企业商机
分子泵轴承基本参数
  • 品牌
  • 巴顿,BARDUN
  • 型号
  • C104HY17
  • 用途
  • 真空泵,分子泵,精密机械轴承
  • 材质
  • 陶瓷
  • 制式类型
  • 公制轴承
  • 尺寸标准
  • 非标轴承
  • 使用特性
  • 真空,低温,高温,高速
  • 保持架及其材料
  • 陶瓷合金
  • 滚动体类型
  • 样品或现货
  • 现货
  • 产地
  • 美国
  • 厂家
  • 巴顿轴承
分子泵轴承企业商机

某 12 英寸晶圆厂的刻蚀机配备 4 台 2000L/s 分子泵,原采用进口钢制轴承,平均每 6 个月因碳化硅颗粒污染导致轴承失效。新巴顿为其定制的 Si₃N₄陶瓷轴承,配合迷宫式密封结构,使轴承寿命延长至 24 个月。该方案的重心在于:陶瓷球的硬度(HRC78-80)高于碳化硅颗粒,可减少磨粒磨损;密封唇口采用氟橡胶材质,在 150℃工况下仍保持弹性,阻止微粒侵入。改造后,该产线的非计划停机率从 8% 降至 1%,年节约维护成本 120 万元。此外,公司为某 MOCVD 设备配套的轴承,通过在保持架中嵌入石墨自润滑块,解决了金属有机化合物沉积导致的轴承卡死问题,使设备连续运行时间突破 10000 小时。巴顿分子泵轴承:科研探索的精密伙伴。南京C1904HX205Y113DF分子泵轴承

分子泵轴承

在保证性能的前提下,新巴顿分子泵轴承通过工艺优化降低机械行业用户的成本。采用冷辗成型工艺加工套圈,材料利用率从切削工艺的 50% 提升至 85%,成本降低 20%左右;大批量生产的深沟球轴承(型号 6005)价格控制在常规品牌的 70%-80%,而寿命相当。对于维修成本敏感的机械(如中小型真空泵),提供可拆卸式轴承设计(如剖分式外圈),更换时无需拆卸整个泵体,维修工时减少 60%。这种性价比优势使轴承在机械行业的设备选型中,综合成本(采购成本 + 维护成本)较同类产品降低 15%-30%,尤其适合预算有限的中小企业。C38SST5G33分子泵轴承销售巴顿分子泵轴承:专业团队,提供技术支持。

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分子泵轴承作为真空系统主要部件,承担着支撑高速旋转转子、确保真空腔体内气流稳定的关键作用。其工作环境通常要求转速高达 10 万 - 15 万转 / 分钟,因此对轴承的动态稳定性、耐磨性能及热传导性提出严苛标准。在半导体制造中,分子泵轴承需维持纳米级制程所需的超高真空(10⁻⁸Pa 以下),若轴承失效将导致腔室污染,直接影响芯片良率。新巴顿(上海)轴承销售有限公司针对此类需求,提供基于陶瓷球与不锈钢套圈的组合方案,通过优化滚道弧度设计,使轴承在高速运转时的温升控制在 30℃以内,满足半导体设备 24 小时连续运行的可靠性要求。

针对机械行业的能效优化需求,新巴顿分子泵轴承通过摩擦学设计降低能量损耗。滚动体与滚道的表面粗糙度优化至 Ra≤0.05μm,配合低粘度润滑剂(40℃运动粘度 10-20mm²/s),使摩擦系数在高速运转时稳定在 0.002-0.005。在磁悬浮分子泵中,这种设计可将轴承功耗占比降至整机的 3% 以下,较传统设计提升能效 12%。通过摩擦磨损试验机测试(载荷 200N,转速 30000rpm,持续 100 小时),轴承的磨损量≤5μm,表面无明显划痕,证明其在机械长期运行中的低摩擦特性。能效提升的同时,也减少了机械因摩擦发热导致的热变形风险,维持系统精度稳定性。巴顿分子泵轴承:适应高速运转,确保系统稳定。

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随着半导体制程向 3nm 以下演进,分子泵轴承正朝超高速、低功耗方向发展。新巴顿研发的 SiC 陶瓷轴承,其热导率(400W/m・K)是氧化锆陶瓷的 10 倍,可将轴承温升控制在 15℃以内,适配 20 万转 / 分钟的超高速分子泵。同时,基于仿生学的表面织构技术,在滚道表面加工微米级凹坑储油槽,使润滑效率提升 30%,有望实现全寿命免维护。此外,公司正在开发的智能轴承,内置微型传感器,可实时传输温度、振动、载荷数据,通过边缘计算实现故障预警,推动分子泵系统向预测性维护升级。这些技术创新将助力我国真空装备在半导体、新能源等领域的国产化突破。巴顿分子泵轴承:精密制造行业的佼佼者。巴顿YCA1750SSW85分子泵轴承哪家好

巴顿分子泵轴承:智能诊断系统,精确定位故障。南京C1904HX205Y113DF分子泵轴承

新巴顿分子泵轴承采用多道密封结构设计,以满足机械行业对真空系统的防泄漏要求。主密封采用迷宫式密封与骨架油封组合,迷宫间隙控制在 0.1-0.3mm,配合真空泵油形成液封,泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s。在半导体薄膜沉积设备中,这种密封系统可防止工艺气体(如 NF₃、Cl₂)渗入轴承腔,避免润滑剂失效。辅助密封采用 O 型圈(材质为氟橡胶 Viton),耐温范围 - 20℃至 + 200℃,在机械启停的温度波动中保持弹性,确保密封面的贴合压力≥0.5MPa。密封系统的整体设计使分子泵轴承在 10⁻⁸Pa 高真空环境下仍能维持稳定的密封性能,为机械工艺的真空度提供可靠保障。南京C1904HX205Y113DF分子泵轴承

分子泵轴承产品展示
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