电镀废气处理抽风设备分类: 按工作原理及结构分类: 离心风机:风压高、风量较大,适用于需要克服较大阻力 轴流风机:具有风量大、风压低的特点。适合在对通风量需求大、阻力较小的环境 屋顶风机:安装于电镀车间屋顶,可直接将车间内废气排至室外。其优点是不占室内空间,安装简便 ...
电镀滚镀机与电镀生产线的关系对比:滚镀机 vs 其他电镀设备(在生产线中的差异)
对比项 滚镀机 挂镀设备 连续镀设备(如钢带镀) 适用工件 小尺寸、大批量 中大尺寸、精密件 连续带状或线状工件铜线) 镀层均匀性 良好(动态翻滚减少屏蔽) 优(单件悬挂,无遮挡 ) 高(匀速传动,电解液稳定) 产能 极高(单次处理数千件) 中(单件或小批量) 超高(连续生产,24 小时不停机)人工干预 低(滚筒自动上下料) 高(需人工挂卸工件) 低(全自动收放卷) 在生产线中的角色 小件批量处理设备 大件 / 精密件处理设备 连续材料处理设备 镀铬设备需配置铅合金阳极与阳极袋,防止杂质污染电解液,确保硬铬镀层的高硬度与耐磨性。手动电镀设备周边设备
1.前处理:晶圆清洗、去氧化层、活化表面。
2.装载:将晶圆固定于旋转载具,浸入镀液。
3.电镀:
施加电流,金属离子在晶圆表面还原沉积。
旋转载具确保镀液流动均匀,消除厚度差异。
4.后处理:镀层退火、清洗、干燥。
1.高均匀性:
旋转+喷淋设计减少“边缘增厚”现象,镀层均匀性达±5%以内。
2.精密控制:电流密度精度:±1 mA/cm²;温度波动:±0.5℃。
3.洁净度保障:设备内建HEPA过滤系统,满足Class 1000以下洁净环境。
4.高效生产:支持多片晶圆同时处理(如6片/批次),UPH(每小时产量)可达50~100片。
1.先进封装:2.5D/3D IC的TSV镀铜、Fan-Out封装中的RDL金属化。
2.功率器件:IGBT、MOSFET背面金属化(镀银、镀镍)。
3.传感器与MEMS:微结构表面镀金,提升电气性能与可靠性。 湖北电镀设备自动化电镀线的机器人上下料系统,通过视觉识别定位工件,实现高精度无人化操作。
挂镀工艺:晶圆固定在挂具上,浸入电镀液,通过精细控制电流、电压及溶液成分,在表面沉积均匀金属层。
电镀槽:耐腐蚀材质,配备温控、循环过滤系统,维持镀液均匀性
挂具与阳极:钛或铂金阳极,挂具设计适配晶圆尺寸,确保电场分布均匀
自动化传输:机械臂自动上下料,减少人工污染风险
控制系统:PLC/计算机实时调控电流密度、电镀时间、pH值等参数
高均匀性:通过脉冲电镀或水平电镀技术(如ECP),减少边缘效应,实现亚微米级镀层均匀性
低缺陷率:镀液杂质控制(<0.1ppm)与膜厚在线监测,降低孔洞、结节等缺陷
高产能:支持多晶圆并行处理
铜互连:在逻辑芯片中沉积多层铜导线,替代传统铝工艺以降低电阻
TSV填充:为3D封装提供垂直导电通道,实现芯片堆叠
凸块电镀:在晶圆表面形成锡、铜柱凸块,用于Flip-Chip键合
RDL(重布线层):沉积铜层实现芯片I/O端口的重新布局
半导体挂镀设备通过精密电化学控制与自动化技术,解决了纳米级金属沉积的均匀性与可靠性难题,是先进芯片制造与封装的装备。其性能直接关联芯片的导电性、散热及良率
是为电阻、电容等微型电子元件设计的自动化电镀装置,通过三滚筒协同作业与全流程智能控制,实现高效、高精度镀层加工。要点:
三滚筒系统:
三个滚筒可同步处理不同工艺或元件(如电阻镀锡、电容镀银),或联动提升产能。滚筒采用PP/PVC等耐腐蚀材质,内部防碰撞分区设计,减少微小元件(如贴片电阻0201)的损伤风险
全自动控制:
