安徽高精密微孔加工工艺

1、电火花微孔加工主要是针对模具打孔操作，电火花加工是属于慢加工，在微机械、机械加工、光学仪器等领域得到关注，微孔加工受力小、加工孔径和深度由调节电参数就可以得到控制等优势，但其弊端无法批量生产，费用较高，2个或者5个左右的孔径可以使用。2、激光加工主要加工，电子部件、多层电路板的焊接、陶瓷基片，宝石基片上的钻孔、划线和切片；半导体加工工种的激光走域加热和退货、激光刻蚀、掺杂和氧化等，对金属微孔加工激光工艺容易产生烧黑的现象，且容易改变材料的材质，残渣不易清理或无法清理的现象。3、线性切割采用线电极连续供丝的方式，慢走丝线切割机在运用领域得到了普及，工件表面粗糙度通常可达到Ra=μm及以上，但线切割工艺材料容易变形，批量切割生产价格昂贵。4、蚀刻光化学蚀刻,指通过曝光,显影后将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,使用两个阳性图形通过从两面的化学研磨达到溶解的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。对形状复杂，精密度要求高二机械加工难以实现的超薄形工件。蚀刻加工能够满足部件平整、无毛刺、图形复杂的要求，加工周期短、成本低。5、微钻直接小于，它主要加工ФФ，深径比超过10。宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工技术支持微孔阵列加工，提升产品功能性。安徽高精密微孔加工工艺

激光LIGA技术它采用准分子激光深层刻蚀代替载射线光刻，从而避开了高精密的载射线掩膜制作、套刻对准等技术难题，同时激光光源的经济性和使用的普遍性明显优于同步辐射载光源，从而有效降低LIGA工艺的制造成本，使LIGA技术得以广泛应用。尽管激光LIGA技术在加工微构件高径比方面比载射线差，但对于一般的微构件加工完全可以接受。此外，激光LIGA工艺不像载射线光刻需要化学腐蚀显影，而是“直写”刻蚀，不存在化学腐蚀的横向浸润腐蚀影响，因而加工边缘陡直，精度高，光刻性能优于同步载射线光刻。安徽高精密微孔加工工艺宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工设备配备智能校准系统，确保加工精度。

精密打孔材料几乎无限制精密微孔打孔机的激光束在空间和时间上的高度集中，可以将光斑直径缩小到微米级从而获得很高的功率密度，几乎可以对任何材料进行激光打孔。比如在硬质碳化钨上加工几十微米的微孔；在红、蓝宝石上加工几十微米的深孔；还能在金刚石拉丝模具、化学纤维的喷丝头上打各种超微孔等。精密打孔精细到0.001mm精密微孔打孔机设备由高效能激光器与高精度控制系统配合，高精度温度控制PID算法，让其光束质量好，聚焦光斑更小，能实现超精细孔径标机。使其打孔范围有微孔:1.00～3.00(mm);次微孔:0.40～1.00(mm);超微孔:0.1～0.40(mm);微孔:0.01～0.10(mm);次微孔:0.001～0.01(mm);超微孔:<0.001(mm)这6种孔径，适合不同工件的孔径要求。

激光打孔分为四类：不同的激光打孔微孔加工方法特点：1、激光直接打孔：利用聚焦透镜直接打孔，孔大小，圆度取决激光光斑大小及圆度，孔的大小不易控制。只能适合较小的孔。孔径0.005-0.3mm左右。打孔速度快。2、激光切割打孔：采用XY运动平台来实现，孔内壁光洁度较差，精度较差，打孔速度慢，可打大孔，多孔。3、工件旋转打孔：孔内壁光洁度较好，圆度高，打孔速度快，但只能打单一孔。可打孔径0.005mm及以上。适合圆形同轴零件打孔，可打角度孔。4、光束旋转打孔：打孔时工件不动，孔的大小由光束旋转器控制，打孔内壁光洁度较好，圆度高，打孔速度快，由XY运动平台来实现位置定位，可打多孔。是目前较为先进的激光微孔加工技术。宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工设备支持远程监控，方便客户实时掌握生产状态。

精密小孔激光打孔机采用高性能激光器，激光聚焦CCD同光路电视监视，电子十子叉丝对准，放大倍数400倍，精密四轴运动工作台和工业控制计算机系统组成。精密小孔激光打孔机更短的波长，超小的激光焦点可对0.001mm微孔加工。精密激光打孔烧蚀区少，孔内壁光滑，装夹方便，打孔速度快，长期工作稳定可靠。精密小孔激光打孔机原理是在高熔点金属钼板上加工微米量级孔径，在硬质碳化钨上加工几十微米的小孔。广泛应用于不锈钢、铝合金、铜制品、金钢石等金属材质；应用行业有消声器小孔、针头小孔、宝石轴承等工件打孔、汽车喷油嘴微孔、细管激光穿孔打孔、橡胶膜微孔爆气管打孔、汽配群孔打孔、雾化片加湿汽配件微孔、橡胶膜片爆气盘微孔；还能对天然金钢石、聚晶金钢石，红宝石、紫铜、不锈钢、碳钢、合金钢等超硬、耐高温材料进行不同形状、不同直径、深度和锥度的打孔。宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工设备采用人性化操作界面，降低使用难度。南通探针卡微孔加工

宁波米控机器人科技有限公司的微孔加工技术适用于医疗器械制造，满足高洁净度要求。安徽高精密微孔加工工艺

目前微细小孔加工技术现已应用于精密过滤设备、化纤喷丝板、喷气发动机喷嘴、电子计算机打印头、印刷电路板、天象仪星孔板、航空陀螺仪表元件、飞机叶片以及医疗器械中的红血球细胞过滤器等零件的加工领城。本文分析用激光加工和电火花微孔加工的方法，每一种加工方法都有其独特的优点和缺点，这主要取决于工件孔径的大小，孔的排列，孔的密度，孔的精度要求。激光加工主要对应的是，电子工业中已经地应用了激光加工技术。例如，精密电子部件、集成电路芯片引线以及多层电路板的焊接；混合集成电路中陶瓷基片或宝石基片上的钻孔、划线和切片；半导体加工工艺中激光走域加热和退火；激光刻蚀、掺杂和氧化；激光化学汽相沉积等。但是作为金属的微细小孔加工，激光存在的问题是会产生一些烧黑的现象，容易改变材料材质，以及残渣不易清理或无法清理的现象。不是完美的微孔加工解决方案。如果要求不高，可以试用，但是针对批量的订单，激光加工就无法满足客户的交期和成本的期望值。安徽高精密微孔加工工艺