江苏光学传感器MEMS微纳加工技术指导

宁波启朴芯微自主可控国内首条8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，实验区内设置有激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机、电子束蒸镀仪、键合机、湿法腐蚀系统、磁控溅射仪、原子层沉积设备、化学机械抛光机、自动涂胶显影系统等整套技术设备，加工区域1000余平方米，具备**研发室、光学实验室，配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，可以***支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圆级MEMS技术研发和加工制造，自建立以来已服务200余家高校、科研院所和科创企业，并先后成功获批浙江省MEMS传感芯片定制加工服务型示范平台、宁波市重点实验室、浙江省重点实验室等。在具备技术能力的基础上，启朴芯微持续助力广大客户的技术迭代与项目推进！江苏光学传感器MEMS微纳加工技术指导

宁波启朴芯微系统技术有限公司（以下简称“启朴芯微”）是一家专注于微机电系统（MEMS）技术研发与产业化的****，成立于西北工业大学宁波研究院的孵化体系中，并在短时间内凭借技术创新与产业化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件设计、工艺开发及代工服务，拥有自主可控的8英寸MEMS工艺产线，兼容6/4英寸晶圆级加工，覆盖光刻、深硅刻蚀、薄膜沉积、晶圆键合、激光切割等**工艺能力，为行业提供从结构设计到封装测试的全链条服务36。其技术团队在MEMS领域经验丰富，尤其在光学类与SOI（绝缘体上硅）特色工艺方面具备***优势，例如通过原子层沉积（ALD）技术实现高精度薄膜制备，提升器件性能与可靠性。天津晶圆级MEMS微纳加工长期项目合作启朴芯微MEMS技术和服务，为广大客户带来了出色的传感技术产品，广受业内同仁好评。

启朴芯微团队研发的微小型光谱成像系统，犹如一颗璀璨的科技之星，照亮了科技发展的道路。它的工作原理虽然复杂，但却蕴含着科技的智慧。从光谱采集到数据处理，每一个环节都经过了精心的设计和优化。在食品、药品、精细零部件等加工环境中的应用，充分体现了它的实用性和价值。同时，它的技术优势也为未来的科技发展提供了新的思路和方向。随着科技的不断进步，相信这一系统将在更多的领域得到应用，为人类的生活带来更多的便利和福祉。

走进宁波启朴芯微的实验区，仿佛进入了一个科技的世界。先进的设备琳琅满目，科研人员们忙碌地工作着。8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线在这里高效运转，每一道工序都经过精心设计和严格把控。**研发室里，创新的思维不断碰撞，新的技术和方法不断涌现。光学实验室中，科研人员们利用先进的光学设备，对产品进行深入的研究和分析。百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，为产品的质量提供了坚实的保障。这条产线的建立，不仅提升了我国在芯片领域的自主创新能力，还为我国科技产业的发展注入了强大的动力。以MEMS光功能芯片为中心，加以启朴芯微前沿技术的支撑，让传感更智能。

在MEMS智能制造与智能传感装备设计研究领域，启朴芯微拥有一支由专业博士组成的精英团队，曾多次获得**、省部级技术发明奖项，并参与国家标准制定，在微纳传感器件的设计、制造、应用领域经验丰富。自成立以来，本着“斫雕为朴，芯程再启”的宗旨，启朴芯微持续参与MEMS智能制造与智能传感装备的设计研究，已形成多项发明专利、实用新型专利，团队凭借深厚的学术背景和丰富的实践经验，不断攻克技术难关，推动公司产品和服务的持续升级，赢得了广大客户的信赖和支持。宁波启朴芯微系统技术有限公司拥有MEMS领域博士团队，多年从事MEMS智能制造与智能传感装备设计研究工作。长沙光学传感芯片MEMS微纳加工与成果转化

启朴芯微始终致力于光学、流动测量等领域的MEMS器件及系统开发。江苏光学传感器MEMS微纳加工技术指导

精耕细耘，以业为本。面对目前国内光学传感领域实际需求，启朴芯微同样将展出由项目团队自主研发的小型高光谱相机产品。该系统以光功能芯片为中心，通过对连续的物体光谱采集,以获取反射、辐射光谱信息。多年以来技术团队持续攻关，将结构轻便、精细度高、材料强度高、可定制性等技术优势赋予光谱成像系统的研制工艺，形成了具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统，同时通过自主掌握MEMS晶圆级加工制造能力，实现集成芯片和模块化光谱成像相机的自主研制，可以为典型目标的探测识别提供了有力保障。江苏光学传感器MEMS微纳加工技术指导