L-Series包括严格的机械平台,集成了显微镜技术、微定位和计量学等方法。可应用于芯片电场的微型电位计(Microport)也作为其开发的副产品。L-Series致力于真正的解决微流控设备开发者所遇到的难题:构造芯片系统和提供实用程序,Sartor说:“若是将衬质和芯片粘合在一起,需要经过长期的多次测试,”设计者若想改变流体通道,必须从头开始。L-Series检测组使内联测试和假设分析实验变得更简单,测试一个新设计只要交换芯片即可。当前,L-Series设备只能在手动模式下运行,一次一个芯片,但是Cascade 正在考虑开发可平行操作多个芯片的设备。利用微流控芯片对糖尿病做检测。什么是微流控芯片发展趋势
深硅刻蚀工艺在高深宽比结构中的技术突破:深硅刻蚀(DRIE)是制备高深宽比微流道的主要工艺,公司通过优化Bosch工艺参数,实现了深度100-500μm、宽深比1:10至1:20的微结构加工。刻蚀过程中采用电感耦合等离子体(ICP)源,结合氟基气体(如SF6)与碳基气体(如C4F8)的交替刻蚀与钝化,确保侧壁垂直度>89°,表面粗糙度<50nm。该技术应用于地质勘探模拟芯片时,可精确复制地下岩层的微孔结构,用于油气渗流特性研究;在生化试剂反应腔中,高深宽比流道增加了反应物接触面积,使酶促反应速率提升40%。公司还开发了双面刻蚀与通孔对齐技术,实现三维立体流道网络加工,为微反应器、微换热器等复杂器件提供了关键制造能力,推动MEMS技术在能源、环境等领域的跨学科应用。什么是微流控芯片发展趋势单分子级 PDMS 芯片产线通过超净加工,提升检测灵敏度至单分子级别。
肠道微流控芯片(GoC):GoC系统模仿人类肠道的生理学。它解释了肠道的主要功能,即消化、营养物质的吸收、肠神经的调节、体内废物的排泄、以及伴随微生物共生体的人体肠道的病理生理学。GoC模型主要用于精确复制具有所需微流控参数的肠道体内环境。Kim等人研究了当人类GoC被肠道微生物群落占据时肠道的蠕动运动。通过对齐两个微通道(上部和下部)来设计微型器件,该微通道雕刻在PDMS层上,该PDMS是通过基于MEMS的微纳米制造工艺制作的模板翻模制备而来,且PDMS层由涂有ECM的多孔柔性膜隔开。如图所示,该装置被模仿人类肠道生理学的人肠上皮细胞包裹。这样的系统可以模拟人类肠道在某些特定因素下的蠕动运动,即流体流速。
微流控分析芯片当初只是作为纳米技术的一个补充,在经历了大肆宣传及冷落的不同时期后,却实现了商业化生产。微流控分析芯片在美国被称为“芯片实验室”(lab-on-a-chip),在欧洲被称为“微整合分析芯片”(micrototal analytical systems),随着材料科学、微纳米加工技术(MEMS)和微电子学所取得的突破性进展,微流控芯片也得到了迅速发展,但还是远不及“摩尔定律”所预测的半导体发展速度。现在阻碍微流控技术发展的瓶颈仍然是早期限制其发展的制造加工和应用方面的问题。在微流控芯片上检测所需要被检测的样本量体积往往只需要微升级别。
高标准PDMS微流控芯片产线的批量生产能力:依托自研单分子系列PDMS芯片产线,公司建立了从材料制备到成品质检的全流程标准化体系。PDMS芯片生产包括硅模制备、预聚体浇筑、固化切割、表面改性及键合封装五大工序,其中关键环节如硅模精度控制(±1μm)、表面亲疏水修饰(接触角误差<5°)均通过自动化设备实现,确保批量产品的一致性。产线配备光学显微镜、接触角测量仪及压力泄漏测试仪,对芯片流道尺寸、密封性能及表面特性进行100%全检,良品率稳定在98%以上。典型产品包括单分子免疫检测芯片、数字ELISA芯片及细胞共培养芯片,单批次产能可达10,000片以上。公司还开发了PDMS与硬质卡壳的复合封装技术,解决了软质芯片的机械强度不足问题,适用于自动化检测设备的集成应用,为生物制药与体外诊断行业提供了可靠的批量供应保障。微米级微流控芯片通过电镜观测确保结构精度,适用于液滴分散与单分子分析。江苏玻璃微流控芯片
干湿结合刻蚀技术制备纳米级微针,可用于组织液提取与电化学检测器件。什么是微流控芯片发展趋势
MEMS多重转印工艺实现硬质塑料芯片快速成型:MEMS多重转印工艺是公司**技术之一,实现了从设计图纸到硬质塑料芯片的快速制造,**短周期*需10个工作日。该工艺流程包括掩膜设计、硅基模具制备、热压转印及后处理三大环节:首先通过光刻技术在硅片上制备高精度模具,然后利用热压成型将微结构转印至PMMA、COC等硬质塑料基板,**终通过切割、打孔完成芯片封装。相比传统注塑工艺,该技术***降低了小批量生产的模具成本(降幅达70%),尤其适合研发阶段的快速迭代。例如,某客户开发的便携式血糖检测芯片,通过该工艺在2周内完成3版样品测试,将研发周期缩短40%。公司可加工的塑料材质覆盖多种极性与非极性材料,兼容荧光检测、电化学传感等功能模块集成,为POCT设备厂商提供了低成本、高效率的原型开发与小批量生产解决方案。什么是微流控芯片发展趋势