电镀设备基本参数
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  • 志成达
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  • 志成达
  • 基材
  • PVC
电镀设备企业商机

被动元器件与电镀设备的应用案例:

案例1:MLCC端电极电镀

           流程:陶瓷烧结→端面研磨→溅射镍层→电镀铜/锡层→激光切割分粒。

          设备:溅射镀膜机+滚镀线,确保端电极导电性与焊接性。

案例2:薄膜电阻调阻后电镀

          流程:氧化铝基板→溅射镍铬电阻膜→激光调阻→电镀镍/锡保护层。

           作用:电镀层防止调阻后的敏感膜层氧化,并提升端面焊接性能。

案例3:功率电感引脚镀锡

           流程:磁芯绕线→引脚焊接→电镀纯锡→热风整平。

          目标:降低接触电阻,适应大电流场景。 连续镀生产线的导电辊镀覆耐磨碳钨涂层,降低钢带传输摩擦,避免划伤与镀层缺陷。河南出口型电镀设备

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半导体挂镀设备

1.基本原理与结构

挂镀工艺:晶圆固定在挂具上,浸入电镀液,通过精细控制电流、电压及溶液成分,在表面沉积均匀金属层。

组件:

电镀槽:耐腐蚀材质,配备温控、循环过滤系统,维持镀液均匀性

挂具与阳极:钛或铂金阳极,挂具设计适配晶圆尺寸,确保电场分布均匀

自动化传输:机械臂自动上下料,减少人工污染风险

控制系统:PLC/计算机实时调控电流密度、电镀时间、pH值等参数

2. 关键技术优势

高均匀性:通过脉冲电镀或水平电镀技术(如ECP),减少边缘效应,实现亚微米级镀层均匀性

低缺陷率:镀液杂质控制(<0.1ppm)与膜厚在线监测,降低孔洞、结节等缺陷

高产能:支持多晶圆并行处理

3. 典型应用场景

芯片制造:

铜互连:在逻辑芯片中沉积多层铜导线,替代传统铝工艺以降低电阻

TSV填充:为3D封装提供垂直导电通道,实现芯片堆叠

先进封装:

凸块电镀:在晶圆表面形成锡、铜柱凸块,用于Flip-Chip键合

RDL(重布线层):沉积铜层实现芯片I/O端口的重新布局

总结

半导体挂镀设备通过精密电化学控制与自动化技术,解决了纳米级金属沉积的均匀性与可靠性难题,是先进芯片制造与封装的装备。其性能直接关联芯片的导电性、散热及良率 脉冲电镀设备厂家直销喷淋式电镀设备利用高压喷头将电解液均匀喷洒在工件表面,加速离子交换,提高电镀效率,形状复杂的工件。

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全自动磷化线

一种用于金属表面处理的自动化生产线,通过化学磷化工艺在金属表面形成一层磷酸盐转化膜,以提升金属的耐腐蚀性、涂装附着力和润滑性能

一、基本概念

1.磷化(Phosphating)是一种化学表面处理技术,利用磷酸盐溶液与金属(如钢铁、锌、铝等)发生反应,生成一层致密的磷酸盐晶体膜(如磷酸铁、磷酸锌)

功能:防锈、增强涂层附着力、减少摩擦、延长金属寿命

2.全自动磷化线通过自动化设备实现磷化工艺全流程无人化操作,覆盖预处理、磷化、后处理等环节。

二、组成

1.预处理单元

脱脂槽:去除金属表面油污

酸洗槽:氧化皮和锈迹

水洗槽:冲洗残留化学药剂

2.磷化处理单元

磷化槽:主反应区,金属浸泡或喷淋磷化液,生成转化膜

温度与浓度控制:通过传感器和自动加药系统维持工艺参数稳定

3.后处理单元

封闭/钝化槽:增强磷化膜耐腐蚀性

烘干系统:热风或红外烘干,避免水痕残留

4.自动化系统

输送装置:传送带、机械臂或悬挂链,精细控制工件移动

PLC控制:集成温控、液位监测、流程时序管理

数据监控:实时记录工艺参数,支持远程操作与故障诊断

三、工作流程

上料 → 脱脂 → 水洗 → 酸洗 → 水洗 → 表调(调整表面活性)→ 磷化 → 水洗 → 钝化 → 烘干 → 下料。


电镀设备如何分类?

