广东高精度MEMS微纳加工项目合作

微机电系统（MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystems）是一种将微型机械结构、传感器、执行器与电子电路集成在单一芯片上的技术。其**是通过微纳加工工艺（如光刻、薄膜沉积、离子刻蚀等），在硅基或其他材料上制造出尺寸在微米至毫米级别的三维可动结构。这些结构能够感知或操控物理量（如压力、加速度、温度等），并通过嵌入式电路实现信号处理与通信。MEMS的制造技术借鉴了半导体工艺，但增加了机械部件的设计，例如通过深反应离子刻蚀（DRIE）形成悬臂梁、空腔或微型齿轮。这种技术的高度集成性使得MEMS器件在体积、功耗和成本上***优于传统机电系统，同时具备高灵敏度和快速响应能力，成为现代智能设备的**组件之一。基于加工能力、技术研发路径优势，启朴芯微持续凝聚MEMS领域专业人才，以实现工艺能力的突破。广东高精度MEMS微纳加工项目合作

启朴芯微团队自主研发的消高反光特种视觉检测系统，是工业检测领域的一次重大创新。它的出现，解决了传统检测方法中的诸多难题，提高了检测效率和产品质量。通过像素级定标技术和先进的半导体加工工艺，实现了图像的精细分析和产品的高精度定位组装。这一系统的成功应用，为我国工业检测领域的发展带来了新的机遇和挑战。在未来，相信它将不断发展和完善，为我国科技发展做出更大的贡献。宁波启朴芯微的8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线，是我国芯片产业的重要标志。它的建立，标志着我国在芯片制造领域取得了重大进展。先进的设备和完善的设施，为芯片的研发和制造提供了有力的支持。服务众多高校、科研院所和科创企业的成绩，彰显了其在行业内的**地位。获批的各项荣誉，更是对其实力的高度认可。这条产线的发展，将为我国芯片产业的未来发展奠定坚实的基础。四川智能传感芯片MEMS微纳加工公司积极推动技术研发与市场需求结合，参与行业交流积极！

在产业化方面，启朴芯微已实现多项突破。2023年，公司作为西北工业大学宁波研究院孵化的智能传感芯片团队企业，成功入库宁波市科技型中小企业，并斩获千万元级订单，彰显其技术成果转化的高效性4。2024年，公司被正式认定为****，进一步巩固了其在MEMS领域的行业地位1。此外，启朴芯微积极参与行业生态建设，例如在2024年深圳国际传感器展会上展示其光谱滤波芯片、成像系统解决方案及一站式代工服务，与国际巨头同台竞技，凸显技术实力与市场竞争力。

宁波启朴芯微系统技术有限公司（以下简称“启朴芯微”）是一家专注于微机电系统（MEMS）技术研发与产业化的****，成立于西北工业大学宁波研究院的孵化体系中，并在短时间内凭借技术创新与产业化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件设计、工艺开发及代工服务，拥有自主可控的8英寸MEMS工艺产线，兼容6/4英寸晶圆级加工，覆盖光刻、深硅刻蚀、薄膜沉积、晶圆键合、激光切割等**工艺能力，为行业提供从结构设计到封装测试的全链条服务36。其技术团队在MEMS领域经验丰富，尤其在光学类与SOI（绝缘体上硅）特色工艺方面具备***优势，例如通过原子层沉积（ALD）技术实现高精度薄膜制备，提升器件性能与可靠性。宁波启朴芯微系统技术有限公司拥有MEMS领域博士团队，多年从事MEMS智能制造与智能传感装备设计研究工作。

秉承“斫雕为朴，芯程再启”的企业宗旨，启朴芯微致力于将先进的光刻、深硅刻蚀、键合等技术服务方案应用于实际生产中，不断提升产品的性能和品质，以满足客户日益增长的多样化需求。启朴芯微自主研发的小型高光谱相机产品，以光功能芯片为，通过对连续的物体光谱进行高精度采集和分析，能够获取丰富的反射和辐射光谱信息，为科研、医疗、环境监测等领域提供了强有力的技术支持。启朴芯微团队充分发挥自身技术优势，利用MEMS芯片结构轻便、精细度高、材料强度高等特点，研制具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统，其通过像素级定标技术实现图像精细分析，比较大限度避免强光干扰问题，极大提升了工业制造品检测效率，为光学传感技术的发展注入了新的活力，同时，启朴芯微力求提高产品定制化设计服务质量，持续开展特种光学产品应用与推广，围绕MEMS产品可行性方案积极参与行业交流。启朴芯微，通过自主掌握MEMS晶圆级加工制造能力，实现集成芯片和模块化光谱成像相机的自主研制！广东高精度MEMS微纳加工项目合作

精耕细耘，以业为本，启朴芯微为广大客户提供更加出色的传感技术产品和服务，助力实现MEMS产品价值。广东高精度MEMS微纳加工项目合作

启朴芯微团队研发的微小型光谱成像系统，以其独特的技术优势在科技领域崭露头角。它的工作原理虽然复杂，但却蕴含着巨大的价值。在食品、药品、精细零部件等加工环境中的应用，为产品的质量控制提供了有效的手段。同时，它的技术发展也为未来的科技研究提供了新的思路。随着科技的不断进步，相信这一系统将在更多的领域得到应用，为人类社会的发展做出更大的贡献。而小型多光谱相机和消高反光特种视觉检测系统，也同样是团队科技创新的杰出成果，它们在不同的领域发挥着重要作用，共同推动着我国科技事业的发展。广东高精度MEMS微纳加工项目合作