探针台基本参数
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探针台企业商机

相对于平面电机工作台,丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂,工作台由上层(x向)及下层(y向)两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动,导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件,所以具有传动效率高、摩擦力矩小,使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3℃,湿度≤70%,无有害气体的环境中,滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油,但不可过多,值得指出的是,这种结构的工作台在装配过程中,从直线导轨的直线性,上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性。如果是不合格的芯片,打点器立刻对这个不合格的芯片打点。浙江直流探针台供应

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X系列探针台:1、基板采用铸件为基准进行设计,使运动的稳定性得到提升,底板的重量同样在隔震性能上得到提高。2、运动系统采用的是日系高刚性、高精密的导轨和丝杆;反馈检测系统采用的是0.1μm分辨率光栅尺配合进口运动控制卡与电机形成整个闭环的反馈检测,以保证实现高精度高温度性的运动系统。3、整个四维运动设计成低重心的紧凑结构,保证其速率能到达70mm/s,并能提高运动过程中的加速。4、关键零件用导电的表面处理,保证每个位置能进行接地保护。浙江直流探针台供应半导体设备价值普遍较高,一条先进半导体生产线投资中,设备价值约占总投资规模的75%以上。

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晶圆是制作硅半导体积体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。半导体工业对于晶圆表面缺陷检测的要求,一般是要求高效准确,能够捕捉有效缺陷,实现实时检测。较为普遍的表面检测技术主要可以分为两大类:针接触法和非接触法,接触法以针触法为象征;非接触法又可以分为原子力法和光学法。在具体使用时,又可以分为成像的和非成像的。

探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动。从功能上来区分有:高温探针台,低温探针台,RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。探针台是半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等行业的测试设备。

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晶圆探针测试台是半导体工艺线上的中间测试设备,与测试仪连接后,能自动完成对集成电路及各种晶体管芯电参数和功能的测试。随着对高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低价格的电子产品的需求日益增长,这就要求在一个芯片中集成更多的功能并进一步缩小尺寸,从而大片径和高效率测试将是今后晶圆探针测试台发展的主要方向。因此,传统的手动探针测试台和半自动探针测试台已经不能满足要求,取而代之的是高速度,高精度,高自动化,高可靠性的全自动晶圆探针测试台。探针台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节,负责晶圆的输送与定位。浙江直流探针台供应

某些针尖位置低的扎伤AL层,对后续封装压焊有影响。浙江直流探针台供应

x-y工作台的维护与保养:无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台,x-y向工作台都是其很中心的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障,而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的,所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。现在小编只对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一一介绍。平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。浙江直流探针台供应

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