根据工艺类型和应用场景的不同,可分为以下几大类:

一、传统湿法电镀设备

1. 前处理设备

清洗设备

酸洗/碱洗槽

电解脱脂设备

2.电镀槽

镀槽主体:耐酸碱材质的槽体

加热/冷却系统:控制电镀液温度

搅拌装置:机械搅拌、空气搅拌或磁力搅拌

3.电源与控制系统

整流器:提供直流电源,控制电流密度和电压

自动化控制:PLC或触摸屏系统

4. 后处理设备

水洗槽:

烘干设备

抛光设备

5. 环保与辅助设备

废水处理系统:中和池、沉淀池、膜过滤设备

废气处理设备:酸雾吸收塔、活性炭吸附装置

二、其他电镀设备

1. 连续电镀设备

滚镀机:用于小件批量电镀(如螺丝、纽扣)

挂镀线:自动悬挂输送系统,适合大件(如汽车零件)连续电镀

2. 选择性电镀设备

笔式电镀工具

3. 化学镀设备

无电解镀槽:无需外接电源,通过化学反应沉积金属(如化学镀镍、镀铜)

三、设备选型与应用场景

电镀类型                                              典型设备                                                    应用领域                      装饰性电镀 (镀铬、镀金)     挂镀线、抛光机、真空镀膜机                      珠宝、卫浴五金、汽车装饰件        功能性电镀(镀镍、镀锌)      滚镀机、脉冲电源、废水处理系统      机械零件防腐、电子元件导电层            高精度电镀                               水平电镀线、化学镀设备               印刷电路板微孔金属化                           耐磨/耐高温镀层                            PVD/CVD设备、离子镀系统           刀具涂层、航空发动机叶片 硬质阳极氧化设备集成低温制冷系统,控制电解液温度在 0-10℃,生成厚度超 100μm 的耐磨膜层。

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三筒式电阻电容全自动滚镀设备

是为电阻、电容等微型电子元件设计的自动化电镀装置,通过三滚筒协同作业与全流程智能控制,实现高效、高精度镀层加工。要点:

1.结构与原理

三滚筒系统:

三个滚筒可同步处理不同工艺或元件(如电阻镀锡、电容镀银),或联动提升产能。滚筒采用PP/PVC等耐腐蚀材质,内部防碰撞分区设计,减少微小元件(如贴片电阻0201)的损伤风险

全自动控制:

集成PLC/工业电脑系统,自动完成上料、电镀、清洗、烘干流程。通过传感器实时监控镀液温度、pH值及电流密度,动态调节参数

电镀优化:

多级过滤与温控装置确保镀液稳定性;多点阴极导电技术适配电阻引脚、电容电极的复杂接触需求

2.优势

高效灵活:三滚筒并行作业,产能较单筒提升50%以上,可同时处理多规格元件或多镀种

镀层高一致性:滚筒匀速旋转结合智能调控,确保微小元件表面镀层均匀

低损耗率:防摩擦结构+精细转速控制,元件破损率低于0.1%

3. 应用与要点

典型场景:

电阻类:金属膜电阻端头镀锡、高精度电阻镀金

电容类:铝电解电容电极镀铜、MLCC电容镀镍抗氧化

关键注意:

按元件尺寸匹配滚筒孔径,防止漏料

定期检测镀液金属离子浓度,避免杂质影响镀层导电性

维护自动传输系统,减少卡料风险。 在线监测设备搭载 AI 算法,实时分析镀层缺陷(如麻点、漏镀),自动调整电流参数提升良品率。深圳电镀设备发展

槽体设备采用 PVC、PP 等耐酸碱材料,根据电解液特性定制,有效抵御盐酸、铬酸等药液腐蚀。河南出口型电镀设备

半导体滚镀设备

是一种于半导体制造中金属化工艺的精密设备,主要用于在半导体晶圆、芯片或微型元件表面沉积均匀的金属镀层。其在于通过可控的电化学或化学镀工艺,实现高精度、高一致性的金属覆盖,满足集成电路封装、先进封装及微机电系统等领域的特定需求

与传统滚镀不同,半导体滚镀更注重工艺洁净度、镀层精度及与半导体材料的兼容性。

二、功能

1.金属互连:在晶圆上形成铜导线。

2.凸块制备:沉积锡、铜、金等材料,用于芯片与基板的电气连接。

3.阻挡层/种子层镀覆:镀钛、钽等材料,防止金属扩散并增强附着力。

三、设备组成

1.电镀槽:

材质:耐腐蚀材料,避免污染镀液

镀液循环系统:维持镀液成分均匀,过滤颗粒杂质

2.旋转载具:

晶圆固定装置:真空吸附或机械夹持,确保晶圆平稳旋转

转速控制:通过伺服电机调节转速,优化镀层均匀性

3.阳极系统:

可溶性/不溶性阳极:铜、铂等材料,依镀层需求选择

阳极位置调节:控制电场分布,减少边缘效应

4.供液与喷淋系统:

多点喷淋头:均匀分配镀液至晶圆表面,避免气泡滞留

流量控制:精确调节镀液流速,匹配不同工艺需求

5.控制系统:

PLC/工控机:集成温度、pH值、电流密度等参数监测与反馈。

配方管理:存储不同镀层的工艺参数 河南出口型电镀设备

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