真空机中真空处理设备技术方案【产品定位】 本设备是针对盲孔类工件电镀及前处理工艺研发的专业真空处理系统,适用于半导体、精密电子、航空航天等领域的复杂结构工件处理。 【功能】 1.真空置换系统:采用旋片式真空泵组,可在60秒内将工作腔压力降至10mbar以下,通过动态真空置换技术...
1.此设备主要用于盲孔产品,能迅速且高效地抽出容器内气体,促使药液快速填满盲孔,营造稳定负压环境。这可满足各类需负压条件的工艺要求,像电镀或前处理过水时,盲孔产品常因药水无法进入而产生不良和漏镀问题,使用该设备能让盲孔在电镀中有均匀沉积环境。
2.可根据客户具体需求量身定制单工位、二工位、以及多工位
功率参数 电压:AC380V50HZ 真空泵功率:1.5KW 真空度:-0.1-0.8pa
真空腔体、真空泵、控制装置和振动装置。
1.外形美观大方,符合人体工学设计。
2.大口径高棚硅玻璃视口观察工作室内物体,一目了然。
3.箱体闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。
4.腔体材质采用不锈钢板制成,确保产品经久耐用。 盲孔内壁油污在真空状态下沸点降低,配合溶剂实现高效汽化分离,清洁精度可达 Ra0.01μm。福建真空机维护
真空除油技术在于通过压力-温度耦合调控实现高效清洁,其工作流程可分解为四个精密控制阶段:
1.真空环境构建设备采用多级罗茨泵组+旋片泵复合真空系统,30秒内将腔体压力降至0.1kPa(相当于海拔30公里高空的气压)。
2.低温沸腾溶解在-90kPa真空度下,特制环保溶剂(如碳氢系D40)的沸点从140℃骤降至45℃。这种"亚临界沸腾"状态产生的微气泡直径为超声波清洗的1/50,能深入0.01mm的微小缝隙。
3.动态循环强化双泵体驱动的紊流循环系统使溶剂以8m/s流速冲刷工件表面,配合360°旋转夹具,实现复杂曲面的均匀清洗。系统集成在线浓度监测仪,当溶剂污染度超过阈值时,自动触发真空蒸馏再生系统,回收率达98.7%。
4.分子级干燥真空环境下采用红外辐射+热气流吹扫组合干燥技术,利用水蒸气分压梯度差加速水分蒸发。 福建真空机维护真空负压 3 秒!0.1mm 微孔油渍无处藏!
真空度:根据零件最小孔径确定(如孔径<0.3mm需-0.095MPa以上)。
罐体尺寸:按比较大工件尺寸+20%空间设计(避免碰撞)。
防爆等级:使用易燃脱脂剂时需选ATEX认证设备(如电子行业)
配置电导率传感器(实时监控漂洗效果)。
自动上下料:集成机器人系统(适合日均处理>5000件的产线)。
废液回收:内置蒸馏装置(降低危废处理成本30%以上)。
1.在线监测:配置电导率传感器(实时监控漂洗效果)。
2.自动上下料:集成机器人系统(适合日均处理>5000件的产线)。
3.废液回收:内置蒸馏装置(降低危废处理成本30%以上)。
1.抽真空阶段
将工件放入真空罐,启动真空泵使罐内压力降至设定值(通常-0.08~-0.1MPa)。持续抽气1~3分钟,排出盲孔内空气。
2.液体浸泡与沸腾
注入脱脂剂或溶剂,在负压下液体迅速沸腾,产生微气泡冲刷盲孔内壁。浸泡时间根据油污类型调整(通常3~5分钟)。
3.循环漂洗
排出污液后,注入清水或中和液,再次抽真空使液体渗透并排出。可重复2~3次,确保残留洗净。4.干燥阶段保持真空状态,通过热辐射或热风(60~80℃)快速蒸发残留液体。恢复常压后取出工件。 动态压力循环,深径比 10:1 盲孔无死角!
该技术通过六阶段闭环系统实现高效除油:
1.预处理:工件置于可旋转支架,采用氮气密封舱体至10⁻³Pa级气密性。
2.抽真空:多级泵组3-5分钟内将压力降至100Pa,主泵进一步达10⁻¹Pa以下,同步预加热至30-80℃。
3.负压蒸发:红外加热结合循环气流,矿物油在0.09MPa下沸点降至80℃,薄油膜5-10分钟完成蒸发。
4.冷凝回收:-20℃半导体制冷片实现99%油蒸气回收,分离净化后循环使用。
5.干燥破空:真空干燥至-40℃,充入-60℃氮气并设气流屏障防污染。
6.后处理:激光测厚检测油膜厚度,集成MES系统自动匹配参数,预测性维护周期超5000小时。 一键式换液,维护时间缩短 80%!河北真空机与盲孔产品
设备配置纳米级过滤系统,确保循环清洗剂纯度稳定,延长溶剂使用寿命。福建真空机维护
结合原子力显微镜(AFM)和激光诱导击穿光谱(LIBS)技术,负压处理后的盲孔检测精度达到纳米级。某MEMS芯片制造商通过三维形貌重构技术,发现传统检测方法漏检的0.5μm级裂纹,使产品可靠性提升两个数量级。绿色制造的工艺革新相比传统湿法化学处理,负压干加工技术可减少90%以上的化学试剂使用。某精密模具企业数据显示,每年可减少危化品消耗45吨,VOCs排放量下降78%,处理成本降低65%,符合欧盟RoHS3.0环保指令要求。 福建真空机维护
真空机中真空处理设备技术方案【产品定位】 本设备是针对盲孔类工件电镀及前处理工艺研发的专业真空处理系统,适用于半导体、精密电子、航空航天等领域的复杂结构工件处理。 【功能】 1.真空置换系统:采用旋片式真空泵组,可在60秒内将工作腔压力降至10mbar以下,通过动态真空置换技术...
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