我司凭借深厚的技术积累,自主研发出高精密控温技术,精度高达 0.1% 的控制输出。温度波动值可实现±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密环境控制。该系统洁净度可实现百级、十级、一级。关键区域 ±5mK(静态)的温度稳定性,以及均匀性小于 16mK/m 的内部温度规格,为诸如芯片研发这类对温度极度敏感的项目,打造了近乎完美的温场环境,保障实验数据不受温度干扰。同时,设备内部湿度稳定性可达±0.5%@8h,压力稳定性可达+/-3Pa,长达 144h 的连续稳定工作更是让长时间实验和制造无后顾之忧。在洁净度方面,实现百级以上洁净度控制,工作区洁净度优于 ISO class3,确保实验结果的准确性与可靠性,也保障了精密仪器的正常工作和使用寿命。精密环控设备为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。山东高精度恒温恒湿
在芯片这一高科技产品的复杂生产流程里,众多环节对温湿度的波动展现出了近乎苛刻的精密度要求。光刻过程中,利用高精度的光刻设备,将预先设计好的复杂电路图案转移至硅片表面。温度的稳定性起着决定性作用,哪怕有零点几摄氏度的微小波动,都会使光刻胶内部的化学反应速率产生偏差。光刻胶作为一种对光敏感的高分子材料,其反应速率的改变将直接作用于光刻成像效果,致使图案边缘模糊、线条粗细不均,进而让芯片上的线路出现偏差,甚至引发短路故障,让前期投入的大量人力、物力和时间付诸东流。与此同时,湿度因素同样不可小觑。光刻车间若湿度偏高,水汽极易渗透至光刻胶内部,使其含水量上升,感光度随之降低,如同给精密的 “光刻镜头” 蒙上一层雾霭,严重影响光刻精度,导致芯片良品率大打折扣,大幅增加生产成本。0.002℃恒温恒湿系统为满足多样化需求,箱体采用高质量钣金材质,可按需定制外观颜色。
在化学、材料、制药、微生物、细胞等实验室科研中,精密环控柜为各类实验提供了稳定的环境条件,是科研工作顺利开展的重要支撑。在化学实验中,一些化学反应对温度极为敏感,0.1℃的温度偏差都可能改变反应速率和产物纯度。精密环控柜的高精密温度控制,确保实验温度稳定,为化学反应提供理想条件,保证实验结果的准确性和可重复性。材料研究中,材料的性能测试需要严格控制环境温湿度。例如,对新型半导体材料的性能检测,环境湿度的变化可能影响材料的电学性能。精密环控柜的温湿度控制,为材料性能测试提供稳定环境,助力科研人员准确评估材料性能。
精密环控柜主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环,控制系统对循环气流的每个环节进行处理,从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。该系统可实现洁净度百级、十级、一级,温度波动值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密环境控制。自面世以来,已为相关领域客户提供了稳定的实验室环境以及监测服务,获得了众多好评。高精密环控设备可移动,容易维护和扩展。
在精密机械加工领域,高精度数控机床是加工航空发动机叶片等关键零部件的重要装备,其加工精度直接影响航空发动机性能。温湿度波动对加工过程影响明显。若温度不稳定,机床的主轴、导轨等关键部件会因热胀冷缩产生热变形,导致刀具切削路径偏离预设轨迹,加工出的叶片曲面精度无法达到设计标准,进而影响发动机性能。当车间湿度升高,金属切削刀具容易生锈,刀具使用寿命缩短,且加工表面粗糙度增加,难以满足精密零件对表面质量的严格要求 。精密环控柜可满足可实现洁净度百级、十级、一级等不同洁净度要求。山东高精度恒温恒湿
提供培训服务,让用户熟练掌握设备操作与维护要点。山东高精度恒温恒湿
激光干涉仪用于测量微小位移,精度可达纳米级别。温度波动哪怕只有 1℃,由于仪器主体与测量目标所处环境温度不一致,二者热胀冷缩程度不同,会造成测量基线的微妙变化,导致测量位移结果出现偏差,在高精度机械加工零件的尺寸检测中,这种偏差可能使零件被误判为不合格品,增加生产成本。高湿度环境下,水汽会干扰激光的传播路径,使激光发生散射,降低干涉条纹的对比度,影响测量人员对条纹移动的精确判断,进而无法准确获取位移数据,给精密制造、航空航天等领域的科研与生产带来极大困扰。山东高精度恒温恒湿