超高水准洁净度控制使精密环控柜在众多领域发挥着无可替代的作用。该系统可轻松实现百级以上洁净度控制,内部洁净度可优于 ISO class3 (设备工作区) 。这一特性得益于其先进的空气过滤系统,多层高效过滤器能够有效拦截空气中的尘埃颗粒、微生物等污染物。在对洁净度要求极高的半导体制造领域,微小的尘埃颗粒都可能导致芯片出现瑕疵,影响性能和良品率。精密环控柜提供的超洁净环境,能极大降低尘埃对芯片制造过程的干扰,确保芯片的高质量生产。在生物制药领域,药品的生产过程必须保证无菌无尘,防止微生物污染。其超高的洁净度控制能力,为药品的研发和生产提供了符合标准的洁净空间,保障了药品的安全性和有效性。电子显微镜观测时,设备营造的稳定环境,确保成像清晰,助力科研突破。电子芯片环境智能系统
在航空航天和新能源电子领域,众多零部件的制造与检测对环境的精密性要求极高,精密环控柜为这些关键环节提供了可靠保障。航空航天零部件多采用先进材料制造,其加工和检测过程需要严苛的环境条件。如航空发动机叶片的精密加工,0.05℃的温度波动都可能使机床的主轴、导轨等关键部件热变形,导致叶片加工精度不达标。精密环控柜的高精度温度控制,确保加工环境稳定,保障叶片加工质量。同时,其超高水准洁净度控制,防止尘埃颗粒对航空零部件的污染,提升产品可靠性。除此之外,一些需要高精密环境的领域,也离不开精密环控柜。电子芯片环境智能系统拥有超高水准洁净度控制能力,可达百级以上洁净标准。
精密环控柜主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环,控制系统对循环气流的每个环节进行处理,从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。该系统可实现洁净度百级、十级、一级,温度波动值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密环境控制。自面世以来,已为相关领域客户提供了稳定的实验室环境以及监测服务,获得了众多好评。
数据实时记录查询功能为用户带来了极大的便利,提升了设备的使用体验和管理效率。数据自动生成曲线,就如同设备运行的 “心电图”,用户通过曲线能直观地看到设备运行过程中温湿度、压力等参数随时间的变化情况,便于及时发现异常波动。数据自动保存,方便用户进行后续的数据分析和处理。科研人员可以通过分析历史数据,优化实验方案;生产人员能够依据数据找出设备运行的参数,提高生产效率和产品质量。同时,运行状态、故障状态等事件同步记录,查询一目了然。一旦设备出现故障,用户能迅速从记录中获取故障发生的时间、类型等信息,为快速排查和解决故障提供有力支持。半导体芯片制造环节,凭借其超高洁净度及极为微小的温湿度波动,有效减少芯片瑕疵,提升产品良品率。
在光学仪器的装配过程中,湿度的控制同样关键。湿度过高容易使光学镜片表面产生水汽凝结,形成水渍,不仅影响镜片的外观,还会降低镜片的光学性能。此外,高湿度环境还可能导致金属部件生锈腐蚀,影响仪器的结构稳定性和使用寿命。精密环控柜通过调节湿度,确保镜片在装配过程中始终处于干燥、洁净的环境中,有效避免了上述问题的发生。这使得生产出的光学仪器,无论是用于科研领域的显微镜、望远镜,还是用于工业检测的投影仪、测量仪等,都能具备光学性能和稳定性,满足不同行业对高精度光学仪器的需求。精密环境控制设备内部,关键区域静态下温度稳定性高,可达 +/-5mK 精度。离子束刻蚀机环境控制室
设备内部压力稳定性可达 +/-3Pa。电子芯片环境智能系统
刻蚀的目的在于去除硅片上不需要的材料,从而雕琢出精细的电路结构。在这一精细操作过程中,温度的波动都会如同“蝴蝶效应”般,干扰刻蚀速率的均匀性。当温度不稳定时,硅片不同部位在相同时间内所经历的刻蚀程度将参差不齐,有的地方刻蚀过度,有的地方刻蚀不足,直接破坏芯片的电路完整性,严重影响芯片性能。湿度方面,一旦出现不稳定状况,刻蚀环境中的水汽会与刻蚀气体发生复杂的化学反应,生成一些难以预料的杂质。这些杂质可能会附着在芯片表面,或是嵌入刚刚刻蚀形成的微观电路结构中,给芯片质量埋下深深的隐患,后续即便经过多道清洗工序,也难以彻底根除这些隐患带来的负面影响。电子芯片环境智能系统