企业商机
分子泵轴承基本参数
  • 品牌
  • 巴顿,BARDUN
  • 型号
  • C104HY17
  • 用途
  • 真空泵,分子泵,精密机械轴承
  • 材质
  • 陶瓷
  • 制式类型
  • 公制轴承
  • 尺寸标准
  • 非标轴承
  • 使用特性
  • 真空,低温,高温,高速
  • 保持架及其材料
  • 陶瓷合金
  • 滚动体类型
  • 样品或现货
  • 现货
  • 产地
  • 美国
  • 厂家
  • 巴顿轴承
分子泵轴承企业商机

在机械行业中,分子泵轴承是实现高真空环境的主要部件,广泛应用于半导体制造、真空镀膜、科研实验设备等领域。新巴顿(上海)轴承销售有限公司的分子泵轴承,针对机械行业高转速、低摩擦的工况需求,采用特殊材料与精密加工工艺。例如在半导体蚀刻设备中,分子泵需维持 10⁻⁶Pa 以下的高真空度,该轴承通过优化滚道设计,可承受高速旋转时的离心力,同时降低发热损耗,确保泵体长时间稳定运行。其适配的机械类型涵盖涡轮分子泵、复合分子泵等,能满足不同真空系统对轴承可靠性的严苛要求,为机械行业的真空工艺提供基础保障。巴顿分子泵轴承:专业团队,提供技术支持。无锡巴顿C1912X205Y14分子泵轴承

分子泵轴承

分子泵轴承作为真空系统主要部件,承担着支撑高速旋转转子、确保真空腔体内气流稳定的关键作用。其工作环境通常要求转速高达 10 万 - 15 万转 / 分钟,因此对轴承的动态稳定性、耐磨性能及热传导性提出严苛标准。在半导体制造中,分子泵轴承需维持纳米级制程所需的超高真空(10⁻⁸Pa 以下),若轴承失效将导致腔室污染,直接影响芯片良率。新巴顿(上海)轴承销售有限公司针对此类需求,提供基于陶瓷球与不锈钢套圈的组合方案,通过优化滚道弧度设计,使轴承在高速运转时的温升控制在 30℃以内,满足半导体设备 24 小时连续运行的可靠性要求。金山区YCA1750SSW85分子泵轴承耐辐射材料制造,新巴顿分子泵轴承满足核工业等辐射环境机械需求。

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密封设计优势:多重防护抵御复杂环境,针对真空镀膜等行业中金属蒸汽侵蚀的难题,新巴顿设计了多重密封结构。轴承采用多道曲径迷宫密封与氟橡胶双唇口密封相结合的方式,外唇口以 0.12mm 的过盈量设计,在 10⁻⁸Pa 的真空度下,漏气率低至 1×10⁻¹¹Pa・m³/s ;内唇口配合挡油环,可有效阻挡 98% 的润滑脂泄漏,同时将金属蒸汽的侵入量减少 92% 。在某铝蒸镀设备的实际应用中,使用该密封结构的轴承更换周期从 1.5 个月延长至 10 个月,蒸镀产品的良品率从 88% 提升至 97%,大幅提升了生产效益和产品质量。

高速真空环境下的润滑是分子泵轴承的技术难点。新巴顿采用油气混合润滑技术,通过微量油雾(0.01-0.05ml/h)与压缩空气的精确配比,在轴承滚道表面形成纳米级润滑膜,既避免传统脂润滑的积碳问题,又将摩擦功耗降低 60%。对于半导体行业的洁净室需求,公司开发的全氟聚醚(PFPE)润滑脂,其挥发分低于 0.1%,满足 ISO 14644-1 Class 5 级洁净标准,且在 10⁻⁹Pa 真空度下仍保持稳定润滑状态。该润滑方案使轴承维护周期从传统的 3 个月延长至 12 个月,大幅降低半导体产线的停机成本。巴顿分子泵轴承——科研探索的精密之选 。

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推力圆柱滚子轴承的轴向定位技术分子泵转子的轴向定位精度要求通常在 5-10μm,新巴顿的 81100 系列推力圆柱滚子轴承采用研磨级推力垫圈,其平行度误差≤1μm,配合轴向预紧弹簧,可将转子轴向窜动量控制在 3μm 以内。在某电子束蒸发设备中,该轴承与径向支撑轴承形成刚性定位系统,确保蒸发源与基片的间距波动不超过 5nm,满足光学薄膜厚度的精密控制需求。轴承的滚子端面采用圆弧修形(曲率半径 50mm),避免边缘接触导致的应力集中,使轴向载荷均匀分布。巴顿分子泵轴承:强化润滑系统,提高运转效率。C105HRRY14分子泵轴承厂家

高速极限转速达 60000rpm,新巴顿分子泵轴承满足机械高速运转要求。无锡巴顿C1912X205Y14分子泵轴承

针对机械行业的预防性维护需求,新巴顿提供轴承故障诊断方案。通过振动频谱分析(采样频率 10kHz 以上),可识别轴承的外圈故障(特征频率 1.5× 转频)、内圈故障(2× 转频)等早期缺陷,此时振动加速度幅值变化≥20% 时需预警。在纺织机械的真空吸丝系统中,这种诊断技术可提前 几天发现轴承磨损,避免突发性停机。维护策略包括定期油样分析(铁谱分析磨损颗粒,尺寸>5μm 时需关注)、温度监测(温升速率>5℃/h 时报警),结合机械运行时间(如每 5000 小时)进行预防性更换,将轴承失效风险控制在 0.5% 以下。无锡巴顿C1912X205Y14分子泵轴承

分子泵轴承产品展示
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