目前，应用的显微干涉方式主要有Mirau显微干涉和Michelson显微干涉两张方式。如图2-5(a)所示Mirau型显微干涉结构，在该结构中物镜和被测样品之间有两块平板，一个是涂覆有高反射膜的平板作为参考镜，另一块涂覆半透半反射膜的平板作为分光棱镜，由于参考镜位于物镜和被测样品之间，从而使物镜外壳更加紧凑，工作距离相对而言短一些，其倍率... 【查看详情】

集成于2D扫描系统上，光谱共焦位移传感器可以提供针对负载表面形貌的2D和高度测量数据。创新的光谱共焦原理使本传感器可以直接透过透明件工件的前后表面测量厚度，整个过程需要使用一个传感器从工件的一个侧面测量。相对于三角反射原理的激光位移传感器，本仪器因采用同轴光，从而可以更有效地测量弧工件的厚度。高采样频率，小尺寸体积和卡放的数据接口，使本仪... 【查看详情】

光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到大量应用。本次测量场景使用的是创视智能TS-C1200光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移... 【查看详情】

安装完成后，还需要进行校准和测试。校准是保证激光位移传感器测量精度的重要环节。在校准过程中，应按照厂家提供的操作指南进行，确保传感器的测量结果与实际值一致。另外，还应进行一系列的功能测试，以验证传感器的性能和稳定性。高精度激光位移传感器的安装操作是确保其性能和测量精度的关键环节。正确的安装操作可以有效地提高传感器的稳定性和测量精度，从而更... 【查看详情】

白光干涉频域解调顾名思义是在频域分析解调信号，测量装置与时域解调装置几乎相同，只需把光强测量装置换为光谱仪或者是CCD，接收到的信号是光强随着光波长的分布。由于时域解调中接收到的信号是一定范围内所有波长的光强叠加，因此将频谱信号中各个波长的光强叠加，即可得到与它对应的时域接收信号。由此可见，频域的白光干涉条纹不仅包含了时域白光干涉条纹的所... 【查看详情】

在初始相位为零的情况下，当被测光与参考光之间的光程差为零时，光强度将达到最大值。为探测两个光束之间的零光程差位置，需要精密Z向运动台带动干涉镜头作垂直扫描运动或移动载物台，垂直扫描过程中，用探测器记录下干涉光强，可得白光干涉信号强度与Z向扫描位置（两光束光程差）之间的变化曲线。干涉图像序列中某波长处的白光信号强度随光程差变化示意图，曲线中... 【查看详情】

光谱共焦传感器可以提供结合高精度和高速的新现代技术。这些特性使这些多功能距离和位移传感器非常适合工业 4.0 的高要求。在工业 4.0 的世界中，传感器必须能够进行高速测量并提供高精度结果，以确保可靠的质量保证。光学测量技术是非接触式的，于目标材料分开和表面特性，因此它们对生产和检测过程变得越来越重要。这是“实时”生产过程中的一个主要优势... 【查看详情】

激光位移传感器在新能源光伏等行业应用。在太阳能光伏领域中，激光位移传感器可以用于对太阳能电池板进行高精度的位移测量，以确保电池板的稳定性和可靠性。在风能发电领域中，激光位移传感器可以用于对风力发电机叶片的位移进行测量，以确定叶片的形变和振动情况，从而提高发电效率和延长设备寿命。在新能源汽车领域中，激光位移传感器可用于测量电池、电机等关键部... 【查看详情】

激光位移传感器在锂电极片测厚行业应用。其采用的激光光点呈椭圆形，长轴直径远大于正负极材料颗粒，在测量时能起到厚度平均的作用，不会因为极片表面的颗粒太大导致测量过程中出现极小范围内的波峰和波谷。因此，采用该激光位移传感器做测厚仪用于测量锂电池正负极极片厚度是合适的。 激光位移传感器具有非接触式的测量特点，可以实现在线测量位移、三维尺寸、厚度... 【查看详情】

干涉法作为面扫描方式可以一次性对薄膜局域内的厚度进行解算，适用于对面型整体形貌特征要求较高的测量对象。干涉法算法在于相位信息的提取，借助多种复合算法通常可以达到纳米级的测量准确度。然而主动干涉法对条纹稳定性不佳，光学元件表面的不清洁、光照度不均匀、光源不稳定、外界气流震动干扰等因素均可能影响干涉图的完整性[39]，使干涉图样中包含噪声和部... 【查看详情】

激光位移传感器在精密制造行业中有着广泛的应用。如在汽车制造中，激光位移传感器可以用于测量车身的变形和尺寸，确保汽车的质量和安全性能。在航空航天制造中，激光位移传感器可以用于测量航空器件的尺寸和变形，以及机翼的形状和弯曲度。在微电子制造中，激光位移传感器可以用于测量芯片的尺寸和形状，确保芯片的质量和性能。因此，激光位移传感器在精... 【查看详情】

光谱共焦位移传感器是一种基于光波长偏移调制的非接触式位移传感器。它也是一种新型极高精密度、极高可靠性的光学位移传感器，近些年对迅速、精确的非接触式测量变得更加关键。光谱共焦位移传感器不但可以精确测量偏移，还可用作圆直径的精确测量，及其塑料薄膜的折光率和厚度的精确测量，在电子光学计量检定、光化学反应、生物医学工程电子光学等领域具备大量应用市... 【查看详情】