浙江传感检测系统MEMS微纳加工能力

走进宁波启朴芯微的实验区，仿佛进入了一个科技的世界。先进的设备琳琅满目，科研人员们忙碌地工作着。8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线在这里高效运转，每一道工序都经过精心设计和严格把控。**研发室里，创新的思维不断碰撞，新的技术和方法不断涌现。光学实验室中，科研人员们利用先进的光学设备，对产品进行深入的研究和分析。百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，为产品的质量提供了坚实的保障。这条产线的建立，不仅提升了我国在芯片领域的自主创新能力，还为我国科技产业的发展注入了强大的动力。宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案。浙江传感检测系统MEMS微纳加工能力

响应国家发展高性能、规模化制造技术的号召，启朴芯微团队以敏锐的洞察力和强烈的使命感，瞄准国家在关键基础零部件、**装备、集成电路等领域的重要需求。他们面向更***的工业检测应用前景，自主研发了消高反光特种视觉检测系统。这一系统犹如一位“精细的守护者”，通过像素级定标技术实现图像精细分析，比较大限度避免强光干扰问题。在实际应用中，过杀率和误判率分别低于2.0%、0.3%，极大提升了工业制造品检测效率。在研发过程中，团队成功突破光功能**芯片定制化设计门槛，融合了当今世界先进的微米级、纳米级半导体加工工艺，有效解决了产品模块化、高精度定位组装难题。这一系列的技术突破，展现了启朴芯微团队的技术前沿性和创新能力，为国家科技发展做出了重要贡献。福建定制化MEMS微纳加工专业技术团队通过定制开发、项目互补与公司直营相结合的方式，启朴芯微的服务模式灵活多样！

MEMS技术已渗透到消费电子、汽车、医疗、工业及航空航天等多个领域。在消费电子中，智能手机依赖MEMS加速度计、陀螺仪实现屏幕旋转和运动追踪，麦克风与气压计也基于MEMS技术；智能手表通过光学MEMS传感器监测心率。在汽车行业，MEMS压力传感器用于发动机控制，安全气囊的触发依赖加速度计，胎压监测系统（TPMS）也由其实现。医疗领域，MEMS被用于可穿戴健康监测设备、微型药物输送泵及高精度手术工具，例如内窥镜中的**头。此外，工业自动化中的振动监测、环境传感（如温湿度、气体检测）以及航空航天中的惯性导航系统均离不开MEMS。其小型化和低功耗特性尤其适合物联网（IoT）设备，推动了智慧城市和远程监测的发展。

启朴芯微拥有先进的8英寸MEMS研发与微纳加工服务中试线，实验区内设置有激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机、电子束蒸镀仪、键合机、湿法腐蚀系统、磁控溅射仪、原子层沉积设备、化学机械抛光机、自动涂胶显影系统等整套技术设备，配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，可以全支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圆级加工，生产过程中严格遵守企业内部生产定标准与客户方需求，遵循生产员与质检员登记对接制度，针对不同业务进度进行检验工作。以MEMS光功能芯片为中心，加以启朴芯微前沿技术的支撑，让传感更智能。

启朴芯微团队自主研发的消高反光特种视觉检测系统，是工业检测领域的一次重大突破。在传统的工业检测中，强光干扰是一个难以解决的问题，容易导致检测结果不准确。而这一系统通过像素级定标技术，实现了图像的精细分析，有效避免了强光干扰。过杀率和误判率的***降低，使得工业制造品的检测效率得到了极大提升。同时，团队在研发过程中突破的光功能**芯片定制化设计门槛，融合的先进半导体加工工艺，解决了产品模块化、高精度定位组装难题，为行业的发展提供了宝贵的技术经验。这一系统的成功应用，标志着我国在工业检测领域达到了国际先进水平。MEMS结构设计、工艺开发、流片代工、测试应用等中小规模服务，启朴芯微技术稳定，服务质量优异。浙江传感检测系统MEMS微纳加工能力

启朴芯微光谱相机，通过对连续的物体光谱采集，以获取反射、辐射光谱信息。浙江传感检测系统MEMS微纳加工能力

宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，是一家专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案的科技研发型企业，自主可控国内首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，具备光刻、深硅刻蚀、键合、PVD、ALD、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、CMP、激光隐形切割、SEM、FIB等加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。作为一个兼具产品开发能力和技术加工能力的科技型企业，本着“斫雕为朴，芯程再启”的企业宗旨，启朴芯微将展示在MEMS产品设计、晶圆加工、工艺检验等不同环节的技术服务能力，包括但不限于既往的光刻、深硅刻蚀、键合、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、激光隐形切割、光谱椭偏测试、傅里叶红外光谱测试、探针台阶测试等服务方案和应用成果。浙江传感检测系统MEMS微纳加工能力