D.3.10自净时间检测,应符合下列规定:1自净时间的检测,宜用于非单向流洁净室。2自净时间的检测,宜采用大气尘或烟雾发生器等人工尘源为基准,并宜以粒子计数器进行检测,同时应符合下列要求.1)以大气尘为基准时,则必须将洁净室停止运行相当时间,在室内含尘浓度已接近于大气浓度时,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N。)。然后开机,定时读数(...
查看详细 >>11.5.1工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能。11.5.2工艺设备安装时,现场的净化空调系统应已连续运行24h以上;现场除正常照明外,应配备三相380V、单相220V和低压行灯电源。11.5.3任何用于大设备的提升、牵引或定位的**设备在进人洁净室安装现场前,应彻底清洁,并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料。11...
查看详细 >>单向流洁净室的流动状态从雷诺数看是湍流,所以所谓层流洁净室中的层流和流体力学中的层流是完全不同的概念。因此,层流洁净室一词是不恰当的,国外的一些标准和文章也指出了这一点。例如,英国标准BS-5295曾将所谓的层流洁净室定义为单向流洁净室。层流在括号中表示。原联邦德国标准VDl-2083使用“非湍流置换流”一词,并在注释中指出层流的概念只是...
查看详细 >>四、照度标准规定:洁净区主要操作间照度不得少于300勒克斯,一般照明的照度均匀度不应小于0.7。洁净区的照度检查每年不得少于一次,在经过设备大修、厂房改造、工艺布局调整等变更的时候应在变更结束后重新检测照度。检测要求:室内照度测度必须在室温已趋稳定,光源光输出趋于稳定后进行(对荧光灯必须有100h)。检测方法:测点平面离地面0.85m,按...
查看详细 >>(1)净化处理原则:能用局部净化的场合,就尽可能不用净化;或低级别的净化高级别的局部净化相结合。避免把需要净化的环境分割成较小的空间,这样做虽然有利于控制污染,但这也造成平面复杂化、增加造价、作业程序不易改变、人员流动不方便,以及小房间造成人们心理上的不快。(2)由于气流分布的不均匀和尘粒分布等不均匀性,洁净室的微粒实际上是不均匀分布的,...
查看详细 >>洁净室竣工验收的外观检查应符合以下要求1、各种管道、自动灭火装置及净化空调设备空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等的安装应正确、牢固、严密其偏差应符合有关规定。2、高、中效空气过滤器与支撑框架的连接及风管与设备的连接处应有可靠密封。3、各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便。4、净化空调箱、静压箱、风管系统及送、回风口...
查看详细 >>4、悬浮粒子-微粒计数农度A、室内测试人员必须穿洁净服,不得超过2人,应位于测试点下风侧并远离测试点,并应保持静止。进行换点操作时动作要轻,应减少人员对室内洁净度的干扰。B、设备要在校准期内使用。C、检测前和检测后设备“清零”D、在单向流区域,所选择的采样探头应接近等动力采样,进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做...
查看详细 >>1.气流速度及其均匀性的检测:该检测是清洁空间效应其他基本检测的前提。其检测的目的是,确定单向洁净空间工作区域内的平均气流及其均匀性。2.系统或空间风量检测。3.室内清洁度检测:清洁度检测是指在清洁环境中,可达到的空气清洁度水平。可以使用颗粒计数器识别。4.自洁时间检测:确定自洁时间,以了解洁净室污染时恢复原始清洁度的能力。5.气流模式的...
查看详细 >>抽样高效过滤器本体在进入现场前,生产厂家应按规定进行性能试验,并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏,乱流洁净室对于 7 级或更低级别的洁净室,只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别,就可以不进行检漏。技术要求检漏的结果要符合条件:由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率,对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合...
查看详细 >>-连接氮气,检查氮气供气压力为50psig()。,等几分钟后,气溶胶到达终端过滤器。?将扫描探头与上游浓度测试孔相连接。?按?或?键,使光标停留在“上游80%浓度检测”,按“确认”;观察上游浓度数值,调节读数在20-80之间,读数稳定后记录下读数。?将扫描探头与下游浓度测试孔相连接。?调整光标至“使用内部参考值”?按“确认”键,调...
查看详细 >>人们认为这种单向、平行的气流应该充满整个洁净室,但这在技术和经济上都是不利的。随着知识的发展,人们指出这种单向流动只是“意味着所有的空气在有限的区域内沿着平行的流线匀速流动”,相信涡流的发生可以被尽可能的抑制。尽可能。以通过整个空间的洁净空气的单向流动特性为主的房间也称为单向流动洁净室。也就是说,不需要在整个房间内有单向平行流线、匀速、无...
查看详细 >>洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度,使产品能够在良好的环境空间中生产制造,从而我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说,所谓的无尘,并不是100%没有一点灰尘,而是控制在极少量的单位。当然,这个标准中符合粉尘标准的颗粒物,相对于我...
查看详细 >>