在集成电路制造这一高精密的领域中，芯片生产线上的光刻工序堪称关键的环节，其对温湿度的要求近乎达到苛刻的程度。即便是极其微小的 1℃温度波动，都可能引发严重后果。光刻机内部的光学镜片会因热胀冷缩，致使光路发生细微偏移。这看似毫厘之差，却足以让光刻图案精度严重受损，使得芯片上的电路布线出现偏差，甚至短路等问题，进而大幅拉低芯片的良品率。而在湿度方面，一旦湿度突破 50% 的警戒线，光刻胶便极易受潮，其感光度发生改变，导致曝光效果大打折扣，无疑同样对芯片质量产生不可忽视的负面影响。主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成。0.005℃温湿度实验室
刻蚀的目的在于去除硅片上不需要的材料，从而雕琢出精细的电路结构。在这一精细操作过程中，温度的波动都会如同“蝴蝶效应”般，干扰刻蚀速率的均匀性。当温度不稳定时，硅片不同部位在相同时间内所经历的刻蚀程度将参差不齐，有的地方刻蚀过度，有的地方刻蚀不足，直接破坏芯片的电路完整性，严重影响芯片性能。湿度方面，一旦出现不稳定状况，刻蚀环境中的水汽会与刻蚀气体发生复杂的化学反应，生成一些难以预料的杂质。这些杂质可能会附着在芯片表面，或是嵌入刚刚刻蚀形成的微观电路结构中，给芯片质量埋下深深的隐患，后续即便经过多道清洗工序，也难以彻底根除这些隐患带来的负面影响。0.005℃温湿度实验室设备内部通过风机引导气流循环，控制系统对循环气流每个环节进行处理，使柜内温湿度达到超高控制精度。
高精密恒温恒湿技术凭借其无可比拟控制系统，为众多场景带来稳定且理想的环境。这一技术通过高精度传感器，对环境温湿度进行实时监测，误差能控制在极小范围内，温度可至 ±0.0002℃，湿度稳定在 ±1%。其原理在于智能调控系统，依据设定参数，迅速调节制冷、制热与加湿、除湿设备。当温度升高，制冷系统快速启动，降低温度；湿度上升时，高效除湿装置立即运作。在诸多需要严苛环境条件的场景中，它都发挥着关键作用。例如，在需要长期保存对环境敏感的珍贵物品或样本时，它能防止物品因温湿度变化变质、损坏。在进行精密实验时，稳定的温湿度为实验数据的准确性与可靠性提供保障，避免因环境波动干扰实验结果。总之，高精密恒温恒湿技术是维持环境稳定、保障各类工作顺利开展的重要支撑。
在航天器电子元器件的制造和装配过程中，精密环控柜的作用同样关键。电子元器件对静电、洁净度以及温湿度都十分敏感。静电可能会击穿电子元件，导致其损坏；而不合适的温湿度条件会影响电子元件的性能和可靠性。精密环控柜通过配备高效的静电消除装置以及精确的温湿度控制系统，为电子元器件的生产提供了一个稳定、洁净且无静电干扰的环境。这不仅保证了电子元器件在制造过程中的质量，也提高了其在航天器复杂空间环境下的稳定性和可靠性，为我国航空航天事业的蓬勃发展奠定了坚实基础。为满足多样化需求，箱体采用高质量钣金材质，可按需定制外观颜色。
设备运行静音高效是精密环控柜的又一优势。采用的 EC 风机，具备更高效、更强大、更安静的运行特点。相比传统风机，EC 风机能够在提供充足风量的同时，有效降低能耗，提高能源利用效率。制冷单元内部采用高效隔音材质，进一步降低设备噪音，使其运行噪音小于 45dB 。噪音作为一种能量对于生产过程存在难以忽视的影响，极低的噪音恰恰能防止设备收到干扰，影响生产环境。高效的运行则保证了设备能够快速、稳定地调节温湿度和洁净度，满足各类精密实验和生产的需求。关于防微振，除了控制风速降低振动外，在地面增加隔振基础，可有效降低外部微振动的传递。0.005℃温湿度实验室
磁屏蔽部分，可通过被动防磁和主动消磁器进行磁场控制。0.005℃温湿度实验室
在高湿度环境中，空气里水汽含量增大，这对光学仪器而言，无疑是巨大的威胁。仪器内部的镜片犹如极易受潮的精密元件，当水汽附着其上，便会在表面悄然形成一层轻薄且均匀的水膜。这层水膜宛如光线传播的阻碍，大幅降低光线的透过率，致使成像亮度明显减弱，对比度也随之降低，观测视野仿佛被蒙上一层朦胧的薄纱，原本清晰的景象变得模糊不清。倘若光学仪器长期处于这样的高湿度环境，问题将愈发严重。水汽会逐渐渗透至镜片与镜筒的结合处，对金属部件发起 “攻击”，使之遭受腐蚀。随着时间的推移，金属部件被腐蚀得千疮百孔，无法稳固地固定镜片，导致镜片出现松动现象，光路精度被进一步破坏。对于那些运用镀膜技术来提升光学性能的镜片，高湿度同样是一大劲敌，它会使镀膜层受损，镜片的抗反射能力大打折扣，进而严重影响成像效果，让光学仪器难以发挥应有的作用。0.005℃温湿度实验室
