广州激光微孔加工方法

激光LIGA技术它采用准分子激光深层刻蚀代替载射线光刻，从而避开了高精密的载射线掩膜制作、套刻对准等技术难题，同时激光光源的经济性和使用的普遍性明显优于同步辐射载光源，从而有效降低LIGA工艺的制造成本，使LIGA技术得以广泛应用。尽管激光LIGA技术在加工微构件高径比方面比载射线差，但对于一般的微构件加工完全可以接受。此外，激光LIGA工艺不像载射线光刻需要化学腐蚀显影，而是“直写”刻蚀，不存在化学腐蚀的横向浸润腐蚀影响，因而加工边缘陡直，精度高，光刻性能优于同步载射线光刻。宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工技术支持微孔阵列加工，提升产品功能性。广州激光微孔加工方法

电火花能加工任何导电材料的各种不同截面形状的小孔,小孔径或槽宽可达5μ，尺寸精度可达2μm，表面粗糙度达Ra0.32μm，电火花小孔磨削可达Ra0.08μm，加工微小孔时电极与工件间无任何的机械力作用，所以可加工薄壁、弹性件等低刚度零件，也可在斜面上加工，还可加工一些弯孔。但是，电火花加工的速度极低，加工的成本比较高，用于加工小孔的电极铜工的制造难度较大，其电极铜工的装夹和校准也相当困难，对于批量生产难度很大，只能针对极少数的小孔。珠海激光钻孔微孔加工激光微孔加工凭借其高能量密度光束，可在金属、陶瓷等多种材料上精确雕琢出微米级孔洞，且加工热影响区小。

激光加工：其生产效率高、成本低、加工质量稳定可靠、具有良好的经济效益和社会效益。它主要加工0.1mm以下的材料，电子部件、多层电路板的焊接、陶瓷基片，宝石基片上的钻孔、划线和切片；半导体加工工种的激光走域加热和退货、激光刻蚀、掺杂和氧化等，对金属微孔加工激光工艺容易产生烧黑的现象，且容易改变材料的材质，残渣不易清理或无法清理的现象。线性切割：采用线电极连续供丝的方式，慢走丝线切割机在运用领域得到了普及，工件表面粗糙度通常可达到Ra=0.8μm及以上，但线切割工艺材料容易变形，批量切割生产价格昂贵。蚀刻：加工工艺即光化学蚀刻,通过曝光显影后将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,使用两个阳性图形通过从两面的化学研磨达到溶解的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。对形状复杂，精密度要求高二机械加工难以实现的超薄形工件。蚀刻加工能够满足部件平整、无毛刺、图形复杂的要求，加工周期短、成本低。微钻加工:是直接小于3.175mm的钻头，它主要加工Ф0.1-Ф0.3mm，深径比超过10。

微孔加工是传统加工里面很难的技术，其介于传统加工和微细加工之间。用电火花是不错的选择，较小可以加工，但是，其微孔孔壁会留下再铸层，从而影响微孔的使用寿命，使得微孔的孔壁表面质量发生恶化。所以在选择或是加工微孔加工时，都要选择正规的厂家，厂家也一定要选择正确的设备。现在，在零件加工过程中，开微孔是很常见的。如果需要在硬质合金等硬材料上钻大量直径为，则使用普通加工工具可能不容易。如果能做到这一点，加工成本将很高。现有的机械加工技术通过使用高速旋转的小钻头在材料上制造微孔，每分钟旋转数万圈和数十万圈。该方法通常可加工孔径为。在现在的工业生产中往往是要求加工直径比这还小的孔。比如在电子工业生产中，多层印刷电路板的生产，就要求在板上钻成千上万个直径约为～。显然，采用刚才说的钻头来加工，遇到的困难就比较大，加工质量不容易保证，加工成本不低。宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工技术适用于医疗器械制造，满足高洁净度要求。

接下来我们就来聊一聊微孔加工有哪些加工方法？我们都知道，微孔加工在传统加工里面是属于较难的一种技术，介于传统加工和微细加工之间。至今在很多国家的研究室里还在继续这方面的研究。那么在面对不同模具、材质、直径大小等问题时，就要选择针对性的加工方式，如电火花微加工、激光加工、线性切割、蚀刻加工工艺、微钻孔工艺这个几个方式。下面我们一一来详述。电火花微孔加工：它是针对模具的打孔操作，电火花加工是属于慢加工，在微机械、机械加工、光学仪器等领域得到关注，微孔加工受力小、加工孔径和深度由调节电参数就可以得到控制等优势，但其弊端无法批量生产，费用较高，2个或者5个左右的孔径可以使用。宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工技术广泛应用于航空航天领域，满足高精度零件需求。江苏机械微孔加工

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传统的微孔加工技术主要有机械加工、超声波打孔、化学腐蚀加工以及电火花加工等，这些技术各有各的优点和缺点，且在工业应用中已经相对成熟，但无法满足更高精度的倒锥微孔加工的需求。随着脉冲激光技术的快速发展，其高精细的加工、良好的单色性与方向性等特点，被越来越多的应用于高精度微结构成型中。激光凭借其强度、良好的方向性和相干性，再使其通过特定的光学系统，可将激光束聚焦为直径几微米的光斑，使其能量密度高达10^6～10^8W/cm2，产生104℃以上的高温，材料会在10^4℃以上的温度下迅速达到熔点，熔化成熔融物，随着激光的继续作用，材料温度会继续升高，熔融物开始汽化，产生蒸汽层，形成了固、液、汽三相共存状态。由于蒸汽压力的作用，熔融物会被喷溅出去，形成孔的初始形貌。随着激光作用时间的增加，孔深度和孔直径不断增加，到激光作用完成后，未被喷溅出去的熔融物会逐渐凝固，形成重铸层，达到加工的目的广州激光微孔加工方法