浙江挂镀电镀设备

半导体挂镀设备

1.基本原理与结构

挂镀工艺：晶圆固定在挂具上，浸入电镀液，通过精细控制电流、电压及溶液成分，在表面沉积均匀金属层。

组件：

电镀槽：耐腐蚀材质，配备温控、循环过滤系统，维持镀液均匀性

挂具与阳极：钛或铂金阳极，挂具设计适配晶圆尺寸，确保电场分布均匀

自动化传输：机械臂自动上下料，减少人工污染风险

控制系统：PLC/计算机实时调控电流密度、电镀时间、pH值等参数

2. 关键技术优势

高均匀性：通过脉冲电镀或水平电镀技术（如ECP），减少边缘效应，实现亚微米级镀层均匀性

低缺陷率：镀液杂质控制（＜0.1ppm）与膜厚在线监测，降低孔洞、结节等缺陷

高产能：支持多晶圆并行处理

3. 典型应用场景

芯片制造：

铜互连：在逻辑芯片中沉积多层铜导线，替代传统铝工艺以降低电阻

TSV填充：为3D封装提供垂直导电通道，实现芯片堆叠

先进封装：

凸块电镀：在晶圆表面形成锡、铜柱凸块，用于Flip-Chip键合

RDL（重布线层）：沉积铜层实现芯片I/O端口的重新布局

总结

半导体挂镀设备通过精密电化学控制与自动化技术，解决了纳米级金属沉积的均匀性与可靠性难题，是先进芯片制造与封装的装备。其性能直接关联芯片的导电性、散热及良率 无氰镀锌设备使用锌酸盐络合剂替代。浙江挂镀电镀设备

深圳志成达设计的自动加药机设备，如何在电镀厂使用？

按电镀工艺药剂添加

分化学镍自动加药设备：通过先进传感器和控制系统，实时监测化学镍溶液浓度、pH值、温度等参数，依预设工艺要求自动调整添加剂加入量，保障溶液稳定性，提高电镀产品一致性与质量。还具备高效节能特点，减少化学品浪费与环境污染，同时减轻工人劳动强度。

电镀药水全自动添加系统：如秒准MAZ-XR300A18，基于莫塞莱定律和比尔-朗伯定律，利用软X射线和可见光谱对电镀液中金属离子（如Ni²⁺、Sn²⁺等）和非金属组分（如磷酸、氢氧化钠等添加剂）进行定性、定量分析。具备自清洗功能，支持多通道采样，可全组分在线分析，适用于高温强腐蚀性环境，安全性高。

按功能用途分

pH自动加药机：用于维持电镀液pH值稳定。电镀过程中，pH值变化会影响镀层质量，该设备通过pH传感器实时监测，当pH值偏离设定范围，自动控制加酸或加碱泵添加相应药剂，使pH值保持在合适区间。

光亮剂自动加药机：光亮剂能提升电镀层光亮程度和表面质量。此设备依据电镀液中光亮剂浓度变化，自动添加光亮剂，保证镀层外观质量稳定，避免因光亮剂不足或过量导致镀层发暗、出现条纹等问题。 广东深圳电镀设备供应商自动化电镀设备集成 PLC 控制系统，联动传输装置实现工序时间、电压参数准确控制，提升效率。

