在集成电路制造这一高精密的领域中，芯片生产线上的光刻工序堪称关键的环节，其对温湿度的要求近乎达到苛刻的程度。即便是极其微小的 1℃温度波动，都可能引发严重后果。光刻机内部的光学镜片会因热胀冷缩，致使光路发生细微偏移。这看似毫厘之差，却足以让光刻图案精度严重受损，使得芯片上的电路布线出现偏差，甚至短路等问题，进而大幅拉低芯片的良品率。而在湿度方面，一旦湿度突破 50% 的警戒线，光刻胶便极易受潮，其感光度发生改变，导致曝光效果大打折扣，无疑同样对芯片质量产生不可忽视的负面影响。精密环控设备为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。江西恒温恒湿实验室
光刻设备对温湿度的要求也极高，光源发出的光线需经过一系列复杂的光学系统聚焦到硅片表面特定区域，以实现对光刻胶的曝光，将设计好的电路图案印制上去。当环境温度出现极其微小的波动，哪怕只是零点几摄氏度的变化，光刻机内部的精密光学元件就会因热胀冷缩特性而产生细微的尺寸改变。这些光学元件包括镜片、反射镜等，它们的微小位移或形状变化，会使得光路发生偏差。原本校准、聚焦于硅片特定坐标的光线，就可能因为光路的改变而偏离预定的曝光位置，出现曝光位置的漂移。光学投影仪恒温恒湿模拟柜高精密温湿度控制设备内部湿度稳定性可达±0.5%@8h。
精密环控柜能够实现如此性能，背后蕴含着先进而复杂的原理。在温度控制方面，自主研发的高精密控温技术是关键所在。通过高精度传感器实时监测柜内温度，将数据反馈至控制系统。控制系统依据预设的精确温度值，以 0.1% 的控制输出精度，调节制冷（热）系统的运行功率。例如，当温度高于设定值时，制冷系统迅速启动，精确控制制冷量，使温度快速回落至目标范围；反之，加热系统则及时介入。对于湿度控制，利用先进的湿度调节装置，通过冷凝除湿或蒸汽加湿等方式，依据传感器反馈的湿度数据，将设备内部湿度稳定性控制在 ±0.5%@8h 。在洁净度控制上，采用多层高效洁净过滤器，通过物理拦截、静电吸附等原理，对进入柜内的空气进行深度过滤，确保可实现百级以上洁净度控制，工作区洁净度优于 ISO class3 。
在电池制造流程里，电解液的注入环节堪称重中之重，其对温湿度的要求近乎严苛。哪怕是极其细微的温度波动，都可能引发电解液的密度与黏度发生改变。这看似不起眼的变化，却会直接干扰注液量的控制。一旦注液量出现偏差，电池内部的电化学反应便无法在正常状态下进行，导致电池容量大打折扣，使用寿命也大幅缩短。而当湿度攀升过高，空气中游离的水分便会趁机混入电解液之中。这些水分会与电解液的成分发生化学反应，生成一系列有害杂质。这些杂质会无情地腐蚀电池内部结构，严重破坏电池的稳定性与安全性，给电池的使用埋下诸多隐患。电子显微镜观测时，设备营造的稳定环境，确保成像清晰，助力科研突破。
激光干涉仪用于测量微小位移，精度可达纳米级别。温度波动哪怕只有 1℃，由于仪器主体与测量目标所处环境温度不一致，二者热胀冷缩程度不同，会造成测量基线的微妙变化，导致测量位移结果出现偏差，在高精度机械加工零件的尺寸检测中，这种偏差可能使零件被误判为不合格品，增加生产成本。高湿度环境下，水汽会干扰激光的传播路径，使激光发生散射，降低干涉条纹的对比度，影响测量人员对条纹移动的精确判断，进而无法准确获取位移数据，给精密制造、航空航天等领域的科研与生产带来极大困扰。该系统集成暖通通风、环境洁净、照明安防及实验室管理系统，能够实时记录查询数据。激光干涉仪恒温恒湿选型
精密环控柜可满足可实现洁净度百级、十级、一级等不同洁净度要求。江西恒温恒湿实验室
芯片蚀刻时，刻蚀速率的均匀性对芯片电路完整性至关重要。温度波动如同 “蝴蝶效应”，可能引发刻蚀过度或不足。精密环控柜稳定的温度控制，以及可达 ±0.5%@8h 的湿度稳定性，有效避免因环境因素导致的刻蚀异常，保障芯片蚀刻质量。芯片沉积与封装过程中，精密环控柜的超高水准洁净度控制发挥关键作用。其可实现百级以上洁净度控制，内部洁净度优于 ISO class3，杜绝尘埃颗粒污染芯片，防止水汽对芯片材料的不良影响，确保芯片沉积层均匀、芯片封装可靠。江西恒温恒湿实验室
