“精确度”是探测仪器基本的指针，涵盖定位、温度及生产率等三个层面。首先，必须能稳定、精确地探测到小型垫片，载台系统亦须精确、能直接驱动晶圆托盘，并在晶圆移动的过程中准确地将晶圆和晶圆对位；其次，必须具备动态监控机制，确保所挟带的空气以监控温度、掌握可靠度和稳定性；后，必须对高产出的进阶移动做动态控制才能拥有佳的终结果。整体而言，针脚和垫片之间的相应精确度应在±1.5μm之间。随着新工艺的微缩，为了强化更小晶粒定位的精确性，需要动态的Z轴辅助校正工作，以避免无谓的产出损失。在实际的芯测试中探针卡的状态是非常重要的。广东智能探针台厂家
针尖有铝粉:测大电流时，针尖上要引起多AL粉，使电流测不稳，所以需要经常用洒精清洗探针并用氮气吹干，同时测试时边测边吹氮气，以减少针尖上的AL粉。针尖有墨迹:测试时打点器没有调整好，尼龙丝碰到针尖上，针尖上沾上墨迹,然后针尖与压点接触时，压点窗口上墨迹沾污，使片子与AL层接触不良，参数通不过，还有对后续封装压焊有影响，使芯片与封装后成品管脚焊接质量差，所以平时装打点器时，不要把打点器装得太前或太后和太高或太低，而应该使尼龙丝与硅片留有一定距离，然后靠表面涨力使墨水打到管芯中心，如已经沾上墨迹，要立即用酒精擦干净，并用氮气吹干。广东智能探针台厂家上海勤确科技有限公司追求客户的数量远不是我们的目的。
精细探测技术带来新优势：先进应力控制技术亦是必须的。为减少或消除造成良率下降之垫片损伤，在铜质垫片加上铝帽将能减少对易碎低K/高K介电的负面效应。以先进工艺驱动在有效区域上垫片的测试，以低冲击的探针卡，避免接触所产生阻抗问题。另一个可能损害到晶圆的来源是探针力道过猛或不平均，因此能动态控制探针强度也是很重要的；若能掌握可移转的参数及精细的移动控制，即可提升晶圆翻面时的探测精确度，使精细的Z轴定位接触控制得到协调，以提高精确度，并缩短索引的时间。
如何判断探针卡的好坏：1.可以用扎五点来判断，即上中下左右，五点是否扎在压点内，且针迹清楚,又没出氧化层,针迹圆而不长且不开叉.2.做接触检查,每根针与压点接触电阻是否小于0.5欧姆.3.通过看实际测试参数来判断,探针与被测IC没有接触好，测试值接近于0。总之，操作工只要了解了探针卡故障的主要原因：1.探针氧化.2.针尖有异物(铝粉，墨迹，尘埃).3.针尖高度差.4.针尖异常(开裂，折断，弯曲，破损)。.5.针尖磨平.6.探针卡没焊好.7.背面有突起物，焊锡线头.8.操作不当。平时操作时应注意:1.保护好探针卡,卡应放到氮气柜中.2.做好探针卡的管理工作.3.规范操作,针尖不要碰伤任何东西。同时加强操作人员的技能培训。有利于提工作效率和提高质量。晶圆级半自动面内磁场探针台详细参数：垂直或面内磁场探针台，通用性设计；容纳12寸晶圆。
晶圆探针器是用于测试集成电路的机器（自动测试设备）。对于电气测试，一组称为探针卡的微观触点或探针被固定在适当的位置，同时真空安装在晶圆卡盘上的晶圆被移动到电接触状态。当一个管芯（或管芯阵列）经过电气测试后，探针台将晶片移动到下一个管芯（或管芯），下一个测试就可以开始了。晶圆探针台通常负责从载具（或盒子）装载和卸载晶圆，并配备自动模式识别光学器件，能够以足够的精度对准晶圆，以确保晶圆上的接触垫和探针针尖之间的准确对准。一般，信号路径电阻被用来替代接触电阻，而且它在众多情况下更加相关。广东智能探针台厂家
有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是工作台的故障。广东智能探针台厂家
随着电子技术的不断发展，对于精密微小(纳米级)的微电子器件，表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生，利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来，便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。探针台执行机构由探针座和探针杆两部分组成.在探针座有X-Y-Z三向调节旋钮，控制固定在针座上的探针杆做三向移动，移动范围12mm，移动精度可以达到0.7微米。这样可以把探针很好的点到待测点上(说明探针是耗材，一般客户自己准备)，探针探测到的信号可以通过探针杆上的电缆传输到与其连接的测试机上，从而得到电性能的参数。对于重复测试同种器件，多个点位的推荐使用探针台安装探卡进行测试。广东智能探针台厂家
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