本发明针对现有技术中的不足,提供了一种晶圆搬运机械手,本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动,且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力,同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定,维护方便,多功能集一身,可满足多种工艺设备要求,适用于各种半导体设备。 ...
随着半导体制造工艺向更小尺寸、更高集成度的方向发展,对机械吸臂的精度和稳定性要求越来越高。在纳米级的制造工艺中,吸臂的微小振动、位置偏差或吸附力不均匀都可能对晶圆造成严重影响。因此,如何进一步提高吸臂的运动精度和稳定性,减少各种误差因素的影响,是当前面临的一个重要挑战。半导体制造车间的环境要求极为严格,需要在超净、恒温、恒湿的条件下进行生产。机械吸臂在这样的环境中运行,需要具备良好的防尘、防静电、耐腐蚀等性能。同时,为了满足不同工艺设备的接口要求和工作空间限制,吸臂的设计还需要具备更高的灵活性和兼容性。如何在满足这些复杂环境和工艺要求的前提下,保证吸臂的可靠性和使用寿命,也是需要解决的关键问题。尽管它们的形态各有不同,但它们都有一个共同的特点,就是能够接受指令.深圳销售晶圆运送机械吸臂厂家报价
它通常有几个自由度,用以抓取或移动物体(工具或工件)。”所以对工业机械臂可能理解为:拟人手臂、手腕和手功能 的机械电子装置;它可把任一物件或工具按空间位姿(位置和姿态)的时变要求进行移动,从而完成某一工业生产的作业要求。如夹持焊钳或焊***,对汽车或摩托车车体进行了点焊或弧焊;搬运压铸或冲压成型的零件或构件;进行激光切割;喷涂;装配机械零部件等等。编程就是让计算机为解决某个问题而使用某种程序设计语言编写程序代码,并**终得到结果的过程。为了使计算机能够理解人的意图,人类就必须要将需解决的问题的思路、方法、和手段通过计算机能够理解的形式告诉计算机,使得计算机能够根据人的指令一步一步去工作,完成某种特定的任务。这种人和计算机之间交流的过程就是编程。深圳销售晶圆运送机械吸臂厂家报价手臂上的零部件,如油缸、导向杆、控制件等都安装在手臂上。
使用汇编语言编写计算机程序,程序员仍然需要十分熟悉计算机系统的硬件结构,所以从程序设计本身上来看仍然是低效率的、烦琐的。但正是由于汇编语言与计算机硬件系统关系密切,在某些特定的场合,如对时空效率要求很高的系统**程序以及实时控制程序等,迄今为止汇编语言仍然是十分有效的程序设计工具。工业机械臂目前还没有统一的分类标准。根据不同的要求可进行不同的分类。一、按驱动方式分1.液压式 液压驱动机械臂通常由液动机(各种油缸、油马达)、伺服阀、油泵、油箱等组成驱动系统,由驱动机械臂的执行机构进行工作。通常它具有很大的抓举能力(高达几百公斤以上),其特点是结构紧凑,动 作平稳,耐冲击,耐振动,防爆性好,但液压元件要求有较高的制造精度和密封性能,否则漏油将污染环境。2.气动式 其驱动系统通常由气缸、气阀、气罐和空压机组成,其特点是气源方便,动作迅速、结构简单、造价较低、维修方便。但难以进行速度控制,气压不可太高,故抓举能力较低。
车床行业机械臂又名车床自动上下料机械手、上下料机械手,车床自动上下料机械手主要实现机床制造过程的完全自动化,并采用了集成加工技术,适用于生产线的上下料、工件翻转、工件转序等。在国内的机械加工, 很多都是使用专机或人工进行机床上下料的方式, 这在产品比较单一、产能不高的情况下是非常适合的, 但是随着社会的进步和发展, 科技的日益进步, 产品更新换代加快, 使用专机或人工进行机床上下料就暴露出了很多的不足和弱点, 一方面专机占地面积大结构复杂、维修不便, 不利于自动化流水线的生产;另一方面, 它的柔性不够, 难以适应日益加快的变化,不利于产品结构的调整;其次, 使用人工会造成劳动强度的增加, 容易产生工伤事故, 效率也比较低下, 且使用人工上下料的产品质量的稳定性不够, 不能满足大批量生产的需求。 有X移动,Y移动,Z移动,X转动,Y转动,Z转动六个自由度组成。
本发明针对现有技术中的不足,提供了一种晶圆搬运机械手,本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动,且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力,同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定,维护方便,多功能集一身,可满足多种工艺设备要求,适用于各种半导体设备。
为了解决上述技术问题,本发明通过下述技术方案得以解决:一种晶圆搬运机械手,包括升降轴、旋转轴和伸展轴,其特征为,所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座,所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节,所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节,所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节,所述的伸展电机、所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节依次传动,所述的手指固定座始终保持直线运动。
手臂的结构要紧凑小巧,才能做手臂运动轻快、灵活。深圳销售晶圆运送机械吸臂厂家报价
在工业制造、医学***、娱乐服务、***、半导体制造以及太空探索等领域都能见到它的身影。深圳销售晶圆运送机械吸臂厂家报价
注塑行业机械臂常称为注塑机机械手、塑料机机械手,它可模仿人体上肢的部分功能代替人工用于自动剪水口、模内镶件、模内贴标、模外组装、整形、分类、堆叠、产品包装、模具优化等等。且可以对其进行自动控制使其按照预定要求输送制品或操持工具进行生产操作的自动化生产设备。注塑行业机械臂是为注塑生产自动化专门配备的机械,它可以在减轻繁重的体力劳动、改善劳动条件和安全生产;提高注塑成型机的生产效率、稳定产品质量、降低废品率、降低生产成本、增强企业的竞争力等方面起到及其重要的作用。 深圳销售晶圆运送机械吸臂厂家报价
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本发明针对现有技术中的不足,提供了一种晶圆搬运机械手,本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动,且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力,同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定,维护方便,多功能集一身,可满足多种工艺设备要求,适用于各种半导体设备。 ...
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