陶瓷薄膜真空计利用陶瓷材料的压阻效应或电容变化来测量真空度。具体来说，当陶瓷材料受到外力（如真空度变化引起的压力）作用时，其电阻率或形状会发生变化。通过测量这种电阻率的变化或电容的变化，可以精确计算出当前的真空度。
高精度：陶瓷薄膜真空计具有高精度和高稳定性，能够提供准确的真空度数据。高稳定性：由于陶瓷材料的形变恢复无迟滞，使得陶瓷薄膜真空计具有优异的稳定性。抗腐蚀、抗氧化：氧化铝陶瓷与氟系密封件的稳定性使得陶瓷薄膜真空计具有抗腐蚀、抗氧化能力，适用于多种恶劣环境。无选择性：对被测气体无选择性，适用于多种气体的真空度测量。 电容真空计与热传导式真空计相比有何不同？四川mems皮拉尼真空计供应商
其他角度对真空计进行分类，如根据测量范围、精度、使用条件等。不同类型的真空计在这些方面也有区别。例如，MEMS电容薄膜真空计作为MEMS电容式传感器的一种，具有小型化、低成本、高性能、易与CMOS集成电路兼容等特点。它能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求。不同类型的真空计在测量原理、测量范围、精度、使用条件以及适用场景等方面各有千秋。在选择真空计时，需要根据具体的测量需求、工作环境以及预算等因素进行综合考虑。同时，随着科技的不断发展，新型真空计的出现也将为真空测量领域带来更多的选择和可能性。陕西mems真空计电容真空计通常适用于中低真空范围的测量，如从大气压到几千帕甚至更低。
1. 机械式真空计机械式真空计通过物理形变或液柱高度差来测量压力，适用于粗真空和低真空范围。（1）U型管压力计原理：利用液柱（如水或汞）的高度差测量压力。测量范围：通常为大气压到约 1 Torr（133 Pa）。优点：结构简单、成本低。缺点：精度较低，不适用于高真空。应用：实验室粗真空测量。（2）布尔登压力计原理：利用金属管（布尔登管）在压力作用下的形变来测量压力。测量范围：大气压到约 10⁻³ Torr。优点：结构简单、耐用。缺点：精度有限，不适用于高真空。应用：工业粗真空和低真空测量。
真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。以压力表示真空度是由于历史上沿用下来的，并不十分合理。压力高意味着真空度低；反之，压力低意味着真空度高。用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。本书所述压力的测量是指比大气压力小得多的气体压力测量。压力是一个力学量，为单位面积所承受的力。大气压力为101325Pa，直接测量这样大的压力是容易的，但在真空技术中，测量这样大的压力是比较少的。真空技术中遇到的气体压力都很低，如有时要测10-10Pa的压力，这样极小的压力用直接测量单位面积所承受的力是不可能的。因此，测量真空度的办法通常是在气体中造成一定的物理现象，然后测量这个过程中与气体压力有关的某些物理量，再设法间接确定出真实压力来。例如先将被测气体压缩，使其压力增高，测出增高后的压力，再根据压缩比计算出原来的压力值，这就是所谓的压缩式真空计。也可以用一根热丝，测量气体热传导造成的某些结果，如热丝温度、电阻变化等，这就构成热传导真空计。还可以利用电子碰撞气体分子使之电离，用测得的离子流反应压力，这就是电离真空计。选择真空计的原则有哪些？
皮拉尼真空计利用惠斯通电桥的补偿原理，通过测量一个发热体与一个接收发热体之间的热传导程度来判断气体的压力。具体来说，当加热灯丝（一般为铂丝）被恒定电流加热时，其温度会升高。对于给定大小的电流，加热丝的温度取决于通过传导和对流向周围介质（即气体）散热的速率。在真空或低压环境中，加热丝的热导率（即将热量散发给周围介质的能力）会降低，导致加热丝变得更热。这种温度变化会引起导线电阻的变化，这种变化可以通过惠斯通电桥来测量。当气体分子密度发生变化时，热量从金属丝传递到气体会受到影响。这种热损失取决于气体类型和压力，使金属丝保持在一定温度下所需的能量也相应变化。因此，可以通过测量这种能量变化来间接测量真空压力。电离真空计的校准的注意事项有哪些？河北大气压真空计生产厂家
选择真空计时需要综合考虑多个因素。四川mems皮拉尼真空计供应商
皮拉尼真空计主要由感应头和控制头两部分组成。感应头多为金属或玻璃外壳，内有感测真空压力的灯丝或其他感温元件。控制头则为感应头提供必要的电路，并负责信号放大和信号数字化的工作。根据测量方式的不同，皮拉尼真空计可以分为定电流式和定电压式两种：定电流式：在这种方式中，通过加热灯丝的电流保持恒定。当真空压力改变时，灯丝的温度会发生变化，从而导致灯丝的电阻值发生变化。这种电阻变化可以通过惠斯通电桥来测量，并转换为真空压力值。定电压式：在这种方式中，加热灯丝上的电压保持恒定。当真空压力变化时，灯丝的温度和电阻值也会相应变化。通过测量通过灯丝的电流变化，可以间接测量真空压力。四川mems皮拉尼真空计供应商
