光刻设备对温湿度的要求也极高，光源发出的光线需经过一系列复杂的光学系统聚焦到硅片表面特定区域，以实现对光刻胶的曝光，将设计好的电路图案印制上去。当环境温度出现极其微小的波动，哪怕只是零点几摄氏度的变化，光刻机内部的精密光学元件就会因热胀冷缩特性而产生细微的尺寸改变。这些光学元件包括镜片、反射镜等，它们的微小位移或形状变化，会使得光路发生偏差。原本校准、聚焦于硅片特定坐标的光线，就可能因为光路的改变而偏离预定的曝光位置，出现曝光位置的漂移。高精密环境控制设备由主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统等组成。陕西温湿度控制房
激光干涉仪用于测量微小位移，精度可达纳米级别。温度波动哪怕只有 1℃，由于仪器主体与测量目标所处环境温度不一致，二者热胀冷缩程度不同，会造成测量基线的微妙变化，导致测量位移结果出现偏差，在高精度机械加工零件的尺寸检测中，这种偏差可能使零件被误判为不合格品，增加生产成本。高湿度环境下，水汽会干扰激光的传播路径，使激光发生散射，降低干涉条纹的对比度，影响测量人员对条纹移动的精确判断，进而无法准确获取位移数据，给精密制造、航空航天等领域的科研与生产带来极大困扰。高精度温湿度模拟柜半导体芯片制造环节，凭借其超高洁净度及极为微小的温湿度波动，有效减少芯片瑕疵，提升产品良品率。
设备运行静音高效是精密环控柜的又一优势。采用的 EC 风机，具备更高效、更强大、更安静的运行特点。相比传统风机，EC 风机能够在提供充足风量的同时，有效降低能耗，提高能源利用效率。制冷单元内部采用高效隔音材质，进一步降低设备噪音，使其运行噪音小于 45dB 。噪音作为一种能量对于生产过程存在难以忽视的影响，极低的噪音恰恰能防止设备收到干扰，影响生产环境。高效的运行则保证了设备能够快速、稳定地调节温湿度和洁净度，满足各类精密实验和生产的需求。
在蓬勃发展的光纤通信领域，温湿度的波动所带来的影响不容小觑。温度一旦发生变化，光纤的材料特性便会随之改变，热胀冷缩效应会使光纤的长度、折射率等关键参数产生波动。尤其在长距离的光纤传输线路中，这些看似微乎其微的变化随着传输距离的增加不断累积，可能造成光信号的传输时延不稳定，进而引发数据传输错误、丢包等严重问题。这对于依赖高速、稳定数据传输的业务，像高清视频流畅播放、大型云服务数据的高效交互等，都将产生极大的阻碍。而当湿度出现波动时，空气中的水汽极易附着在光纤表面，大幅增加光的散射损耗，致使光信号的传输效率降低，同样严重影响通信质量 。精密环控设备为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。
在精密模具制造这一精益求精的领域，温湿度控制是保障产品质量的关键要素。模具型腔对精度有着严苛要求，这就决定了整个加工过程必须维持高度稳定。一旦温度出现波动，模具钢材料会因热胀冷缩而发生细微形变，直接影响型腔尺寸精度。这在注塑成型环节影响尤甚，极有可能导致塑料制品出现尺寸偏差、飞边等明显缺陷。而当湿度异常时，潮湿空气就像隐藏的 “破坏者”，悄无声息地侵蚀模具表面，致使模具生锈、腐蚀。这不仅大幅降低模具的使用寿命，还会增加生产成本，对模具在汽车、家电等众多行业的应用效果产生负面影响，阻碍相关产业的高质量发展。精密环控柜可满足可实现洁净度百级、十级、一级等不同洁净度要求。山西温湿度控制箱
精密环控柜为我司自主研发的精密环境控制产品。陕西温湿度控制房
刻蚀的目的在于去除硅片上不需要的材料，从而雕琢出精细的电路结构。在这一精细操作过程中，温度的波动都会如同“蝴蝶效应”般，干扰刻蚀速率的均匀性。当温度不稳定时，硅片不同部位在相同时间内所经历的刻蚀程度将参差不齐，有的地方刻蚀过度，有的地方刻蚀不足，直接破坏芯片的电路完整性，严重影响芯片性能。湿度方面，一旦出现不稳定状况，刻蚀环境中的水汽会与刻蚀气体发生复杂的化学反应，生成一些难以预料的杂质。这些杂质可能会附着在芯片表面，或是嵌入刚刚刻蚀形成的微观电路结构中，给芯片质量埋下深深的隐患，后续即便经过多道清洗工序，也难以彻底根除这些隐患带来的负面影响。陕西温湿度控制房
