真空测量就是真空度的测量,而真空度(详细注释见前文:知识分享②|真空如何获得?)是指低于大气压力注释的气体稀薄程度的物理量。通常,将用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。注释:大气压力:通常指一个标准大气压,压强的单位之一。当温度为0℃(273.15K)时,在重力加速度为980.655cm/s2处(即在地球纬度为45°的海平面上),使用**的密度为13.5951g/cm3,则760mm高的**柱所产生的压强为1标准大气压。1毫米汞柱(mmHg)和1托(Torr)相近,两者相差约千万分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一个标准大气压1atm=101325Pa=760mmHg=1.01325bar=760Torr皮拉尼真空计通常用于测量低压气体或真空系统中的压力。无锡真空计设备公司
电容薄膜真空计:属弹性元件真空计,其结构和电路原理是一弹性薄膜将规管真空室分为两个小室,即参考压强室和测量室。测量低压强(P<100帕)时,参考室抽至高真空,其压强近似为零。当测量室压强不同时,薄膜变形的程度也不同。在测量室中有一固定电极,它与薄膜形成一个电容器。薄膜变形时电容值相应改变,通过电容电桥可测量电容的变化从而确定相应压强值。电容薄膜真空计可直接测量气体或蒸气的压强,测量值与气体种类无关、结构牢固、可经受烘烤,如对不同压强范围采用不同规头,可得到较高精度。它可用于高纯气体监测、低真空精密测量和压强控制,也可用作低真空测量的副标准。陕西mems真空计原厂家选择真空计时需要综合考虑多个因素。
4. 电容式真空计电容式真空计通过测量电容变化来间接测量压力,适用于中真空和高真空范围。(1)电容薄膜真空计原理:利用薄膜在压力作用下的形变引起电容变化来测量压力。测量范围:10⁻⁶ Torr 到 1000 Torr。优点:精度高、响应快。缺点:成本较高。应用:中真空和高真空测量。5. 振膜式真空计振膜式真空计通过测量振膜频率变化来测量压力,适用于中真空和高真空范围。(1)石英晶体真空计原理:利用石英晶体振膜在压力作用下的频率变化测量压力。测量范围:10⁻⁶ Torr 到 1000 Torr。优点:精度高、稳定性好。缺点:成本较高。应用:高精度真空测量。
陶瓷真空计是一种用于测量真空系统中压力的仪器,广泛应用于半导体制造、真空镀膜、科研实验等领域。其部件由陶瓷材料制成,具有耐高温、耐腐蚀、绝缘性能好等优点。选型与使用量程选择:根据测量需求选择合适的量程。环境适应性:考虑温度、腐蚀性气体等因素。安装与维护:正确安装并定期校准和维护。常见问题零点漂移:定期校准以减少误差。污染影响:保持传感器清洁,避免污染。温度影响:注意环境温度变化对测量的影响。总结陶瓷真空计凭借其耐高温、耐腐蚀和高精度等特性,在多个领域有广泛应用。正确选型和使用能确保其长期稳定运行。真空计选型需要注意什么?
涡轮分子泵的工作原理是在电机的带动下,动叶轮高速旋转(动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度,一般为150~400米/秒)。在分子流区域内,气体分子与高速转动的叶片表面碰撞,动量传递给气体分子,使部分气体分子在刚体表面运动方向上产生定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。启动快:涡轮分子泵能够在短时间内迅速启动,并达到稳定的抽气状态。抗射线照射:涡轮分子泵能够抵抗各种射线的照射,适用于高能加速器等辐射环境下的真空抽取。耐大气冲击:涡轮分子泵具有较强的耐大气冲击能力,能够在气压突变的环境中保持稳定的抽气性能。无气体存储和解吸效应:涡轮分子泵在工作过程中不会存储气体,也不会产生解吸效应,因此能够获得清洁的超高真空。无油蒸气污染:涡轮分子泵采用无油润滑系统,避免了油蒸气对真空环境的污染。四、应用领域真空测量的特点有哪些?广东高纯度真空计设备供应商
皮拉尼真空计的测量范围取决于所使用的具体型号和规格。无锡真空计设备公司
真空计用于测量真空系统中的压力,使用方法如下:1. 选择合适类型根据测量需求选择合适的真空计类型,常见的有:热偶真空计:适用于低真空(1 Pa - 1000 Pa)。电离真空计:适用于高真空(10^-3 Pa - 10^-8 Pa)。皮拉尼真空计:适用于中真空(0.1 Pa - 1000 Pa)。电容薄膜真空计:适用于宽范围(10^-4 Pa - 1000 Pa)。2. 安装位置选择:安装在真空系统靠近测量点的位置,避免气流或温度波动影响。连接方式:确保接口密封良好,通常使用法兰或螺纹连接。3. 校准校准步骤:使用标准真空源或校准设备,按说明书进行校准。校准频率:定期校准,确保测量精度。4. 操作启动:接通电源,预热(如有需要)。读数:待读数稳定后记录压力值。调整:根据测量结果调整真空系统。5. 维护清洁:定期清洁传感器,避免污染。检查:检查密封性和电气连接,确保正常工作。更换:传感器老化或损坏时及时更换。6. 注意事项量程:避免超出量程使用,防止损坏。环境:避免在腐蚀性、高温或高湿环境中使用。安全:操作时注意安全,避免高压或真空泄漏风险。7. 故障处理无读数:检查电源和连接。读数不稳:检查密封性和传感器状态。误差大:重新校准或更换传感器。无锡真空计设备公司