MEMS传感器是MEMS器件的一个重要分支,作为微机电系统的重要组成部分,MEMS传感器是实现微机电系统感知和信号处理的功能器件。这种传感器采用MEMS制造技术,即微电子制造技术和微机械加工制造技术,其材料、工作原理、制作工艺等方面与传统传感器有相当大的区别。 [4]MEMS传感器是基于其敏感材料的特殊效应工作的,它的制作工艺结合当今先进的IC微电子加工工艺和MEMS微机械加工制造工艺来实现,通过对材料的微机械加工,制造出可感受压力、温度、磁场、加速度等各种参数的稳定的结构器件(如梁、膜、叉指等单一或复合的结构),从而实现对各种相关参数的感知、测试和转换热电阻测温是基于金属导体的电阻值随温度的增加而增加这一特性来进行温度测量的。杨浦区智能传感器联系方式
通常据其基本感知功能可分为热敏元件、光敏元件、气敏元件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、放射线敏感元件、色敏元件和味敏元件等**类(还有人曾将敏感元件分46类)。人们为了从外界获取信息,必须借助于感觉***。而单靠人们自身的感觉***,在研究自然现象和规律以及生产活动中它们的功能就远远不够了。为适应这种情况,就需要传感器。因此可以说,传感器是人类五官的延长,又称之为电五官。新技术**的到来,世界开始进入信息时代。在利用信息的过程中,首先要解决的就是要获取准确可靠的信息,而传感器是获取自然和生产领域中信息的主要途径与手段。长宁区挑选传感器销售在温度检测精度要求比较高的场合,这种传感器比较适用。
各种生物传感器有以下共同的结构:包括一种或数种相关生物活性材料(生物膜)及能把生物活性表达的信号转换为电信号的物理或化学换能器(传感器),二者组合在一起,用现代微电子和自动化仪表技术进行生物信号的再加工,构成各种可以使用的生物传感器分析装置、仪器和系统。生物传感器的原理待测物质经扩散作用进入生物活性材料,经分子识别,发生生物学反应,产生的信息继而被相应的物理或化学换能器转变成可定量和可处理的电信号,再经二次仪表放大并输出,便可知道待测物浓度。
酸、碱、盐酸、碱、盐浓度传感器通过测量溶液电导值来确定浓度。它可以在线连续检测工业过程中酸、碱、盐在水溶液中的浓度含量。这种传感器主要应用于锅炉给水处理、化工溶液的配制以及环保等工业生产过程。酸、碱、盐浓度传感器的工作原理是:在一定的范围内,酸碱溶液的浓度与其电导率的大小成比例。因而,只要测出溶液电导率的大小变可得知酸碱浓度的高低。当被测溶液流入**电导池时,如果忽略电极极化和分布电容,则可以等效为一个纯电阻。在有恒压交变电流流过时,其输出电流与电导率成线性关系,而电导率又与溶液中酸、碱浓度成比例关系。因此只要测出溶液电流,便可算出酸、碱、盐的浓度。热电阻传感器主要是利用电阻值随温度变化而变化这一特性来测量温度及与温度有关的参数。
当两个互相绝缘的电极组成电导池时,若在其中间放置待测溶液,并通以恒压交变电流,就形成了电流回路。如果将电压大小和电极尺寸固定,则回路电流与电导率就存在一定的函数关系。这样,测了待测溶液中流过的电流,就能测出待测溶液的电导率。电导传感器的结构和电路与酸、碱、盐浓度传感器相同。变频功率变频功率传感器通过对输入的电压、电流信号进行交流采样,再将采样值通过电缆、光纤等传输系统与数字量输入二次仪表相连,数字量输入二次仪表对电压、电流的采样值进行运算,可以获取电压有效值、电流有效值、基波电压、基波电流、谐波电压、谐波电流、有功功率、基波功率、谐波功率等参数。利用激光的高方向性、高单色性和高亮度等特点可实现无接触远距离测量。上海常见传感器检测
部分散射光返回到传感器接收器,被光学系统接收后成像到雪崩光电二极管上。杨浦区智能传感器联系方式
图1 传感器的组成敏感元件直接感受被测量,并输出与被测量有确定关系的物理量信号;转换元件将敏感元件输出的物理量信号转换为电信号;变换电路负责对转换元件输出的电信号进行放大调制;转换元件和变换电路一般还需要辅助电源供电。常将传感器的功能与人类5大感觉***相比拟:光敏传感器——视觉声敏传感器——听觉气敏传感器——嗅觉化学传感器——味觉传感器(图1)压敏、温敏、流体传感器——触觉敏感元件的分类:物理类,基于力、热、光、电、磁和声等物理效应。化学类,基于化学反应的原理。生物类,基于酶、抗体、和***等分子识别功能。杨浦区智能传感器联系方式
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