激光干涉仪用于测量微小位移，精度可达纳米级别。温度波动哪怕只有 1℃，由于仪器主体与测量目标所处环境温度不一致，二者热胀冷缩程度不同，会造成测量基线的微妙变化，导致测量位移结果出现偏差，在高精度机械加工零件的尺寸检测中，这种偏差可能使零件被误判为不合格品，增加生产成本。高湿度环境下，水汽会干扰激光的传播路径，使激光发生散射，降低干涉条纹的对比度，影响测量人员对条纹移动的精确判断，进而无法准确获取位移数据，给精密制造、航空航天等领域的科研与生产带来极大困扰。设备内部湿度稳定性极强，8 小时内可达±0.5%。矢量网络分析仪恒温恒湿厂房
光刻设备对温湿度的要求也极高，光源发出的光线需经过一系列复杂的光学系统聚焦到硅片表面特定区域，以实现对光刻胶的曝光，将设计好的电路图案印制上去。当环境温度出现极其微小的波动，哪怕只是零点几摄氏度的变化，光刻机内部的精密光学元件就会因热胀冷缩特性而产生细微的尺寸改变。这些光学元件包括镜片、反射镜等，它们的微小位移或形状变化，会使得光路发生偏差。原本校准、聚焦于硅片特定坐标的光线，就可能因为光路的改变而偏离预定的曝光位置，出现曝光位置的漂移。矢量网络分析仪恒温恒湿厂房该系统可实现洁净度百级、十级、一级，温度波动值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃。
在半导体芯片制造这一复杂且精细的领域，从芯片光刻、蚀刻到沉积、封装等每一步，都对环境条件有着近乎严苛的要求，而精密环控柜凭借其性能成为保障生产的关键要素。芯片光刻环节，光刻机对环境稳定性要求极高。哪怕 0.002℃的温度波动，都可能使光刻机内部的精密光学元件因热胀冷缩产生细微形变，导致光路偏差，使光刻图案精度受损。精密环控柜凭借超高精度温度控制，将温度波动控制在极小范围，确保光刻机高精度运行，让芯片光刻图案正常呈现。
我司凭借深厚的技术积累，自主研发出高精密控温技术，精度高达 0.1% 的控制输出。温度波动值可实现±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密环境控制。该系统洁净度可实现百级、十级、一级。关键区域 ±5mK（静态）的温度稳定性，以及均匀性小于 16mK/m 的内部温度规格，为诸如芯片研发这类对温度极度敏感的项目，打造了近乎完美的温场环境，保障实验数据不受温度干扰。同时，设备内部湿度稳定性可达±0.5%@8h，压力稳定性可达+/-3Pa，长达 144h 的连续稳定工作更是让长时间实验和制造无后顾之忧。在洁净度方面，实现百级以上洁净度控制，工作区洁净度优于 ISO class3，确保实验结果的准确性与可靠性，也保障了精密仪器的正常工作和使用寿命。自面世以来，已为相关领域客户提供了稳定的实验室环境以及监测服务，获得了颇多好评。
在航空航天和新能源电子领域，众多零部件的制造与检测对环境的精密性要求极高，精密环控柜为这些关键环节提供了可靠保障。航空航天零部件多采用先进材料制造，其加工和检测过程需要严苛的环境条件。如航空发动机叶片的精密加工，0.05℃的温度波动都可能使机床的主轴、导轨等关键部件热变形，导致叶片加工精度不达标。精密环控柜的高精度温度控制，确保加工环境稳定，保障叶片加工质量。同时，其超高水准洁净度控制，防止尘埃颗粒对航空零部件的污染，提升产品可靠性。除此之外，一些需要高精密环境的领域，也离不开精密环控柜。提供培训服务，让用户熟练掌握设备操作与维护要点。矢量网络分析仪恒温恒湿厂房
精密环境控制设备内部温度规格设定为 22.0°C 且可灵活调节，以满足不同控温需求。矢量网络分析仪恒温恒湿厂房
对于光学仪器，温度哪怕有细微变化，都会引发诸多问题。由于大多数光学仪器采用了玻璃镜片、金属镜筒等不同材质的部件，这些材料热膨胀系数各异。当温度升高时，镜片会膨胀，镜筒等支撑结构也会发生相应变化，若膨胀程度不一致，就会使镜片在镜筒内的位置精度受到影响，光路随之发生偏差。例如在显微镜观察中，原本清晰聚焦的样本图像会突然变得模糊，科研人员无法准确获取样本细节，影响实验数据的准确性。对于望远镜而言，温度波动导致的光路变化，会让观测天体时的成像偏离理想位置，错过重要天文现象的记录。矢量网络分析仪恒温恒湿厂房
