半导体设备用滑台

Pi长行程螺杆滑台RMH17S/RMH22S系列，具有长行程，高精度 ，高速度的特点。行程**长到2400mm，重复精度±0.1mm、标配便利流油嘴，保养方便。长行程也可以维持高转速。特殊的滑中抱持座设计，可减少螺杆于长行程时的弯曲而导致螺杆偏摆。采用一体成型铝扩挤结构并经元素分析，得到比较好的刚性与重量比之结构设计。特殊的抗绕曲设计，长行程使用时，上盖不容易 扭曲变形。**加油嘴设计，由滑座上单一加油嘴注油，可同时对螺杆及多组滑块做注油保养，让您在维修保养上更方便、省时。加油嘴可依客户需求选择安装方向。多方向马达安装位置可选择（BC马达外露、BL马达左折、BR马达右折、BM马达下折、M马达内藏直结）让机台设计更有弹性。重复定位精度 ±0.003mm（直线电机），平替日本 THK 同类型产品。半导体设备用滑台

Pi多轴系列模组含：XYGH多轴螺杆系列、XYMP多轴皮带系列、XYMH多轴螺杆系列。多轴连接具有设计便利的特点。XY二轴、增加Z三轴、增加R四轴，又或者两支Y轴与两支Z轴组合的六轴等有多重的应用。将直线运动提升为平面或曲线运动，大幅提升使用便利性，并有效减少客户的设备组装工时。应用在设备上，增加外型美观一致性。主要用途：使用频率高的组合方式包含龙门型、悬壁型、十字型等多轴应用，并可搭配多轴控制器，执行圆弧、補间运动。主要应用于：半导体设备、FPD产业设备、太阳能设备、食品设备、CNC加工设备等产业 。运用范围：点涂胶装置、电子零件检查装置、点焊装置。半导体设备用滑台滑台模组在 3C 行业的创新应用：柔性生产线上的精密运动单元！

Pi内嵌式GR系列,优势:体积小。螺丝锁付结构外露安装更快速。正锁反锁结构一体，结构设计更灵活。密闭式结构，抑制成为污染源。分离式电机结构座，可依需求变换折向。运动架构涵盖：丝杆、皮带、直线电机。现行发售尺寸 4/5/7/8/12/15。自动化小型结构推荐产品， 同体积轻量化构**强优势。Pi内嵌式 GS系列的主要优势：提高侧挂稳定能力。顺畅稳定性提高。高度降低，运动稳定性更好。密闭式结构，抑制成为污染源。产品规格更丰富，需求选择更细腻。弥补规格尺寸空缺，增加产品线跨度。现行发售尺寸 6/8/10/14/17。覆盖面**广的内嵌式产品——同体积轻量化构**强优势

内嵌推杆式螺杆滑台是轨道内嵌式螺杆滑台的一种，这种滑台将螺杆和螺母嵌入在滑台的导向轨道内部。产品特点：紧凑设计：螺杆和螺母嵌入在滑台的导向轨道内部，使得整个结构更加紧凑，节省空间。高刚性：由于螺杆和螺母嵌入在导向轨道内，系统刚性更高，能够提供更稳定的运动。高精度：优化的导向结构和稳定的运动特性确保了高精度的定位和重复性。工作原理：螺杆和螺母的配合：螺杆固定在滑台上，而螺母则固定在机架或底座上。当螺杆旋转时，螺母沿着螺杆的螺旋线移动，从而驱动滑台在导向轨道上进行线性运动。航空级铝合金打造的滑台导轨，耐磨性能提升 3 倍，保障长期稳定运行。

直线电机直接驱动与旋转电机传动的比较大区别，是取消了从电机到工作台(拖板)之间的一切机械中间传动环节，把机械进给传动链的长度缩短为零。这种传动方式被称为“零传动”。正由于这种“零传动”方式，带来了原旋转电机驱动方式无法达到的性能指标和一定优点。我们知道，运动控制中的直线运动可以由两种方式产生:由旋转电机通过丝杆，齿轮齿条，同步带等机械部件转换成直线运动，直接由直线电机驱动产生直线运动(简称DDL)直线电机优势：高动态响应:减少丝杆轴承等零配件的多工件，大幅降低摩擦损耗，也不存在游离间隙细长比限制，直接驱动。精度:直接驱动消除了中间传动机构产生的传动误差。转化率达 85%，产学研协同创新成果，推动技术落地。半导体设备用滑台

12.导轨润滑系统运用油气分离技术，润滑油消耗量减少 80%，降低使用成本。半导体设备用滑台

精密制造，铸就滑台***品质深圳市锐健电子有限公司，自 2003 年创立以来，便深耕精密制造领域，致力于为全球客户提供***的滑台产品。我们以 “Precision Industry” 为**理念，将精密融入每一个生产环节。公司拥有一支由***工程师组成的研发团队，他们凭借着丰富的经验和创新精神，不断优化滑台的设计与制造工艺。在生产过程中，我们引入国际先进的加工设备和检测仪器，严格把控每一个零部件的精度。从原材料的精选，到加工过程中的尺寸精度控制，再到成品的***检测，每一道工序都精益求精。正是这种对精密制造的执着追求，使得锐健Pi 滑台在市场上脱颖而出，以***的品质赢得了客户的信赖。无论是在高精度的半导体制造，还是对稳定性要求极高的医疗设备领域，锐健滑台都能为设备的高效稳定运行提供坚实保障。半导体设备用滑台

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