从废气收集到净化排放的全流程控制，是工业酸性废气治理的关键设备，助力企业满足环保标准，实现清洁生产。编辑分享 上海防爆型电镀设备