在半导体制造过程中，罗茨真空泵被广阔应用于真空抽水和真空干燥等环节。它能够提供稳定的真空环境，确保半... [详情］

超高真空机组的工作压力区间在10-10Pa，要求主泵的极限真空度至少在10-8Pa以上，并且在工作压... [详情］