电镀废气处理抽风设备什么？

是用于将电镀过程中产生的废气收集并输送至废气处理设备的装置，常见的有以下几种：

离心风机：利用叶轮旋转产生的离心力使气体获得能量，从而实现气体的输送。

                  具有风压高、风量较大、效率较高的特点，

                  适用于输送距离较长、阻力较大的电镀废气系统。

轴流风机：气体沿着风机轴的方向流动

                 其特点是风量较大、风压低          

                 适用于对通风量要求较大但阻力较小的场合，如电镀车间内的局部抽风或简单的废气收集系统。

屋顶风机：通常安装在电镀车间的屋顶，可将车间内的废气直接排至室外。

                它具有安装方便、不占用室内空间的优点，

               适用于一些对室内空间布局要求较高的电镀企业。

防爆风机：电镀废气中含有易燃易爆气体，如某些有机溶剂挥发产生的废气，就需要使用防爆风机。

               这种风机采用特殊的防爆结构和材料，能够有效防止在运行过程中产生的电火花等引发炸掉事故，确保安全生产。

阳极氧化线的特点

1.膜层与基体一体化：氧化膜为金属自身氧化物，结合力远超电镀或喷涂的外来涂层，不易脱落。

2.功能可定制化：

防腐：致密膜层隔绝腐蚀介质，铝阳极氧化膜耐盐雾可达 500 小时以上。

耐磨：硬质阳极氧化膜（厚度 50~200μm）硬度接近陶瓷，适用于活塞、齿轮等机械部件。

装饰：通过染色或电解着色实现多样化外观（如手机壳、建筑铝型材）。

绝缘 / 散热：高电阻率膜层用于电器绝缘，多孔结构可提升散热效率（如 LED 灯具）。

3.环保特性：传统铬酸工艺含重金属，需配套废水处理；现代主流为硫酸阳极氧化 + 无铬封孔，环保性提升。4.材料适应性：主要针对铝、镁、钛等轻金属，钢铁等材料因氧化膜疏松少用。 检测设备配备 X 射线测厚仪与 pH 传感器，在线监测镀层厚度及药液参数，实时反馈并修正工艺偏差。

电镀废气处理抽风设备分类：

按工作原理及结构分类：

离心风机：风压高、风量较大，适用于需要克服较大阻力

轴流风机：具有风量大、风压低的特点。适合在对通风量需求大、阻力较小的环境

屋顶风机：安装于电镀车间屋顶，可直接将车间内废气排至室外。其优点是不占室内空间，安装简便

防爆风机：针对电镀废气含易燃易爆气体（如有机溶剂挥发气）的情况设计，采用特殊防爆结构与材料，防止运行中产生电火花引发炸掉，保障生产安全

按材质及防腐特性分类

玻璃钢风机：处理电镀过程中产生的强腐蚀性酸碱废气，且质量较轻、强度较高、使用寿命长

不锈钢风机：用于对耐腐蚀有一定要求且废气中颗粒物磨损性较强的电镀废气抽取

防腐涂层或特殊防腐工艺处理的普通金属风机：抽风设备搭配集气罩、通风管道等部件，组成完整的抽风系统，将电镀废气高效收集并输送至后续处理设备，如酸雾净化塔、活性炭吸附装置等。

电镀废气处理抽风设备的组成：

自动线线外连接抽风系统

PP抽风管连接，抽风连接口采用方形变通连接室外抽风系统

可根据不同种类废气和不同排放量以及现场情形适当设计制，并负责安装调试，抽风效果好

适用于氧化、电镀、涂装、印刷等行业多种碱性、有毒气体抽排（退挂、除锈等）

工件篮设备用于篮镀工艺，网孔大小根据工件尺寸定制，兼顾电解液流通性与防止小件掉落。湖南精密电镀设备

贵金属电镀设备配备高精度电源与净化系统，严格控制金、银镀层纯度，满足珠宝及电子芯片的高要求。浙江挂镀电镀设备

志成达设计研发的滚挂一体电镀实验设备镀液的选择：

1.镀铜液方面

酸性镀铜液导电性强、分散性佳，能快速镀厚铜，常用于电子元件底层镀铜；

碱性镀铜液稳定性好，腐蚀性小，所得铜层结晶细、结合力强，适用于钢铁基体打底。

2.镀镍液

瓦特镍镀液成分简单、易维护，镀层光亮耐磨，在防护装饰性电镀中广泛应用；

氨基磺酸镍镀液分散与深镀能力优，镀层内应力低、延展性好，多用于对镀层质量要求高的电子、航天领域。

3.镀锌液里

碱性镀锌液阴极极化作用强，锌层耐腐蚀性好；

酸性镀锌液电流效率高、沉积快，外观光亮，不过腐蚀性强。

4.镀金液

有物镀金液，镀层均匀光亮、硬度高；

无氰镀金液则更环保。

5.镀银液

物镀银液电镀性能好，镀层导电导热优；

硫代硫酸盐镀银液毒性小、更环保。选择镀液要综合零件材质、形状、使用环境及实验目的等，兼顾成本与环保。

总结：

在选择镀液时，需要根据待镀零件的材质、形状、尺寸、使用环境以及实验目的等因素进行综合考虑，同时还需考虑镀液的成本、环保性和操作难度等因素。 浙江挂镀电镀设备