微流控芯片的硅质材料加工工艺：是在硅材料的加工中，光刻(lithography)和湿法刻蚀(wetetching)技术是2种常规工艺。由于硅材料具有良好的光洁度和很成熟的加工工艺，主要用于加工微泵、微阀等液流驱动和控制器件，或者在热压法和模塑法中作为高分子聚合物材料加工的阳模。光刻是用光胶、掩模和紫外光进行微制造。光刻和湿法蚀刻技术通常由薄膜沉淀、光刻、刻蚀3个工序组成。在薄膜表面用甩胶机均匀地附上一层光胶。然后将掩模上的图像转移到光胶层上，此步骤首先在基片上覆盖一层薄膜，为光刻。再将光刻上的图像，转移到薄膜，并在基片上加工一定深度的微结构，此步骤完成了蚀刻。梯度涂层设计实现微流控芯片内细胞定向迁移，用于一些研究。海南微流控芯片产业
特定设计芯片的批量生产也降低了其成本。Caliper的旗舰产品是LabChip 3000新药研发系统，其微流体成分分析可以达到10万个样品，还有用于高通量基因和蛋白分析的LabChip 90 电泳系统。据Caliper宣称，75 %的主要制药和生物技术公司都在使用LabChip 3000系统。美国加州的安捷伦科技公司曾与Caliper科技公司签署正式合作协议，该项合作于1998年开始，安捷伦作为一个仪器生产商的实力，结合其在喷墨墨盒的经验，在微流控技术尚未成熟时，就对微流体市场做出了独特的预见，除了采用MEMS微纳米加工技术外，采用喷墨打印是目前为止微流控技术应用很多的产品路径之一。江苏微流控芯片组成微流控芯片通过设计可以呈现多流道的形式。
安捷伦在微流控技术平台上的三个主要产品是Agilent 2100、 Bioanalyzer/5100、 Automated Lab-on-a-Chip （后有斯坦福大学Stephen Quake研究小组开发的微流体控制因素大规模地综合应用和瑞士Spinx Technologies开发的激光控制阀门。澳大利亚墨尔本蒙纳士大学的研究者正在开发可在微通道内吸取、混合和浓缩分析样品的等离子体偏振方法。等离子体不接触工作流体便可产生“推力”，具有维持流体稳定流动，对电解质溶液不敏感也不受其污染的优点。瑞士苏黎士联邦工业大学的David Juncker认为，流体的驱动没有必要采用这类高新技术，利用简单的毛细管效应就可以驱动流体通过微通道。
高标准PDMS微流控芯片产线的批量生产能力：依托自研单分子系列PDMS芯片产线，公司建立了从材料制备到成品质检的全流程标准化体系。PDMS芯片生产包括硅模制备、预聚体浇筑、固化切割、表面改性及键合封装五大工序，其中关键环节如硅模精度控制（±1μm）、表面亲疏水修饰（接触角误差<5°）均通过自动化设备实现，确保批量产品的一致性。产线配备光学显微镜、接触角测量仪及压力泄漏测试仪，对芯片流道尺寸、密封性能及表面特性进行100%全检，良品率稳定在98%以上。典型产品包括单分子免疫检测芯片、数字ELISA芯片及细胞共培养芯片，单批次产能可达10,000片以上。公司还开发了PDMS与硬质卡壳的复合封装技术，解决了软质芯片的机械强度不足问题，适用于自动化检测设备的集成应用，为生物制药与体外诊断行业提供了可靠的批量供应保障。微流控芯片的基本实现方式有：MEMS微纳米加工技术、光刻、飞秒激光直写、LIGA、注塑、刻蚀等等；
apparatus（体外组织培养）微流控芯片（OoC）具有几个优点，即微流控装置内的隔室增强了对微环境的控制，对物理条件的精确控制以及对不同组织之间通信的有效操纵。它还可以提供营养和氧气，为apparatus提供生长元素，同时消除分解代谢产物。OoC的应用可能在纯粹的表面效应，即药物产品被吸附到内衬上，其次，层流可能表现出相对较小的混合程度。OoC有不同的类型：例如脑组织微流控芯片、心脏组织微流控芯片、肝组织微流控芯片、肾组织微流控芯片和肺组织微流控芯片。微米级微流控芯片通过电镜观测确保结构精度，适用于液滴分散与单分子分析。天津微流控芯片一体化
表面亲疏水涂层调控接触角，优化微流道内流体传输与反应效率。海南微流控芯片产业
微流控芯片在石英和玻璃的加工中，常常利用不同化学方法对其表面改性，然后可以使用光刻和蚀刻技术将微通道等微结构加工在上面。玻璃材料的加工步骤与硅材料加工稍有差异，主要步骤有:1)在玻璃基片表面镀一层 Cr，再用甩胶机均匀的覆盖一层光刻胶；2)利用光刻掩模遮挡，用紫外光照射，光刻胶发生化学反应；3)用显影法去掉已曝光的光胶，用化学腐蚀的方法在铬层上腐蚀出与掩模上平面二维图形一致的图案；4)用适当的刻蚀剂在基片上刻蚀通道；5)刻蚀结束后，除去光刻胶，打孔后和玻璃盖片键合。标准光刻和湿法刻蚀需要昂贵的仪器和超净的工作环境，无法实现快速批量生产。海南微流控芯片产业