集成PLC/工业电脑系统,自动完成上料、电镀、清洗、烘干流程。通过传感器实时监控镀液温度、pH值及电流密度,动态调节参数
电镀优化:
多级过滤与温控装置确保镀液稳定性;多点阴极导电技术适配电阻引脚、电容电极的复杂接触需求
高效灵活:三滚筒并行作业,产能较单筒提升50%以上,可同时处理多规格元件或多镀种
镀层高一致性:滚筒匀速旋转结合智能调控,确保微小元件表面镀层均匀
低损耗率:防摩擦结构+精细转速控制,元件破损率低于0.1%
典型场景:
电阻类:金属膜电阻端头镀锡、高精度电阻镀金
电容类:铝电解电容电极镀铜、MLCC电容镀镍抗氧化
关键注意:
按元件尺寸匹配滚筒孔径,防止漏料
定期检测镀液金属离子浓度,避免杂质影响镀层导电性
维护自动传输系统,减少卡料风险。 环保型电镀设备的废气收集系统采用蜂窝状活性炭吸附塔,深度处理酸雾废气,确保排放达标。
1.镀铜液方面
酸性镀铜液导电性强、分散性佳,能快速镀厚铜,常用于电子元件底层镀铜;
碱性镀铜液稳定性好,腐蚀性小,所得铜层结晶细、结合力强,适用于钢铁基体打底。
2.镀镍液
瓦特镍镀液成分简单、易维护,镀层光亮耐磨,在防护装饰性电镀中广泛应用;
氨基磺酸镍镀液分散与深镀能力优,镀层内应力低、延展性好,多用于对镀层质量要求高的电子、航天领域。
3.镀锌液里
碱性镀锌液阴极极化作用强,锌层耐腐蚀性好;
酸性镀锌液电流效率高、沉积快,外观光亮,不过腐蚀性强。
4.镀金液
有物镀金液,镀层均匀光亮、硬度高;
无氰镀金液则更环保。
5.镀银液
物镀银液电镀性能好,镀层导电导热优;
硫代硫酸盐镀银液毒性小、更环保。选择镀液要综合零件材质、形状、使用环境及实验目的等,兼顾成本与环保。
在选择镀液时,需要根据待镀零件的材质、形状、尺寸、使用环境以及实验目的等因素进行综合考虑,同时还需考虑镀液的成本、环保性和操作难度等因素。 脉冲电化学抛光设备结合电镀与抛光功能,通过瞬间高电流溶解凸起部分,实现镜面级镀层表面。滚镀电镀设备厂家直销
无氰镀锌设备使用锌酸盐络合剂替代。手动电镀设备周边设备
按电镀工艺药剂添加
分化学镍自动加药设备:通过先进传感器和控制系统,实时监测化学镍溶液浓度、pH值、温度等参数,依预设工艺要求自动调整添加剂加入量,保障溶液稳定性,提高电镀产品一致性与质量。还具备高效节能特点,减少化学品浪费与环境污染,同时减轻工人劳动强度。
电镀药水全自动添加系统:如秒准MAZ-XR300A18,基于莫塞莱定律和比尔-朗伯定律,利用软X射线和可见光谱对电镀液中金属离子(如Ni²⁺、Sn²⁺等)和非金属组分(如磷酸、氢氧化钠等添加剂)进行定性、定量分析。具备自清洗功能,支持多通道采样,可全组分在线分析,适用于高温强腐蚀性环境,安全性高。
pH自动加药机:用于维持电镀液pH值稳定。电镀过程中,pH值变化会影响镀层质量,该设备通过pH传感器实时监测,当pH值偏离设定范围,自动控制加酸或加碱泵添加相应药剂,使pH值保持在合适区间。
光亮剂自动加药机:光亮剂能提升电镀层光亮程度和表面质量。此设备依据电镀液中光亮剂浓度变化,自动添加光亮剂,保证镀层外观质量稳定,避免因光亮剂不足或过量导致镀层发暗、出现条纹等问题。 手动电镀设备周边设备
电镀废气处理抽风设备分类: 按工作原理及结构分类: 离心风机:风压高、风量较大,适用于需要克服较大阻力 轴流风机:具有风量大、风压低的特点。适合在对通风量需求大、阻力较小的环境 屋顶风机:安装于电镀车间屋顶,可直接将车间内废气排至室外。其优点是不占室内空间,安装简便 ...
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